Projection system, mirror and radiation source for a lithographic apparatus
Номер патента: WO2014114405A2
Опубликовано: 31-07-2014
Автор(ы): Anton VAN OOSTEN, Erik Loopstra, Hans Butler, Koen Zaal, Marc Van Der Wijst, Marcus Van De Kerkhof
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-07-2014
Автор(ы): Anton VAN OOSTEN, Erik Loopstra, Hans Butler, Koen Zaal, Marc Van Der Wijst, Marcus Van De Kerkhof
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Projection system and mirror and radiation source for a lithographic apparatus
Номер патента: US10732511B2. Автор: Erik Roelof Loopstra,Hans Butler,Marcus Adrianus Van De Kerkhof,Anton Bernhard Van Oosten,Koen Jacobus Johannes Maria Zaal,Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-08-04.