Method and apparatus for patterning micro and nano structures using a mask-less process

06-01-2009 дата публикации

Номер:

US7473912B2

Автор: Xiao (Charles) Yang

Принадлежит: Individual

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y1 B82Y10 B82Y10/B82Y10/0 B82Y10/00 B82Y4 B82Y40 B82Y40/B82Y40/0 B82Y40/00 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/2 G03F7/20 G03F7/203 G03F7/7 G03F7/70 G03F7/703 G03F7/7038 G03F7/70383 G03F7/7039 G03F7/70391 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/2 H01J2237/20 H01J2237/202 H01J2237/2022 H01J2237/20228 H01J2237/2023 H01J2237/20235 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/31 H01J37/317 H01J37/3174

IPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y2 B82Y25 B82Y25/B82Y25/0 B82Y25/00 G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/24 H H0 H01 H01L H01L2 H01L29 H01L29/H01L29/7 H01L29/77 H01L29/775

Получить PDF