PLASMA GENERATOR APPARATUS
Номер патента: US20170365447A1
Опубликовано: 21-12-2017
Автор(ы): Kim Hongseub
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-12-2017
Автор(ы): Kim Hongseub
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Plasma generation for thin film deposition on flexible substrates
Номер патента: US09435028B2. Автор: Eric R. Dickey. Владелец: Lotus Applied Technology LLC. Дата публикации: 2016-09-06.