Device/method for indicating the dispersing of a material
Номер патента: WO1996030726A1
Опубликовано: 03-10-1996
Автор(ы): Dwain Dial, Joseph Chang
Принадлежит: Waterbury Companies, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-10-1996
Автор(ы): Dwain Dial, Joseph Chang
Принадлежит: Waterbury Companies, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate cleaning device, substrate processing apparatus, break-in device, method for estimating number of fine particles adhering to substrate, method for determining degree of contamination of substrate cleaning member, and method for determining break-in processing
Номер патента: US12128449B2. Автор: Hiroki Takahashi,Daichi Kondo,Yu Imamura. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-10-29.