기판 지지 장치 및 이를 이용한 기판 로딩 방법
Номер патента: KR20230066976A
Опубликовано: 16-05-2023
Автор(ы): 김종수, 박영식, 이무영
Принадлежит: 삼성전자주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2023
Автор(ы): 김종수, 박영식, 이무영
Принадлежит: 삼성전자주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support
Номер патента: US11810800B2. Автор: Hiroyuki Nakayama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.