在衬底中的孔形成

01-05-2020 дата публикации

Номер:

CN111094174A

Автор: 约瑟夫·R·约翰逊, 菲利普·艾伦·克劳斯

Принадлежит: Applied Materials Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B81 B81B B81B1 B81B1/B81B1/0 B81B1/00 B81B1/004 B81B2 B81B22 B81B220 B81B2201 B81B2201/B81B2201/0 B81B2201/02 B81B2201/021 B81B2201/0214 B81C B81C1 B81C1/B81C1/0 B81C1/00 B81C1/000 B81C1/0001 B81C1/00015 B81C1/0008 B81C1/00087 B82 B82Y B82Y5 B82Y5/B82Y5/0 B82Y5/00 G G0 G01 G01N G01N2 G01N27 G01N27/G01N27/4 G01N27/49 G01N3 G01N33 G01N33/G01N33/4 G01N33/48 G01N33/487 G01N33/4872 G01N33/48721 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/022 H01L21/0228 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/302

IPC - классификация

A A6 A61 A61K A61K4 A61K47 A61K47/A61K47/4 A61K47/40 B B8 B82 B82Y B82Y5 B82Y5/B82Y5/0 B82Y5/00 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/022 H01L21/0227 H01L21/02274

Получить PDF