Liner replacements for interconnect openings
Номер патента: US09953927B1
Опубликовано: 24-04-2018
Автор(ы): Daniel P. Stambaugh, Jeffrey Brown, Keith Kwong Hon Wong, Yun-Yu Wang
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-04-2018
Автор(ы): Daniel P. Stambaugh, Jeffrey Brown, Keith Kwong Hon Wong, Yun-Yu Wang
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Liner replacements for interconnect openings
Номер патента: DE102018206211B4. Автор: Yun-Yu Wang,Keith Kwong Hon Wong,Jeffrey Brown,Daniel P. Stambaugh. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2020-07-02.