Radiation-sensitive resin composition and resist pattern formation method
Номер патента: KR102447850B1
Опубликовано: 28-09-2022
Автор(ы): 다케히코 나루오카, 데츠로우 가네코
Принадлежит: 제이에스알 가부시끼가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-09-2022
Автор(ы): 다케히코 나루오카, 데츠로우 가네코
Принадлежит: 제이에스알 가부시끼가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pattern forming method, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, and method of manufacturing electronic device
Номер патента: JPWO2018042956A1. Автор: 啓太 加藤,三千紘 白川,研由 後藤,享平 崎田,雅史 小島. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2019-06-24.