Measurement models of nanowire semiconductor structures based on re-usable sub-structures
Номер патента: WO2019178424A1
Опубликовано: 19-09-2019
Автор(ы): Alexander Kuznetsov, Houssam Chouaib
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-09-2019
Автор(ы): Alexander Kuznetsov, Houssam Chouaib
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Measurement Models Of Nanowire Semiconductor Structures Based On Re-Useable Sub-Structures
Номер патента: US20190286787A1. Автор: Alexander Kuznetsov,Houssam Chouaib. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2019-09-19.