Method for manufacturing semiconductor device
Номер патента: US6830617B1
Опубликовано: 14-12-2004
Автор(ы): Akiharu Miyanaga, Hisashi Ohtani, Satoshi Teramoto, Shunpei Yamazaki
Принадлежит: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-12-2004
Автор(ы): Akiharu Miyanaga, Hisashi Ohtani, Satoshi Teramoto, Shunpei Yamazaki
Принадлежит: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Recycle wafer of silicon carbide and method for manufacturing silicon carbide semiconductor device
Номер патента: US20220085172A1. Автор: Kyoko Okita,Tsubasa HONKE. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2022-03-17.