Spatial filter for optically based defect inspection system
Номер патента: US5172000A
Опубликовано: 15-12-1992
Автор(ы): Lawrence H. Lin, Robert B. Howe, Victor A. Scheff
Принадлежит: Insystems Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 15-12-1992
Автор(ы): Lawrence H. Lin, Robert B. Howe, Victor A. Scheff
Принадлежит: Insystems Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Two-dimensional uv compatible programmable spatial filter
Номер патента: US20040001198A1. Автор: Ralph Johnson,Jamie Sullivan,Dieter WILK,Rex Runyon,Eric Vella,Anlun Tang. Владелец: KLA Tencor Technologies Corp. Дата публикации: 2004-01-01.