Electrostatic deflector, for electron beam exposure apparatus, with reduced charge-up
Номер патента: TW419734B
Опубликовано: 21-01-2001
Автор(ы): HIROSHI Yasuda, Tomohiko Abe, Yoshihisa Ooae
Принадлежит: Advantest Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-01-2001
Автор(ы): HIROSHI Yasuda, Tomohiko Abe, Yoshihisa Ooae
Принадлежит: Advantest Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Heat-spreading blanking system for high throughput electron beam apparatus
Номер патента: US09881764B2. Автор: Christopher Sears,Xinrong Jiang,Douglas Larson. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2018-01-30.