Methods and apparatuses for allocating amounts of energy
Номер патента: US09577434B2
Опубликовано: 21-02-2017
Автор(ы): Christian Glomb, Jörg Heuer, Martin Winter, Richard Kuntschke
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-02-2017
Автор(ы): Christian Glomb, Jörg Heuer, Martin Winter, Richard Kuntschke
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scheduling method and wafer scheduling apparatus for etching equipment
Номер патента: US20230059538A1. Автор: Jianping Wang,Chien-Hung Chen,Jinjin CAO. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-23.