Local isolation of source/drain for reducing parasitic capacitance in vertical field effect transistors
Номер патента: US20220037210A1
Опубликовано: 03-02-2022
Автор(ы): Alexander Reznicek, Christopher J. Waskiewicz, Hemanth Jagannathan, Ruilong Xie
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-02-2022
Автор(ы): Alexander Reznicek, Christopher J. Waskiewicz, Hemanth Jagannathan, Ruilong Xie
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Local isolation of source/drain for reducing parasitic capacitance in vertical field effect transistors
Номер патента: US20210035867A1. Автор: Alexander Reznicek,Ruilong Xie,Hemanth Jagannathan,Christopher J. Waskiewicz. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2021-02-04.