Use of oxidizing agents for the treatment of semiconductor wafers, use of compositions and compositions therefor

21-05-2014 дата публикации

Номер:

JP5496875B2

Автор: スティーヴドブソン, ハインツヨアヒムベルト, ユールゲンボッセ, ロッコアレッシオ

Принадлежит: ソルヴェイ（ソシエテアノニム）

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02 C1 C11 C11D C11D1 C11D11 C11D11/C11D11/0 C11D11/00 C11D11/004 C11D11/0047 C11D3 C11D3/C11D3/3 C11D3/39 C11D3/394 C11D3/3945 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/020 H01L21/0206 H01L21/02063 H01L21/3 H01L21/31 H01L21/311 H01L21/3113 H01L21/31133 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/00 C23F3/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

Получить PDF