Mapping type electronic microscope with decreased geometric aberration and space charge effect
Номер патента: TW200831889A
Опубликовано: 01-08-2008
Автор(ы): Takeshi Murakami, Wei-Ming Ren
Принадлежит: Ebara Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-08-2008
Автор(ы): Takeshi Murakami, Wei-Ming Ren
Принадлежит: Ebara Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Mapping type electronic microsope with decreased geometric aberration and space charge effect
Номер патента: TWI431267B. Автор: Takeshi Murakami,Weiming Ren. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2014-03-21.