Dual shallow trench isolation (STI) structure for field effect transistor (FET)
Номер патента: US9595579B2
Опубликовано: 14-03-2017
Автор(ы): Max G. Levy, Michael J. Zierak, Natalie B. Feilchenfeld, Richard A. Phelps, Santosh Sharma, Yun Shi
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-03-2017
Автор(ы): Max G. Levy, Michael J. Zierak, Natalie B. Feilchenfeld, Richard A. Phelps, Santosh Sharma, Yun Shi
Принадлежит: Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Dual shallow trench isolation (sti) field effect transistor (fet) and methods of forming
Номер патента: US20150255539A1. Автор: Max G. Levy,Yun Shi,Richard A. Phelps,Natalie B. Feilchenfeld,Santosh Sharma,Michael J. Zierak. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2015-09-10.