用于掩模板的透明基片及掩模板
Номер патента: CN1749853B
Опубликовано: 01-12-2010
Автор(ы): 小池今朝广, 河原明宏, 铃木修
Принадлежит: Hoya Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-12-2010
Автор(ы): 小池今朝广, 河原明宏, 铃木修
Принадлежит: Hoya Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Mask blank glass substrate manufacturing method, mask blank manufacturing method, mask manufacturing method, mask blank glass substrate, mask blank, and mask
Номер патента: US20110059390A1. Автор: Yasushi Okubo,Akinori Kurikawa,Hisashi Kasahara. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2011-03-10.