Substrate Support, Substrate Processing Apparatus and Method of Manufacturing Semiconductor Device
Номер патента: US20240162067A1
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Daiki Taniguchi
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Daiki Taniguchi
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus, substrate suppport and method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US20220157628A1. Автор: Yusaku OKAJIMA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2022-05-19.