Plasma-enhanced molybdenum deposition
11-07-2024 дата публикации
Номер:
WO2024147902A1
Автор: Ashutosh Agarwal, Mandyam Sriram, Srinivas Gandikota, Tuerxun Ailihumaer, Yixiong Yang, Yogesh Sharma
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Контакты:
Номер заявки:
Дата заявки: