Silicide stop layer in a damascene gate semiconductor structure
Номер патента: WO2002065524A1
Опубликовано: 22-08-2002
Автор(ы): Eric N. Paton, John Clayton Foster, Matthew S. Buynoski, Paul L. King, Paul R. Besser, Qi Xiang
Принадлежит: Advanced Micro Devices, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-08-2002
Автор(ы): Eric N. Paton, John Clayton Foster, Matthew S. Buynoski, Paul L. King, Paul R. Besser, Qi Xiang
Принадлежит: Advanced Micro Devices, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for forming an extended metal gate using a damascene process
Номер патента: SG128466A1. Автор: Zhou Mei Sheng,Simon Chooi,Yelehanka Ramachandram Pradeep,Henry Gerung,Vijai Komar Chagan. Владелец: Chartered Semiconductor Mfg. Дата публикации: 2007-01-30.