Fabrication Of Vertical Field Effect Transistor Structure With Strained Channels
Номер патента: US20180366560A1
Опубликовано: 20-12-2018
Автор(ы): Juntao Li, Kangguo Cheng
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-12-2018
Автор(ы): Juntao Li, Kangguo Cheng
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fabrication of vertical transport fin field effect transistors with a self-aligned separator and an isolation region with an air gap
Номер патента: US20180308743A1. Автор: Peng Xu,Kangguo Cheng,Heng Wu,Zuoguang Liu,Sebastian NACZAS. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-10-25.