Covering material stripping method and stripping device using ion irradiation

12-07-2017 дата публикации

Номер:

EP3168857A4

Автор: G. Alexey Remnev, Kensuke Uemura

Принадлежит: Shinmaywa Industries Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/0 C23C14/02 C23C14/022 C23C16 C23C16/C23C16/0 C23C16/02 C23C16/024 C23C16/0245 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/006 H01J2237/08 H01J2237/082 H01J2237/0825 H01J2237/2 H01J2237/20 H01J2237/202 H01J2237/2021 H01J2237/20214 H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114 H01J2237/313 H01J2237/3132 H01J2237/315 H01J2237/3151 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/08 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/305 H01J37/3053

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J27 H01J27/H01J27/0 H01J27/08 H01J27/1 H01J27/14 H01J27/2 H01J27/22

Получить PDF