Method for manufacturing semiconductor device
Номер патента: US10475640B2
Опубликовано: 12-11-2019
Автор(ы): Chang-Sheng Hsu, Kuan-Yu Wang, Weng Yi Chen, Yan-Da Chen, Yuan Sheng Lin
Принадлежит: United Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-11-2019
Автор(ы): Chang-Sheng Hsu, Kuan-Yu Wang, Weng Yi Chen, Yan-Da Chen, Yuan Sheng Lin
Принадлежит: United Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for fabricating air gap for semiconductor device
Номер патента: US7803713B2. Автор: Hsueh-Chung Chen,Shin-puu Jeng,Hsien-Wei Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2010-09-28.