Applying channel stress to Fin field-effect transistors (FETs) (FinFETs) using a self-aligned single diffusion break (SDB) isolation structure
Номер патента: US09570442B1
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Jun Yuan, Yanxiang Liu
Принадлежит: Qualcomm Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-02-2017
Автор(ы): Jun Yuan, Yanxiang Liu
Принадлежит: Qualcomm Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fin field effect transistor and method for fabricating the same
Номер патента: US09768170B2. Автор: Horng-Huei Tseng,Che-Cheng Chang,Chih-Han Lin. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.