光学系统、投影系统及微结构半导体部件的制造方法
Номер патента: CN101799587A
Опубликовано: 11-08-2010
Автор(ы): D·菲奥尔卡, M·德格恩特尔
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-08-2010
Автор(ы): D·菲奥尔卡, M·德格恩特尔
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Projection optical system, method of making projection optical system, method of making illumination optical system, and method of making exposure apparatus
Номер патента: US20030063394A1. Автор: Takeshi Suzuki,Issey Tanaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-04-03.