Apparatus for supplying a process fluid and apparatus for processing a substrate having the same
Номер патента: TW200929420A
Опубликовано: 01-07-2009
Автор(ы): Gi-Hong Park, Jung-Soo Lee
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-07-2009
Автор(ы): Gi-Hong Park, Jung-Soo Lee
Принадлежит: Semes Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus for substrate processing with fluid
Номер патента: US20090045034A1. Автор: Yi-Cheng Wang. Владелец: Perfect Dynasty Taiwan Ltd. Дата публикации: 2009-02-19.