Ampoule for a semiconductor manufacturing precursor
Номер патента: WO2023278129A1
Опубликовано: 05-01-2023
Автор(ы): Garry K. Kwong, Kenric Choi, William J. Durand
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-01-2023
Автор(ы): Garry K. Kwong, Kenric Choi, William J. Durand
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor manufacturing apparatus, gas supplying method using the same, and semiconductor manufacturing method using the same
Номер патента: US20240124979A1. Автор: Suji Gim,Hanhim Kang,Chan Kyu LIM,Yoonbon Koo,Jongkoo Lim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-04-18.