Display device, and method and apparatus for manufacturing the same
Номер патента: US11564321B2
Опубликовано: 24-01-2023
Автор(ы): Jong-Hwan Kim, Kwan-Young Han, Kyung-Su Lee, Yong-Youl Cho
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-01-2023
Автор(ы): Jong-Hwan Kim, Kwan-Young Han, Kyung-Su Lee, Yong-Youl Cho
Принадлежит: Samsung Display Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scheduling method and wafer scheduling apparatus for etching equipment
Номер патента: US20230059538A1. Автор: Jianping Wang,Chien-Hung Chen,Jinjin CAO. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-23.