Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190371572A1
Опубликовано: 05-12-2019
Автор(ы): NAKAGOMI Motoko, WAKABAYASHI Satoshi, Yamasaki Hideaki
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Film-forming apparatus

Номер патента: US20200010956A1. Автор: Yuichi Furuya,Toshiaki Fujisato,Daisuke Toriya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-09.

Film forming apparatus

Номер патента: US20170125282A1. Автор: Masayuki Hasegawa,Kiichi Takahashi,Yuya SASAKI,Takahito Umehara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-04.

Film forming apparatus

Номер патента: US20150167169A1. Автор: Makoto Takada,Takashi Nagira. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-06-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230392258A1. Автор: Toshio Hasegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-07.

Film forming apparatus

Номер патента: US11155918B2. Автор: Hitoshi Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-26.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240209507A1. Автор: Hiroyuki Wada,Manabu Honma,Noriaki Fukiage,Takuya Oikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230295797A1. Автор: Toshihiko Iwao,Satoru Kawakami,Takayuki Komiya,Taro Ikeda,Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Film forming apparatus

Номер патента: US11414754B2. Автор: Hachishiro Iizuka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-16.

Deposited film forming apparatus

Номер патента: US6113732A. Автор: Masahiro Kanai,Masatoshi Tanaka,Takehito Yoshino,Hiroshi Echizen,Kohei Yoshida,Hirokazu Ohtoshi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2000-09-05.

Annular member and film-forming device in which same is used

Номер патента: US20150041314A1. Автор: Tomoyuki Inoue. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2015-02-12.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200199750A1. Автор: IWANAGA Takeshi. Владелец: FUJI XEROX CO., LTD.. Дата публикации: 2020-06-25.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150315705A1. Автор: Kazuya Okubo,Takeshi Kumagai,Muneyuki Otani. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09551068B2. Автор: Kazuya Okubo,Takeshi Kumagai,Muneyuki Otani. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US10385455B2. Автор: Kazutaka Iizuka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-08-20.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20170306492A1. Автор: Kazutaka Iizuka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-10-26.

Film-forming apparatus

Номер патента: US09441293B2. Автор: Tetsuya Saitou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-13.

Film forming apparatus with annular exhaust duct

Номер патента: US20230366082A1. Автор: Jun Yoshikawa,wei chen Liao. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240290610A1. Автор: Tetsuya Sato,Yusuke Kubota,Takashi Fuse,Shuji Azumo. Владелец: University of Yamanashi NUC. Дата публикации: 2024-08-29.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240084451A1. Автор: Jeonghyeong Lee,Sangyub le. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-14.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US12018370B2. Автор: Toru Kanazawa,Toshiyuki Ikeuchi,Tatsuhiko Tanimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20200312626A1. Автор: Jun Yamawaku. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Film forming method and system

Номер патента: US12060640B2. Автор: Jinseok Kim,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230135342A1. Автор: Hiroki Murakami,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11915914B2. Автор: Hiroki Murakami,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230062105A1. Автор: Makoto Wada,Hiroyuki Ikuta,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Plasma film forming apparatus and plasma film forming method

Номер патента: US20220076932A1. Автор: Masaru Shimada,Hironori TORII,Kozue Tanaka. Владелец: Jsw Afty Corp. Дата публикации: 2022-03-10.

Film forming apparatus, film forming method and non-transitory storage medium

Номер патента: US10535501B2. Автор: Katsutoshi Ishii,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-14.

Film-forming method, film-forming apparatus, and oxidation method

Номер патента: US20220068637A1. Автор: Naotaka Noro,Kouji Shimomura,Toshiyuki Ikeuchi,Kotaro Miyatani,Ryoun SHIMAMOTO,Younggi HONG. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20200308696A1. Автор: Keisuke Fujita,Yoshihiro Takezawa,Rui KANEMURA,Keita Kumagai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Plasma film forming method

Номер патента: US20200098563A1. Автор: Fumitaka Shoji. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2020-03-26.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210061892A. Автор: 류지 기무라,요시히로 나카수,타다시 세키타니. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-05-28.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200048764A1. Автор: Fujii Yasushi,KUWADA Hirotaka,KEIMOTO Yuki,NUNOSHIGE Yu. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

Film forming apparatus, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09673092B2. Автор: Hiroki ARAI,Ryu Nakano,Noboru Takamure. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-06-06.

Film forming apparatus, cleaning method for film forming apparatus and recording medium

Номер патента: US20180108518A1. Автор: Toshio Hasegawa,Shinya Iwashita,Naotaka Noro,Katsuhito Hirose,Tamaki Takeyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-04-19.

Film forming apparatus

Номер патента: US12027344B2. Автор: Yasushi Morita,Tsuyoshi Moriya,Shinya Iwashita,Tatsuo Matsudo,Takahiro Shindo,Ayuta Suzuki,Takamichi Kikuchi,Kazuki DEMPOH. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus and non-transitory recording medium

Номер патента: US09920424B2. Автор: Ryota Goto,Rintaro TAKAO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Adhesion removal method and film-forming method

Номер патента: US12116675B2. Автор: Yosuke TANIMOTO,Shimon Osada. Владелец: Resonac Corp. Дата публикации: 2024-10-15.

Film forming method

Номер патента: US09390912B2. Автор: Koji Sasaki,Keisuke Suzuki,Yuichiro Morozumi,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-07-12.

Film forming method

Номер патента: US20230420249A1. Автор: Keisuke Suzuki,Yosuke Watanabe,Shota CHIDA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-28.

Thin film forming method, thin film forming apparatus and solar cell

Номер патента: US20010031542A1. Автор: Michio Kondo,Norikazu Ito,Akihisa Matsuda,Yoshimi Watabe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-10-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11410847B2. Автор: Hiroyuki Hayashi,Keisuke Fujita,Keita Kumagai,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-09.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200312661A1. Автор: Hiroyuki Hayashi,Keisuke Fujita,Keita Kumagai,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-01.

Film Forming Method and Substrate Processing System

Номер патента: US20200098573A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-26.

Ge—Sb—Te film forming method, Ge—Te film forming method, and Sb—Te film forming method

Номер патента: US9246098B2. Автор: Yumiko Kawano,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-01-26.

Film forming method, processing apparatus, and processing system

Номер патента: US20240175121A1. Автор: Hiroki Murakami,Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Film forming method

Номер патента: US20230335394A1. Автор: Takeshi Oyama,Kiwamu Ito,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Film forming apparatus and method of forming crystalline semiconductor film using the same

Номер патента: US20240234140A1. Автор: Hiroshi Hashigami,Muneyuki KOJIMA. Владелец: Shin Etsu Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming apparatus and method for forming crystalline semiconductor film using same

Номер патента: EP4415028A1. Автор: Hiroshi Hashigami,Muneyuki KOJIMA. Владелец: Shin Etsu Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-14.

Cleaning Method and Operating Method of Film-Forming Apparatus, and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190284687A1. Автор: WATANABE Masahisa,MIYAHARA Tatsuya,FUJITA Sena. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-19.

Film forming method and atmospheric plasma film forming apparatus

Номер патента: US20230399748A1. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2023-12-14.

Film forming device, film forming method and storage medium

Номер патента: TW201124555A. Автор: Yasuhiko Kojima,Shuji Azumo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-07-16.

Film forming apparatus, film forming method, and film forming system

Номер патента: US20220148980A1. Автор: Atsushi Kubo,Takayuki Yamagishi,Tetsuya Saito,Takayuki Kamaishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12077865B2. Автор: Makoto Wada,Hiroyuki Ikuta,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-03.

Film forming apparatus

Номер патента: US09885112B2. Автор: Kazuo Sato,Takayuki Yamagishi,Naoto Tsuji. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-02-06.

Film forming apparatus

Номер патента: EP4141141A1. Автор: Eiji Sato,Hitoshi Sakamoto. Владелец: Creative Coatings Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-01.

Film forming apparatus

Номер патента: US20180155817A1. Автор: Naoyuki Suzuki,Tetsuya Miyashita,Junichi Takei. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-07.

Film forming apparatus, substrate processing apparatus, film forming method, and recording medium recording program for executing this film forming method

Номер патента: JP5276387B2. Автор: 寿 加藤,学 本間. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-28.

Film forming apparatus, substrate processing apparatus, film forming method, and computer readable storage medium for supplying a plurality of reaction gases to substrate in turn

Номер патента: KR101536779B1. Автор: 히또시 가또오,마나부 혼마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-07-14.

TUNGSTEN FILM FORMING METHOD, FILM FORMING SYSTEM AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190221434A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200017963A1. Автор: Monden Taichi. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-16.

SILICON NITRIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON NITRIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180037992A1. Автор: Ogawa Jun,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-08.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20170186606A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,KARAKAWA Takayuki,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-29.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190287787A1. Автор: Sato Jun,NISHINO Yuji. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US9892909B2. Автор: Akihiro Kuribayashi,Jun Ogawa,Noriaki Fukiage,Takayuki Karakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7224217B2. Автор: 秀司 東雲,豊弘 鎌田,雄一郎 我妻,進一 池. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-17.

Thin film forming method and thin film stack

Номер патента: US20110052924A1. Автор: Kiyoshi Oishi. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2011-03-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240254626A1. Автор: Takashi Matsumoto,Hiroki Yamada,Ryota IFUKU,Nobutake KABUKI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200407850A1. Автор: Tetsuya Yamamoto,Hisashi Kitami. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2020-12-31.

Adhered substance removing method and film-forming method

Номер патента: EP4060076A1. Автор: Yosuke TANIMOTO. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2022-09-21.

Film-forming method of an osmium film

Номер патента: US09714468B2. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Daiwa Techno Systems Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-25.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US6165916A. Автор: Hitoshi Itoh,Kouichi Muraoka. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2000-12-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240203729A1. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Thin film forming apparatus

Номер патента: WO2004055873A1. Автор: Joo-Sik Yoon. Владелец: TM TECH CO., LTD.. Дата публикации: 2004-07-01.

Film forming apparatus

Номер патента: US20190062906A1. Автор: Biao TIAN,Lihao ZHAO. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-02-28.

Film forming apparatus

Номер патента: US20180044777A1. Автор: Hiromichi Nakata,Yoji Sato,Takayasu Sato,Shota Matsuda,Kazutaka Tachibana,Daiki TSUBOI. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2018-02-15.

Film forming apparatus

Номер патента: US10385453B2. Автор: Masato Yonezawa,Koji Yoshii,Shigehiro Miura,Hiroyuki Akama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-08-20.

Film forming apparatus

Номер патента: US10030603B2. Автор: Koji Kobayashi,Junya FUNATSU. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-24.

Film forming apparatus

Номер патента: US20180087467A1. Автор: Koji Kobayashi,Junya FUNATSU. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12060641B2. Автор: Hiroyuki Ikuta,Yoshiyuki Kondo,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Film forming method and method of manufacturing thin film transistor

Номер патента: US09947550B2. Автор: Eiji Takahashi. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-17.

Film forming method, film forming apparatus, and program

Номер патента: US12094700B2. Автор: Toshiharu Hirata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240175117A1. Автор: Jun Ogawa,Yamato Tonegawa,Ken OKOSHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Film forming apparatus, gas supply device and film forming method

Номер патента: US09644266B2. Автор: Masayuki Nasu,Masaki Sano,Yu Nunoshige. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-09.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190345604A1. Автор: Chio Hyun Ho. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-14.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and plasma atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US20200013593A1. Автор: Tatsuya Matsumoto,Keisuke Washio,Junichi Shida,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2020-01-09.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230399737A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Toshio Hasegawa,Kouji Shimomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190067015A1. Автор: Kaneko Miyako,WAGATSUMA Yuichiro,NORO Naotaka. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200095683A1. Автор: MAEKAWA Koji,YAMAGUCHI Katsumasa,SAMESHIMA Takashi. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-26.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150315705A1. Автор: Kumagai Takeshi,Okubo Kazuya,Otani Muneyuki. Владелец: . Дата публикации: 2015-11-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP6455481B2. Автор: 和孝 飯塚,飯塚　和孝. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-01-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230326719A1. Автор: Naoko Suzuki,Takashi Hashizume,Miyako Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-12.

Ignition control method, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20230235460A1. Автор: Takeshi Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11158492B2. Автор: Hiroyuki Iwashita,Hiroyuki Toshima,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-26.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20200043711A1. Автор: Hiroyuki Iwashita,Hiroyuki Toshima,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-06.

Boron nitride film forming method and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20170117145A1. Автор: Takahiro Miyahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-27.

Film forming method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194456A1. Автор: Hiroki Murakami,Shuichiro SAKAI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Film Forming Method, Boron Film, and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20180174838A1. Автор: Ueda Hirokazu,Oka Masahiro,Ishikawa Hiraku,Watanabe Yoshimasa,YONEZAWA Syuhei. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and plasma atomic layer deposition apparatus

Номер патента: US12009183B2. Автор: Tatsuya Matsumoto,Keisuke Washio,Junichi Shida,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2024-06-11.

Adhesion removal method and film-forming method

Номер патента: US20220059327A1. Автор: Yosuke TANIMOTO,Shimon Osada. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2022-02-24.

Film-forming apparatus

Номер патента: US09831067B2. Автор: Toshihiko Iwao,Koji Yamagishi,Masahide Iwasaki,Satoshi Yonekura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-28.

Cleaning method and film forming apparatus

Номер патента: US11786946B2. Автор: Shingo Hishiya,Akinobu Kakimoto,Sung Duk SON. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US12065732B2. Автор: Yukio Sano,Hirokatsu Kobayashi,Michikazu NAKAMURA,Masayuki Harashima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11587787B2. Автор: Hiroyuki Hayashi,Daisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Yutaka Motoyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-21.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240128081A1. Автор: Daisuke Suzuki,Toru Kanazawa,Keisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Tatsuya Miyahara,Yosuke Watanabe,Yuki Tanabe,Masahisa Watanabe,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Film-forming method, film-forming device, and crystalline oxide film

Номер патента: EP4407660A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230207316A1. Автор: Koji Neishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Film forming method and film forming system

Номер патента: US20200071829A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-05.

Film forming device, film forming method, oxide semiconductor film and multilayer body

Номер патента: EP4428902A1. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-11.

Silicon film forming method, thin film forming method and cross-sectional shape control method

Номер патента: US09758865B2. Автор: Mitsuhiro Okada,Hiroyuki Hayashi,Kazuya Takahashi,Kazuhide Hasebe,Katsuhiko Komori,Akinobu Kakimoto,Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-12.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20240263306A1. Автор: Yumiko Kawano,Tadashi MITSUNARI,Shinichi Ike,Shuji Azumo,Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US09735003B2. Автор: Yuusuke Sato,Takumi Yamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Ruthenium film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US09779950B2. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Film forming method, film forming apparatus and recording medium

Номер патента: US09540733B2. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Film forming method and substrate processing device

Номер патента: US20240274436A1. Автор: Keiichi Nagasaka,Toru Kitada,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Film-forming material, film-forming composition, film-forming method using film-forming material and film-forming composition, and semiconductor device fabricated using film-forming method

Номер патента: US20240240318A1. Автор: Jong Moon Kim,Chang Bong Yeon,Jae Sun Jung,Kok Chew TAN. Владелец: Soulbrain Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Nitride film forming method and storage medium

Номер патента: US09972486B2. Автор: Daisuke Suzuki,Takahiro Miyahara,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-15.

Film forming method, film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US09640448B2. Автор: Hiromi Shima,Hiroaki Ikegawa,Yusuke TACHINO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-02.

Tungsten film forming method, semiconductor device manufacturing method, and storage medium

Номер патента: US09536782B2. Автор: Koji Maekawa,Yasushi Aiba,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-03.

Ruthenium film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20230227973A1. Автор: Tadahiro Ishizaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

Film forming method, film forming system and surface processing method

Номер патента: US20180037989A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Kazuyoshi Yamazaki,Naotaka Noro,Miyako Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-08.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: EP4269650A2. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-11-01.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20230340667A1. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-10-26.

Silicon carbide semiconductor film-forming apparatus and film-forming method using the same

Номер патента: US09879359B2. Автор: Masahiko Ito,Hideki Ito,Koichi Nishikawa,Masami Naito,Isaho Kamata,Hidekazu Tsuchida,Hiroaki FUJIBAYASHI,Ayumu Adachi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Film-forming method for forming silicon oxide film on tungsten film or tungsten oxide film

Номер патента: US09466476B2. Автор: Jun Sato,Pao-Hwa Chou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Thin film forming method

Номер патента: US09777366B2. Автор: Shigeru Nakajima,Atsushi Endo,Kazumasa Igarashi,Satoshi Takagi,Takahiro Miyahara,Akinobu Kakimoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Film-forming method for forming silicon oxide film on tungsten film or tungsten oxide film

Номер патента: US09460913B2. Автор: Jun Sato,Pao-Hwa Chou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-04.

Oxide semiconductor film and film-forming method the same, semiconductor apparatus

Номер патента: US20240234138A9. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming method, semiconductor device and manufacturing method of the same

Номер патента: US20020013068A1. Автор: Tomomi Suzuki,Kazuo Maeda,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Kouichi Ohira,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake,Shoji Ohgawara. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2002-01-31.

Film forming method, method of manufacturing semiconductor device, and processing system

Номер патента: US20240297209A1. Автор: Susumu Yamauchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200035508A1. Автор: Satoshi Takagi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Film forming method for a semiconductor device

Номер патента: EP1143499A3. Автор: Tomomi Canon Sales Co. Ltd. Suzuki,Hiroshi Canon Sales Co. Ltd. Ikakura,Kazuo Semiconduct.Process Laborator.Co Ltd Maeda,Yoshimi Semiconduct.Process Labor.Co Ltd Shioya,Kouichi Semiconduct.Process Labor.Co Ltd Ohira. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2003-01-02.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US10811264B2. Автор: Naotaka Noro,Miyako Kaneko,Yuichiro WAGATSUMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-10-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11417521B2. Автор: Hitoshi Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-16.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190067015A1. Автор: Naotaka Noro,Miyako Kaneko,Yuichiro WAGATSUMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-28.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210407779A1. Автор: Atsushi Gomi,Atsushi Takeuchi,Kanto Nakamura,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-30.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20130255569A1. Автор: Yuusuke Sato,Takumi Yamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2013-10-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210363638A1. Автор: Satoshi Wakabayashi,Daisuke HOJO,Yuka Goto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-11-25.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230257871A1. Автор: Takashi Matsumoto,Ryota IFUKU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Film forming method and film forming system

Номер патента: US11401609B2. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-02.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: EP4269650A3. Автор: Kazuhiro Matsuo,Kota Takahashi,Masaya Toda,Kenichiro TORATANI,Tomoki ISHIMARU. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-01-17.

Thin film forming method and thin film forming appartus

Номер патента: US20150354062A1. Автор: Yuichi Ito,Kazuya Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-10.

Film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20240105445A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Issei TAKEYASU. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Tungsten Film-Forming Method, Film-Forming System and Storage Medium

Номер патента: US20240003002A1. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Tungsten film-forming method, film-forming system and storage medium

Номер патента: US11802334B2. Автор: Koji Maekawa,Katsumasa Yamaguchi,Takashi Sameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-31.

Film forming method and semiconductor production apparatus

Номер патента: US20220010424A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Atsushi Endo,Tsuyoshi Moriya,Yusuke Suzuki,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-01-13.

Film forming method and crystalline multilayer structure

Номер патента: US20210272805A1. Автор: Isao Takahashi,Takashi Shinohe. Владелец: Flosfia Inc. Дата публикации: 2021-09-02.

Film forming method and patterning method

Номер патента: US20190074172A1. Автор: Taishi Ebisudani,Yoshio SUSA,Yuko KENGOYAMA. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2019-03-07.

Thin film forming device for solar cell and thin film forming method

Номер патента: US20130295751A1. Автор: Kenichi Hara,Masaki Narushima,Takamasa Kato. Владелец: University of Yamanashi NUC. Дата публикации: 2013-11-07.

Oxide semiconductor film and film-forming method the same, semiconductor apparatus

Номер патента: US20240136179A1. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Film forming method and semiconductor device

Номер патента: US6642157B2. Автор: Tomomi Suzuki,Kazuo Maeda,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Kouichi Ohira,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake,Shoji Ohgawara. Владелец: Canon Marketing Japan Inc. Дата публикации: 2003-11-04.

Protective film forming method

Номер патента: US10431452B2. Автор: Yutaka Takahashi,Masahiro Murata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-10-01.

Thin film forming method

Номер патента: US12025484B2. Автор: Youngjae Kim,Younghoon Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-07-02.

Film forming method

Номер патента: US20230357923A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Toshio Hasegawa,Kouji Shimomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-09.

Film forming apparatus and method for manufacturing part having film containing silicon

Номер патента: US11919032B2. Автор: Takayuki Ishii,Kazuya Nagaseki,Michishige Saito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-05.

Film forming apparatus and method for manufacturing part having film containing silicon

Номер патента: US20240207882A1. Автор: Takayuki Ishii,Kazuya Nagaseki,Michishige Saito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Film forming apparatus having an injector

Номер патента: US20170317188A1. Автор: EunSok Choi,Kyuhee Han,Yeontae Kim,Namjin Cho,Keesoo PARK. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2017-11-02.

Film forming apparatus, manufacturing management system and method of manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US20100116204A1. Автор: Daisuke Kawamura. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2010-05-13.

Film forming apparatus, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20240084456A1. Автор: Akifumi Gawase,Kazuhiro Matsuo,Kenichiro TORATANI,Kazuhiro KATONO,Yusuke Miki. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-03-14.

Film forming apparatus and temperature control method

Номер патента: US20200101490A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-02.

Film forming apparatus, manufacturing management system and method of manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US8122848B2. Автор: Daisuke Kawamura. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-02-28.

Reflector unit and film forming device

Номер патента: EP4386813A1. Автор: Kunihiko Suzuki,Masayoshi Yajima,Takuto UMETSU. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-06-19.

Control device, film forming apparatus, control method, film forming method, and recording medium

Номер патента: US20190390347A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Makoto Fujikawa,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-12-26.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210057207A1. Автор: Ogawa Jun,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200058504A1. Автор: Hayashi Hiroyuki,KANEMURA Rui. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200294798A1. Автор: AZUMO Shuji,Kamada Toyohiro,Ike Shinichi,WAGATSUMA Yuichiro. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

Vacuum film forming apparatus, vacuum film forming method, and solar cell material

Номер патента: JP4645448B2. Автор: 昌幸 水野,敬晃 長谷川,秀作 山崎. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2011-03-09.

Film forming method, manufacturing method of semiconductor device using the same, film forming apparatus, and semiconductor device

Номер патента: US20130037873A1. Автор: Keisuke Suzuki,Yuichiro Morozumi,Kentaro Kadonaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-02-14.

Silicon nitride film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: JP3868324B2. Автор: 亮 服部,友希 奥,正裕 戸塚. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2007-01-17.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20130323421A1. Автор: Koji Honma,Hitoshi Inuzuka. Владелец: SANKEI ENGR CO Ltd. Дата публикации: 2013-12-05.

Thin film forming apparatus and thin film forming method using the same

Номер патента: US09627619B2. Автор: Duckjung Lee,Kyuhwan Hwang,Jiyoung Choung. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11694891B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-04.

Polycrystalline silicon thin film forming method

Номер патента: US6447850B1. Автор: Eiji Takahashi,Naoto Kuratani,Akinori Ebe. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2002-09-10.

Film-forming method and raw material solution

Номер патента: US20230313369A1. Автор: Takenori Watabe,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210043447A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-02-11.

Film-forming method, manufacturing method of electronic device, and mask holder

Номер патента: US20200010949A1. Автор: Masaki Chiba,Keisuke Washio,Masao Nakata. Владелец: Japan Steel Works Ltd. Дата публикации: 2020-01-09.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09926624B2. Автор: Kazuki Yamada,Kenji Ouchi,Taiki KATOU,Masato Morishima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09922820B2. Автор: Takeshi Oyama,Akihiro Kuribayashi,Jun Ogawa,Noriaki Fukiage,Takayuki Karakawa,Toyohiro Kamada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Film forming apparatus, film forming method, and non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: US09624579B2. Автор: Kohei Fukushima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Insulating film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20240321571A1. Автор: Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada,Daisuke Oba,Masafumi Ishida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW200816316A. Автор: Mitsuhiro Tachibana,Takashi Nishimori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-04-01.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US20240240324A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2024-07-18.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US20220042173A1. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori MORISADA MORISADA. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2022-02-10.

Film forming apparatus, film forming method and computer-readable recording medium storing program of embodying film forming method to film forming apparatus

Номер патента: KR101222396B1. Автор: 히또시 가또오,마나부 혼마,가즈떼루 오바라. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-01-16.

Film-forming system and film-forming method

Номер патента: EP1420079A1. Автор: Akira c/o Anelva Corporation Kumagai. Владелец: Anelva Corp. Дата публикации: 2004-05-19.

FILM FORMING METHOD, METHOD FOR CLEANING PROCESSING CHAMBER FOR FILM FORMATION, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200263295A1. Автор: MIYAHARA Takahiro,YAMAUCHI Susumu. Владелец: . Дата публикации: 2020-08-20.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210054502A1. Автор: Ogawa Jun,Otsuki Shimon,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,MUKOUYAMA Ren,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20190271074A1. Автор: Suzuki Keisuke,KIKAMA Eiji,KO Kyungseok,SHIMA Hiromi. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-05.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20170306483A1. Автор: IIZUKA Kazutaka. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-10-26.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20160322218A1. Автор: Kamada Toyohiro,Iwasaki Masahide,FUKIAGE Noriaki,Igeta Masanobu,EBIHARA Ryosuke. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-03.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190378723A1. Автор: Nakamura Hideo,MURAKAMI Seishi,IDENO Yoshikazu,ASHIZAWA Hiroaki,Serizawa Yosuke,Shimizu Takaya. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP2976965B2. Автор: 浩 村上,隆司 三上. Владелец: NITSUSHIN DENKI KK. Дата публикации: 1999-11-10.

Plasma film-forming method and plasma film-forming apparatus

Номер патента: KR102047160B1. Автор: 미노루 혼다,도시오 나카니시,마사시 이마나카,천수 한. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-11-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102356225B1. Автор: 마사토 모리시마,가즈키 야마다,다이키 가토우,겐지 오우치. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-01-28.

Film forming apparatus, film forming method, and non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: TWI591201B. Автор: 福島講平. Владелец: 東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2017-07-11.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN115896754A. Автор: 佐藤润,千叶贵司. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-04-04.

Film forming apparatus, film forming method and storage medium

Номер патента: KR101805971B1. Автор: 가츠토시 이시이,야마토 도네가와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-12-06.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR102214217B1. Автор: 사토시 와카바야시,히데아키 야마사키,모토코 나카고미. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-02-08.

Film forming apparatus, film forming method and recording medium

Номер патента: KR101536805B1. Автор: 히또시 가또오,가쯔유끼 히시야,시게히로 우시꾸보. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-07-14.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR20220097444A. Автор: 에이지 사토,히토시 사카모토. Владелец: 가부시키가이샤 크리에이티브 코팅즈. Дата публикации: 2022-07-07.

Carbon hard mask, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: US11993849B2. Автор: SATOSHI Tanaka,Tsuyoshi Moriya,Hirotsugu Sugiura,Masaru Hori,Makoto Sekine,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokai National Higher Education and Research System NUC. Дата публикации: 2024-05-28.

FILM-FORMING METHOD, FILM-FORMING APPARATUS, AND OXIDATION METHOD

Номер патента: US20220068637A1. Автор: IKEUCHI Toshiyuki,NORO Naotaka,Shimomura Kouji,MIYATANI Kotaro,SHIMAMOTO Ryoun,HONG Younggi. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

Film-forming method, film-forming apparatus, and oxidation method

Номер патента: WO2020158079A1. Автор: 尚孝 野呂,晃司 下村,池内　俊之,光太郎 宮谷,竜雲 嶋本,ヨンギ ホン. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2020-08-06.

FILM FORMING APPARATUS, RECORDING MEDIUM, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20170162366A1. Автор: Yanagisawa Ippei. Владелец: ASM IP HOLDING B.V.. Дата публикации: 2017-06-08.

Film forming apparatus, control apparatus for film forming appartus, and film forming method

Номер патента: US20230002886A1. Автор: Hiroshi Yakushiji,Masahiro Shibamoto,Reiji Sakamoto. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2023-01-05.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US09551060B2. Автор: Atsushi Gomi,Yasunobu Suzuki,Shinji Furukawa,Kanto Nakamura,Tooru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20080026548A1. Автор: Masahiro Matsumoto,Toshihiro Suzuki,Noriaki Tani,Taizo Morinaka. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-01-31.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11894222B2. Автор: Atsushi Gomi,Atsushi Takeuchi,Kanto Nakamura,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-06.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20220403503A1. Автор: Hiroyuki Iwashita,Atsushi Shimada,Toru Kitada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-22.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20140246325A1. Автор: Kazuo Kondo,Yasuhiro Koizumi,Takayuki Tsuchiya,Masao Marunaka. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2014-09-04.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US20150021172A1. Автор: Akira Hamada,Tomotake Nashiki. Владелец: Nitto Denko Corp. Дата публикации: 2015-01-22.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240321563A1. Автор: Hiroshi Ootsuka,Yoji Takizawa,Ivan Petrov Ganachev,Shigeki Matsunaka. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Film forming apparatus

Номер патента: US09721771B2. Автор: Yusuke Suzuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Film-forming apparatus, method for producing film-formed product using same, and cooling panel

Номер патента: US10907246B2. Автор: Hirofumi Fujii,Takeshi Suzuki. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2021-02-02.

Thin film forming apparatus and method

Номер патента: US20240112897A1. Автор: Sun Il Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-04.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US6089185A. Автор: Yoshihiro Hashimoto,Masayasu Suzuki,Noritaka Akita. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2000-07-18.

Target and film forming apparatus

Номер патента: US20230369034A1. Автор: Hironori TORII. Владелец: Jsw Afty Corp. Дата публикации: 2023-11-16.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240021415A1. Автор: Yasuhiko Kojima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-18.

Film forming apparatus

Номер патента: US20230411131A1. Автор: Junichi Takei. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Film-forming method and atmospheric pressure plasma film-forming device

Номер патента: EP4299789A1. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-01-03.

Method and apparatus for forming silicon oxide film

Номер патента: US09472393B2. Автор: Akira Shimizu,Toshiyuki Ikeuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-18.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US09777377B2. Автор: Hajime Yamanaka,Shigeyuki Okura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-03.

Nitride film forming method

Номер патента: US20170125238A1. Автор: Akira Shimizu,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-04.

Nitride film forming method using nitrading active species

Номер патента: US09865457B2. Автор: Akira Shimizu,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Film-forming device, film-forming method, and memory medium

Номер патента: TW201612356A. Автор: Yoshiaki Sasaki,Hiromitsu Sakaue. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-04-01.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: US20120247511A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-04.

Thin-film forming apparatus, thin-film forming method and method for cleaning thin-film forming apparatus

Номер патента: KR100779823B1. Автор: 가즈히데 하세베,미쯔히로 오까다,다까시 지바,쥰 오가와. Владелец: 도쿄 엘렉트론 가부시키가이샤. Дата публикации: 2007-11-28.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5700538B2. Автор: 行雄 東條,充弘 岡田,研治 多胡,和晃 西村,西村　和晃,岡田　充弘. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-15.

Method for cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: TW201248694A. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuaki Nishimura,Yukio Tojo,Kenji Tago. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-01.

Film forming apparatus, film forming method and substrate carrying table capable of forming a uniform film and forming the film only on a substrate

Номер патента: TW201703137A. Автор: Seiji Tanaka,Tsutomu Satoyoshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-16.

Film forming method and film forming apparatus for forming nitride film using mocvd apparatus, and shower head

Номер патента: TW201704522A. Автор: Masaki Kusuhara,Masayuki Toda,Masaru Udeda. Владелец: Wacom R&D Corp. Дата публикации: 2017-02-01.

Method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus and recording medium

Номер патента: KR101697394B1. Автор: 료타 고토,린타로 다카오. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-01-17.

Adsorption apparatus, film forming apparatus, adsorption method, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN113322444A. Автор: 石井博,诸桥悟,川畑奉代,柏仓一史,富井广树,细谷映之,上田利幸. Владелец: AOI Co Ltd. Дата публикации: 2021-08-31.

Alignment apparatus, film forming apparatus, alignment method, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220072742A. Автор: 토시히로 오가타,카즈노리 타니,히데히로 야스카와. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-06-02.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of organic el display apparatus using the same

Номер патента: KR102010158B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,테루유키 호소야. Владелец: 주식회사 아오이. Дата публикации: 2019-08-12.

Film forming apparatus, manufacturing apparatus of electronic device, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102179271B1. Автор: 켄타로 스즈키. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-11-16.

Film forming apparatus, substrate processing apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP5253933B2. Автор: 学 本間. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-07-31.

Electrostatic chuck, film forming apparatus, substrate adsorption method, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7127765B2. Автор: 一史 柏倉,博 石井,秀和 元矢. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-08-30.

Alignment system, film forming apparatus, alignment method, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN111118466A. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-05-08.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102184356B1. Автор: 마사아키 사토,유키 아이자와. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-11-30.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101963982B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,테루유키 호소야. Владелец: 주식회사 아오이. Дата публикации: 2019-03-29.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220122524A. Автор: 마사히로 야마자키,히로타카 카미노,토시유키 우에다. Владелец: 가부시키가이샤 소딕. Дата публикации: 2022-09-02.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837507B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-06-03.

Thin film forming apparatus cleaning method and thin film forming method

Номер патента: JP4430918B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,淳 小川,貴司 千葉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-03-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20120321791A1. Автор: Yoshitaka Mori,Keisuke Suzuki,Kentaro Kadonaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-20.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210140044A1. Автор: NAGAIKE Hiroshi,FUNAKUBO Takao,Yoshikoshi Daisuke,Iwasaki Takahisa,Hsieh Chiju,Azuma Yuki. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Computer-Readable Storage Medium

Номер патента: US20170233866A1. Автор: Masami Oikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-17.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND NON-TRANSITORY COMPUTER-READABLE STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20150275366A1. Автор: Fukushima Kohei. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20170271143A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,OSHIMO Kentaro,Kamada Toyohiro,Otsuki Shimon,KARAKAWA Takayuki,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-21.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200294787A1. Автор: Ogawa Jun,Kuribayashi Akihiro,OSHIMO Kentaro,Kamada Toyohiro,Otsuki Shimon,KARAKAWA Takayuki,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20200308696A1. Автор: FUJITA Keisuke,TAKEZAWA Yoshihiro,KANEMURA Rui,KUMAGAI Keita. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200312661A1. Автор: FUJITA Keisuke,Hayashi Hiroyuki,KUMAGAI Keita,FUJITA Sena. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR100666042B1. Автор: 야마사키히데아키,가와노유미코,아리마스스무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2007-01-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101645775B1. Автор: 게이스케 스즈키,겐타로 가도나가,폴커 헤멜,베른하르트 초벨. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2016-08-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101237634B1. Автор: 이사오 군지,히토시 이토,히데노리 미요시. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-02-27.

Silicon nitride film forming method and silicon nitride film forming apparatus

Номер патента: CN105990101A. Автор: 佐藤敬信. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-05.

Vacuum film-forming apparatus, vacuum film-forming method and solar battery material

Номер патента: KR100919387B1. Автор: 수사구 야마사기,노리아기 하세가와,마사유기 미즈노. Владелец: 가부시키가이샤 아이에이치아이. Дата публикации: 2009-09-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101503725B1. Автор: 케이스케 스즈키,켄타로 가도나가,요시타카 모리. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-03-19.

Vaporization apparatus, film forming apparatus and film forming method

Номер патента: KR101070138B1. Автор: 스미에 세가와,이쿠오 사와다,교코 이케다,다츠로 오시타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2011-10-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5198853B2. Автор: 哲夫 清水,浩二 富永,二郎 千田,耕三 石田,耕一朗 松田,元啓 大嶋,有紀子 米田. Владелец: Doshisha. Дата публикации: 2013-05-15.

Vaporization apparatus, film forming apparatus, film forming method, computer program and storage medium

Номер патента: EP2194161A4. Автор: Ikuo Sawada,Kyoko Ikeda,Tatsuro Ohshita,Sumie Segawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-04-24.

Vaporization apparatus, film forming apparatus, film forming method, computer program and storage medium

Номер патента: CN101568667A. Автор: 池田恭子,泽田郁夫,大下辰郎,瀬川澄江. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-10-28.

Film forming apparatus, film forming method, and non-transitory computer readable storage medium

Номер патента: KR102207031B1. Автор: 기이치 다카하시,가츠히코 오야마,야스시 다케우치,가츠요시 아이카와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-01-22.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN110629198A. Автор: 藤原直宪. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-12-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JPWO2006100953A1. Автор: 富永　浩二,哲夫 清水,浩二 富永,二郎 千田,耕三 石田,耕一朗 松田,元啓 大嶋,有紀子 米田,石田　耕三. Владелец: Doshisha Co Ltd. Дата публикации: 2008-09-04.

Film forming apparatus, film forming method and substrate mounting table

Номер патента: KR101848145B1. Автор: 세이지 다나카,츠토무 사토요시. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-04-11.

Film forming method and plasma film forming apparatus

Номер патента: TW201114942A. Автор: Hideaki Yamasaki,Yu Nunoshige,Masato Koakutsu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-05-01.

Vaporization apparatus, film forming apparatus, film forming method, computer program and storage medium

Номер патента: WO2009037930A1. Автор: Ikuo Sawada,Kyoko Ikeda,Tatsuro Ohshita,Sumie Segawa. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2009-03-26.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR100691758B1. Автор: 유미코 가와노,히데아키 야마사키,스스무 아리마. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2007-03-12.

Film forming apparatus, film forming method and gas nozzle

Номер патента: JP2023117347A. Автор: 廣 川浦,Hiroshi Kawaura. Владелец: CV RESEARCH KK. Дата публикации: 2023-08-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TWI602942B. Автор: 村上博紀,鈴木啓介,佐佐木幸二,兩角友一朗. Владелец: 東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2017-10-21.

Adsorption and alignment method, adsorption system, film forming method, film forming apparatus, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20200049357A. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-05-08.

Adsorption and alignment method, adsorption system, film forming method, film forming apparatus, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102550586B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-06-30.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: KR20150112804A. Автор: 마사유키 모로이,하지메 야마나카,야스시 아이바,다카노부 홋타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-10-07.

Substrate carrier, film forming apparatus, conveying method of substrate carrier, and film forming method

Номер патента: KR20210116252A. Автор: 켄타로 스즈키. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-09-27.

Film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: JP4074461B2. Автор: 有美子 河野,幸浩 霜垣. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-04-09.

Electrostatic chuck, film forming apparatus, method for holding and separating substrate, and film forming method

Номер патента: CN109957775B. Автор: 石井博,柏仓一史,细谷映之. Владелец: AOI Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-21.

Substrate conveyance device, film forming apparatus, control method, film forming method

Номер патента: KR20220114479A. Автор: 토모카즈 스시하라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-08-17.

Substrate holder, film forming method using substrate holder, method for manufacturing hard disc, film forming apparatus and program

Номер патента: WO2009081952A1. Автор: Hiroshi Torii,Shinya Houman. Владелец: CANON ANELVA CORPORATION. Дата публикации: 2009-07-02.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210043464A. Автор: 켄타로 스즈키,슌스케 오카베,šœ스케 오카베,타이이치로 아오키,요시히로 나카스. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-04-21.

Method for removing adhering material and film forming method

Номер патента: IL290714A. Автор: . Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2022-04-01.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210066067A1. Автор: Ogawa Jun. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20190323124A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,NIINO Reiji,IIZUKA Yoji. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

Tungsten film forming method

Номер патента: US09536745B2. Автор: Kensaku Narushima,Yasushi Aiba,Tomohisa Maruyama,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-03.

Deposited-film forming apparatus

Номер патента: EP1136587A3. Автор: Fumiaki Kikui,Takeshi Nishiuchi,Yoshimi Tochishita,Ikuo Shimamoto,Kazumitsu Sato. Владелец: Sumitomo Special Metals Co Ltd. Дата публикации: 2002-03-06.

Microcrystalline silicon film forming method and solar cell

Номер патента: CA2647595A1. Автор: Masashi Ueda,Tomoko Takagi,Norikazu Itou. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-10-04.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US11098405B2. Автор: Hideaki Masuda,Nobuhide Yamada,Rikyu Ikariyama. Владелец: Toshiba Memory Corp. Дата публикации: 2021-08-24.

Film forming method

Номер патента: US20060029734A1. Автор: Masato Ishikawa,Hideaki Machida,Takeshi Kada,Naoto Noda. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2006-02-09.

Film forming device and film forming method

Номер патента: GB202409339D0. Автор: . Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-14.

FILM-FORMING APPARATUS, FILM-FORMING SYSTEM, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20200051796A1. Автор: TOSHIMA Hiroyuki,SHINADA Masato. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7229016B2. Автор: 行生 松本,洋紀 菅原. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-02-27.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD AND NON-TRANSITORY STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20140356550A1. Автор: TONEGAWA Yamato,ISHII Katsutoshi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-12-04.

PLASMA FILM-FORMING METHOD AND PLASMA FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20170370000A1. Автор: Nakanishi Toshio,Honda Minoru,HAN Cheonsoo,Imanaka Masashi. Владелец: . Дата публикации: 2017-12-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102241266B1. Автор: 히토시 가토,유타카 다카하시,마사히로 무라타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-04-15.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201843328A. Автор: 村田昌弘,加藤壽,高橋豐. Владелец: 日商東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2018-12-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: AU2003281011A1. Автор: Yumiko Kawano,Hideaki Yamasaki,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-02-02.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190085453A1. Автор: Yamada Nobuhide,Masuda Hideaki,IKARIYAMA Rikyu. Владелец: Toshiba Memory Corporation. Дата публикации: 2019-03-21.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: US20200063258A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Susumu Arima,Noboru Miyagawa,Hiroaki Ashizawa,Seokhyoung Hong. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-27.

Film-forming method and atmospheric pressure plasma film-forming device

Номер патента: EP4299789A4. Автор: Yoshihiko Mochizuki,Akihisa Yoshida. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-21.

Carbon film forming method, carbon film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US20170345644A1. Автор: Masayuki Kitamura,Akira Shimizu,Yosuke Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-30.

Carbon film forming method, carbon film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US11011369B2. Автор: Masayuki Kitamura,Akira Shimizu,Yosuke Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-18.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: CN100380592C. Автор: 伊藤宪和,高木朋子,上田仁. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2008-04-09.

Film-forming device and film-forming method

Номер патента: EP4138118A4. Автор: Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-28.

Thin film forming apparatus and thin film forming method and thin film forming system

Номер патента: EP1557871A1. Автор: N. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. ITO,T. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd TAKAGI,M. Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co. Ltd. UEDA. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2005-07-27.

Insulating film forming method, insulating film forming apparatus, and plasma film forming apparatus

Номер патента: TW200537695A. Автор: Atsushi Sasaki,Tetsuya Ide,Kazufumi Azuma,Yukihiko Nakata. Владелец: Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd. Дата публикации: 2005-11-16.

Barrier film forming apparatus, barrier film forming method, and barrier film coating container

Номер патента: JP5355860B2. Автор: 昌 白倉,英男 山越,裕司 浅原,喜与士 廣谷,実 団野,正樹 中谷,征司 後藤. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Food and Packaging Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2013-11-27.

Barrier-film forming apparatus, barrier-film forming method, and barrier-film coated container

Номер патента: CN101636523B. Автор: 白仓昌,团野实,中谷正树,浅原裕司,山越英男,后藤征司,广谷喜与士. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Food and Packaging Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2012-11-14.

Substrate carrier, film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20230016606A. Автор: 켄타로 스즈키,세이지 사토,케이타 미사와,테츠야 나가타. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-02-02.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: CN111218660A. Автор: 相泽雄树,土田隆,阪上裕介,北上悟. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-06-02.

SiC FILM FORMING METHOD AND SiC FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180076030A1. Автор: Fuse Takashi,AZUMO Shuji,YAMADA Kazuki,IFUKU Ryota,YAMATO Masatoshi. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

Silicon Nitride Film Forming Method and Silicon Nitride Film Forming Apparatus

Номер патента: US20160276147A1. Автор: SATO Hidenobu. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-22.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR102470917B1. Автор: 고경석,히로미 시마,게이스케 스즈키,에이지 기카마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-11-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102331294B1. Автор: 세이시 무라카미,히데오 나카무라,요스케 세리자와,요시카즈 이데노,히로아키 아시자와,다카야 시미즈. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-11-24.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN110578130A. Автор: 中村秀雄,芹泽洋介,出野由和,芦泽宏明,清水隆也,村上诚志. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-12-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN110578130B. Автор: 中村秀雄,芹泽洋介,出野由和,芦泽宏明,清水隆也,村上诚志. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101014062B1. Автор: 스즈끼게이스께,하세베가즈히데,엔도오아쯔시,스즈끼다이스께. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2011-02-14.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JPWO2015060234A1. Автор: 一生 鈴木,浩了 有田,鈴木　一生,大石　清,清 大石. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2017-03-09.

Silicon nitride film forming method and silicon nitride film forming apparatus

Номер патента: KR102334581B1. Автор: 노리아키 후키아게,준 오가와,다케시 오야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-12-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7130962B2. Автор: 達司 永岡. Владелец: Denso Corp. Дата публикации: 2022-09-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102326735B1. Автор: 다이치 몬덴. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-11-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101190148B1. Автор: 아키라 진즈,세이치 다카하시,에이치 미즈노. Владелец: 가부시키가이샤 아루박. Дата публикации: 2012-10-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5693348B2. Автор: 豪繁 原田,晋吾 菱屋,友一朗 両角,両角　友一朗,原田　豪繁. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-01.

Film forming apparatus, gas supply apparatus, and film forming method

Номер патента: JP6107327B2. Автор: 正樹 佐野,裕 布重,佐野　正樹,勝行 那須. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-05.

Film-forming treatment jig, plasma cvd apparatus, metal plate and osmium film forming method

Номер патента: US20140335281A1. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Daiwa Techno Systems Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-13.

Film-forming treatment jig, plasma cvd apparatus, metal plate and osmium film forming method

Номер патента: US20110268983A1. Автор: Hiroshi Sato,Yuuji Honda,Takeshi Shirato,Masamichi Osawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-11-03.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20190074177A1. Автор: Shimizu Akira,Teramoto Akinobu,ISHII Katsutoshi,SHIBA Yoshinobu,SUWA Tomoyuki. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-07.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20180179630A1. Автор: Shigeru Nakajima,Yoshihiro Takezawa,Kuniyasu Sakashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.

Film Forming Method, Film Forming Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20160284613A1. Автор: IKEGAWA Hiroaki,SHIMA Hiromi,TACHINO Yusuke. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-29.

Method and apparatus for forming hard mask film and method for manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US20200035491A1. Автор: Yutaka Fujino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Film formation method and film formation device

Номер патента: US20240254617A1. Автор: Sena FUJITA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11970768B2. Автор: Takeshi Oyama,Jun Ogawa,Hideomi Hane,Noriaki Fukiage,Shimon Otsuki,Ren MUKOUYAMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Film forming device and film forming method

Номер патента: US20240229238A9. Автор: Jun Yamawaku. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20210066067A1. Автор: Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20100236918A1. Автор: Hiroki Yamamoto,Shinya Nakamura,Tadashi Morita,Naoki Morimoto,Kenichi Imakita,Ayao Nabeya. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-09-23.

Silicon nitride film forming method, film forming device, and silicon nitride film

Номер патента: IL313438A. Автор: Morimoto Naoki,ANDO Yuta,Igari Akira. Владелец: Igari Akira. Дата публикации: 2024-08-01.

Method and apparatus for forming hard mask film and method for manufacturing semiconductor devices

Номер патента: US10879069B2. Автор: Yutaka Fujino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-12-29.

Charged particle beam device, thin film forming method, defect correction method and device fabrication method

Номер патента: EP2624279B1. Автор: Tatsuya Shimoda,Yasuo Matsuki,Yoshihiro Koyama,Anto Yasaka,Ryo Kawajiri. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-04-05.

Pre-coating method and film forming method

Номер патента: US11718910B2. Автор: Hideaki Yamasaki,Takeshi Itatani. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20190284691A1. Автор: Takashi Chiba,Takehiro Fukada,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-09-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN112391607A. Автор: 小川淳,羽根秀臣,大槻志门,小山峻史,向山廉,吹上纪明. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-02-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5661523B2. Автор: 一秀 長谷部,聡 高木,俊之 池内,柿本　明修,明修 柿本,高木　聡,長谷部　一秀,克彦 小森,池内　俊之. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-01-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20220235462A1. Автор: Hiroyuki Ikuta,Yoshiyuki Kondo,Yutaka Fujino,Hirokazu Ueda,Hideki Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-07-28.

Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20080311313A1. Автор: Tomohiro Ohta,Yasuo Kobayashi,Ikuo Sawada,Songyun Kang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-12-18.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4351755B2. Автор: 佐藤　　誠,茂 水野,英樹 佐藤,学 田上. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2009-10-28.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP6494443B2. Автор: 潤 吉川,吉川　潤,誉司 福留. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-04-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5785660B2. Автор: 西岡　浩,夏樹 福田,弘綱 鄒,浩 西岡,和紀 福寿. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2015-09-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101933260B1. Автор: 다케시 구마가이,가즈야 오쿠보,무네유키 오타니. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-12-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN110777358B. Автор: 藤永元毅,渡边幸夫,高藤哲也. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-08-24.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR20210021920A. Автор: 노리아키 후키아게,준 오가와,다케시 오야마,시몬 오츠키,히데오미 하네,렌 무코우야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-03-02.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20170004995A1. Автор: Hamaguchi Junichi,Sonoda Kazuhiro,Asakawa Keiichiro,Numata Yukinobu,Kokaze Yutaka. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2017-01-05.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200043711A1. Автор: IWASHITA Hiroyuki,TOSHIMA Hiroyuki,HIRASAWA Tatsuo. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-06.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200048759A1. Автор: TOSHIMA Hiroyuki,SHINADA Masato. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200058504A1. Автор: Hiroyuki Hayashi,Rui KANEMURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09293543B2. Автор: Yuichiro Morozumi,Katsushige Harada,Kosuke Takahashi,Takuji Hosoi,Heiji Watanabe,Takayoshi Shimura,Yusaku Kashiwagi,Shuji Azumo,Yu WAMURA. Владелец: Osaka University NUC. Дата публикации: 2016-03-22.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09966256B2. Автор: Daisuke Suzuki,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09466478B2. Автор: Shigeru Nakajima,Akira Shimizu,Tsuyoshi Tsunatori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20240363468A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-31.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US12074078B2. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-27.

Film formation method and film formation system

Номер патента: US20240150895A1. Автор: Yumiko Kawano,Hiroki Murakami,Shinichi Ike,Shuji Azumo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Film-forming apparatus, film-forming method, gallium oxide film and laminate

Номер патента: US20240229236A9. Автор: Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Method and apparatus for forming metal oxide film

Номер патента: US09552981B2. Автор: Kazuo Yabe,Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Film forming device, film forming method, and film forming program

Номер патента: US09972476B2. Автор: Kazunari Taki,Kentaro Shinoda,Hiroyuki Kousaka,Hideki Kanada,Yasuyuki TAKAOKA. Владелец: Nagoya University NUC. Дата публикации: 2018-05-15.

Tungsten film forming method

Номер патента: US20020048938A1. Автор: Mitsuhiro Tachibana,Hotaka Ishizuka. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-04-25.

PBNZT ferroelectric film, sol-gel solution, film forming method and method for producing ferroelectric film

Номер патента: US09966527B2. Автор: Takeshi Kijima,Yuuji Honda. Владелец: Youtec Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201013783A. Автор: Yoshihiro Ishida,Katsushige Harada,Takuya Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-04-01.

Film forming method, method for manufacturing semiconductor device, film forming device, and system for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US12119219B2. Автор: Hideo Nakamura,Hiroaki Ashizawa,Yosuke Serizawa,Yoshikazu IDENO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-15.

Film-forming device and film-forming method

Номер патента: US20130092528A1. Автор: Shinya Nakamura,Yoshinori Fujii. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2013-04-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240052483A1. Автор: Junya Suzuki,Yoshihiro Kato,Kazuki Goto,Yuji Otsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Titanium nitride film forming method and titanium nitride film forming apparatus

Номер патента: US20220356565A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Kensuke Higuchi,Seokhyoung Hong. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-11-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20160071728A1. Автор: Daisuke Suzuki,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Hiroki Murakami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-03-10.

Gas supply system, gas supply method, method of cleaning thin film forming apparatus, thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: TW200832543A. Автор: Hitoshi Kato,Mitsuhiro Okada,Ken Nakao,Manabu Honma,Tsuneyuki Okabe,Tomoki Haneishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-08-01.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4974815B2. Автор: 充弘 岡田,覚 水永,大和 戸根川,俊治 西村. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-07-11.

Film-forming apparatus, film-forming system, film-forming method, and method of producing an electronic apparatus or an organic electroluminescence element

Номер патента: TW200728478A. Автор: Tadahiro Ohmi,Hironori Ito,Shozo Nakayama,Takaaki Matsuoka. Владелец: Univ Tohoku. Дата публикации: 2007-08-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11970767B2. Автор: Kazuki Ota,Tetsu Zenko,Taichi Monden. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Film-forming apparatus, film-forming method, gallium oxide film and laminate

Номер патента: US20240133029A1. Автор: Hiroshi Hashigami,Takahiro Sakatsume. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Multilayer body, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: EP3901994A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-27.

Laminate, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: US20220059424A1. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-24.

Film-forming method and film-forming apparatus for forming silicon oxide film on tungsten film or tungsten oxide film

Номер патента: TW201241226A. Автор: Jun Sato,Pao-Hwa Chou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-16.

Sputtering apparatus, thin film forming method and method for manufacturing field effect transistor

Номер патента: TW201026871A. Автор: Kazuya Saito,Makoto Arai,Junya Kiyota,Satoru Ishibashi,Yasuhiko Akamatsu,Takaomi Kurata. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-07-16.

Film forming method and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: TW579546B. Автор: Kazuo Maeda,Toshiro Nishiyama,Yuki Ishii,Noboru Tokumasu. Владелец: Canon Sales Co Inc. Дата публикации: 2004-03-11.

Film forming apparatus, film forming system, film forming method, and method for manufacturing electronic device or organic electroluminescence element

Номер патента: CN101258261A. Автор: 大见忠弘,松冈孝明,伊藤日艺,中山尚三. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2008-09-03.

Film forming apparatus, film forming system, film forming method, and method for manufacturing electronic device or organic electroluminescence element

Номер патента: KR100990060B1. Автор: 다다히로 오미,다카아키 마츠오카,쇼조 나카야마,히로노리 이토. Владелец: 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠. Дата публикации: 2010-10-29.

Film forming method, film forming device, and storage medium

Номер патента: TW200746305A. Автор: Osamu Yokoyama,Takashi Sakuma,Taro Ikeda,Tatsuo Hatano,Yasushi Mizusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-12-16.

Metal oxide film formation method and apparatus

Номер патента: US20100323512A1. Автор: Hitoshi Itoh,Hiroshi Sato,Hidenori Miyoshi,Kenji Matsumoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-12-23.

Silicon film forming method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210090887A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Keisuke Fujita,Tatsuya Miyahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-25.

Gases for plasma reaction, method of dry etching, and film-forming method of fluorocarbon film

Номер патента: TW200839031A. Автор: Tatsuya Sugimoto,Masahiro Nakamura. Владелец: Zeon Corp. Дата публикации: 2008-10-01.

Film forming method of metal film, forming method of multilayer wiring structure, manufacturing method of semiconductor device, and film forming apparatus

Номер патента: TW200903644A. Автор: Masamichi Hara,Tatsuo Hatano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-01-16.

HEATING METHOD, FILM FORMING METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180277389A1. Автор: MURAKAMI Hiroki,MIYAHARA Takahiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-27.

Film forming method, film forming system and film forming apparatus

Номер патента: CN112292476A. Автор: 前川浩治,鲛岛崇,中岛滋,山口克昌. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-01-29.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN111434798A. Автор: 铃木健太郎,冈部俊介. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-07-21.

Film forming method

Номер патента: US7122486B2. Автор: Junichi Miyano,Kiyohiko Toshikawa. Владелец: Oki Electric Industry Co Ltd. Дата публикации: 2006-10-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200035508A1. Автор: Satoshi Takagi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210054501A1. Автор: Ogawa Jun,Otsuki Shimon,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,MUKOUYAMA Ren,FUKIAGE Noriaki. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200058499A1. Автор: Hayashi Hiroyuki,KANEMURA Rui. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20160071728A1. Автор: Suzuki Daisuke,Takagi Satoshi,MURAKAMI Hiroki,TAKAHASHI Kazuya. Владелец: . Дата публикации: 2016-03-10.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210098254A1. Автор: Takagi Satoshi,KITAMURA Kazuya,TSAI Hsiulin. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20200098624A1. Автор: Atsushi Matsumoto,Kensaku Narushima,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-26.

Film forming apparatus, film forming method and heat insulating member

Номер патента: US20180179625A1. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuya Takahashi,Satoshi Takagi,Kazuki Yano,Katsuhiko Komori,Keisuke Fujita,Masahisa Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210249264A1. Автор: KATO Hitoshi. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-12.

Semiconductor Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20190348278A1. Автор: MOTOYAMA Yutaka,HONG Younggi. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-14.

Film forming apparatus, film forming method and recording medium

Номер патента: JP4689324B2. Автор: 高橋　　毅,真太郎 青山,敬宏 品田,雅人 川上. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-05-25.

Thin film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101630748B1. Автор: 아츠시 엔도,사토시 다카기,아키노부 가키모토,타카히로 미야하라,시게루 나카지마,카즈마사 이가라시. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2016-06-15.

Film-forming apparatus, film-forming method and recording medium

Номер патента: KR100935483B1. Автор: 신타로 아오야마,츠요시 다카하시,다카히로 시나다,마사토 가와카미. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2010-01-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101422982B1. Автор: 히로시 사토,히토시 이토,히데노리 미요시. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2014-07-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102182996B1. Автор: 노리아키 후키아게,준 오가와,아키히로 구리바야시,다카유키 가라카와,도요히로 가마다,다케시 오야마,겐타로 오시모,시몬 오츠키,히데오미 하네. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-11-25.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7221187B2. Автор: 和也 北村,聡 ▲高▼木,秀林 蔡. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JPWO2013171988A1. Автор: 誠一 高橋,高橋　誠一. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2016-01-12.

semiconductor film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102441233B1. Автор: 홍영기,유타카 모토야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-09-08.

Thin film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101536226B1. Автор: 아츠시 엔도,사토시 다카기,아키노부 가키모토,타카히로 미야하라,시게루 나카지마,카즈마사 이가라시. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-07-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN102686773A. Автор: 三好秀典,佐藤浩,伊藤仁. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-09-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7149788B2. Автор: 隼史 堀田,淳志 松本,健索 成嶋. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-07.

Film forming apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP5034594B2. Автор: 俊夫 高木. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-09-26.

Film forming apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP5482196B2. Автор: 寿 加藤,宏之 菊地,武司 熊谷,健索 成嶋,崇 西森,康一 織戸,宗之 尾谷. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-04-23.

Film forming apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP6458595B2. Автор: 裕巳 島,寛晃 池川,雄亮 立野. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-01-30.

Amorphous carbon film, semiconductor device, film forming method, film forming apparatus and storage medium

Номер патента: US20100032838A1. Автор: Toshihisa Nozawa,Yasuo Kobayashi,Kohei Kawamura,Yoshiyuki Kikuchi,Hiraku Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-02-11.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR101282544B1. Автор: 겐사쿠 나루시마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-07-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5876398B2. Автор: 恵一 田中,寿 加藤,宏之 菊地,田中　恵一. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-03-02.

Film forming method and apparatus, and storage medium

Номер патента: US8268396B2. Автор: Hitoshi Itoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-09-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101231507B1. Автор: 다츠오 하타노,야스히코 고지마,다로 이케다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-02-07.

Film forming apparatus, film forming method, storage medium and gas supplying apparatus

Номер патента: WO2009041282A1. Автор: Einosuke Tsuda. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2009-04-02.

Multilayer film forming method and multilayer film forming apparatus

Номер патента: CN101583735B. Автор: 西冈浩,菊地真,邹红罡,神保武人,木村勲. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-08-22.

Cvd film forming method and cvd film forming apparatus

Номер патента: US20090324827A1. Автор: Hidenori Miyoshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-12-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR102294791B1. Автор: 겐사쿠 나루시마,아츠시 마츠모토,다카노부 홋타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-08-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN112410753A. Автор: 小川淳,吹上纪明. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-02-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7153582B2. Автор: 充一 中村,洋克 小林,正幸 原島,志生 佐野. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-14.

Film forming apparatus, film forming method, storage medium and gas supplying apparatus

Номер патента: CN101755325A. Автор: 津田荣之辅. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-06-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4770145B2. Автор: 一秀 長谷部,正彦 冨田,隆人 梅原,博丈 藤田. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-09-14.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4935684B2. Автор: 一秀 長谷部,伸武 野寺,ウン ジョ リー. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-05-23.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP3737221B2. Автор: 淳 増田,秀二 野村,英樹 松村,泰信 梨本,陽介 三好,亮 和泉,和雄 桜井,正一 青島. Владелец: NEC Compound Semiconductor Devices Ltd. Дата публикации: 2006-01-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: WO2009087906A1. Автор: Hitoshi Itoh,Hidenori Miyoshi,Isao Gunji. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2009-07-16.

Film forming apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: KR20150112813A. Автор: 고헤이 후쿠시마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-10-07.

Semiconductor device film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3065041B2. Автор: 優一 和田,弘行 鎗田,恒 相田,尚美 吉田. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-07-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN113053725A. Автор: 林宽之,铃木大介,本山丰,竹泽由裕. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-06-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN101715602B. Автор: 伊藤仁,小池淳一,松本贤治,根石浩司. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2012-06-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US7897205B2. Автор: Yasuo Kobayashi,Kohei Kawamura,Takatoshi Kameshima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-01.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: TW533466B. Автор: Yumiko Kawano,Hideaki Yamasaki,Susumu Arima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-05-21.

Film-forming apparatus, film-forming method and recording medium

Номер патента: US20090269494A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Shintaro Aoyama,Masato Kawakami,Takahiro Shinada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-10-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR101775196B1. Автор: 아키라 시미즈,시게루 나카지마,츠요시 츠나토리. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-09-05.

Multilayer Film Forming Method and Multilayer Film Forming Apparatus

Номер патента: US20090294280A1. Автор: Isao Kimura,Shin Kikuchi,Yutaka Nishioka,Koukou Suu,Takehito Jinbo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2009-12-03.

Multilayer film forming method and multilayer film forming apparatus

Номер патента: EP2119806A4. Автор: Isao Kimura,Shin Kikuchi,Yutaka Nishioka,Koukou Suu,Takehito Jinbo. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2015-05-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11658028B2. Автор: Hiroyuki Hayashi,Rui KANEMURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-05-23.

Film forming apparatus, film forming method and heat insulating member

Номер патента: KR102207673B1. Автор: 사토시 다카기,미츠히로 오카다,마사히사 와타나베,가츠히코 고모리,가즈야 타카하시,가즈키 야노,게이스케 후지타. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-01-25.

Method and Apparatus for Forming Metal Oxide Film

Номер патента: US20150228473A1. Автор: Kazuo Yabe,Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201100584A. Автор: Hideaki Matsuyama,Takehito Wada. Владелец: Fuji Electric Holdings. Дата публикации: 2011-01-01.

Ruthenium film forming method, ruthenium film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US20150240344A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Takashi Sakuma,Tatsuo HIRASAWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-27.

RUTHENIUM FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20160240433A1. Автор: ISHIZAKA Tadahiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-18.

Film-forming method, film-forming apparatus, and manufacturing method of a semiconductor device

Номер патента: KR20220124223A. Автор: 홍석형,츠요시 다카하시,다이치 몬덴. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-09-13.

Alignment device, alignment method, film forming apparatus, and film forming method

Номер патента: KR20210011790A. Автор: 켄타로 스즈키,슌스케 오카베,šœ스케 오카베,타이이치로 아오키,요시히로 나카스. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-02-02.

Substrate treatment method, film forming method, film forming apparatus, and computer readable storage medium

Номер патента: KR100954735B1. Автор: 나오키 요시이,야스히코 고지마,고우메이 마츠자와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2010-04-23.

Ruthenium film forming method, film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: KR101882991B1. Автор: 타다히로 이시자카. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-07-27.

Film forming method, semiconductor device and manufacturing method of the same

Номер патента: TW531835B. Автор: Tomomi Suzuki,Youichi Yamamoto,Hiroshi Ikakura,Yoshimi Shioya,Yuichiro Kotake. Владелец: Canon Sales Co Inc. Дата публикации: 2003-05-11.

Film-forming apparatus for the formation of silicon carbide and film-forming method for the formation of silicon carbide

Номер патента: US20130247816A1. Автор: Masahiko Ito,Kunihiko Suzuki,Hideki Ito,Masami Naito,Yuusuke Sato,Isaho Kamata,Hidekazu Tsuchida. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2013-09-26.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20180010238A1. Автор: KATO Kengo. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-11.

SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20160138190A1. Автор: ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,ADACHI Ayumu,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-19.

Method of determining life of crystal quartz oscilator, apparatus of measuring film thickness, film forming method, film forming apparatus and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101870581B1. Автор: 야스노부 고바야시. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-06-22.

Film forming method and film forming apparatus as well as silicon-based film, photovoltaic device and solar cell, sensor and image pick-up device using the same

Номер патента: US20030021896A1. Автор: Masafumi Sano,Koichi Matsuda,Takaharu Kondo,Makoto Higashikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-01-30.

Electrostatic chuck system, film forming apparatus, method for separating adsorbed object, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN110943026A. Автор: 石井博,柏仓一史,细谷映之. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-03-31.

Film forming apparatus and film forming method and manufacturing method of solar cell

Номер патента: KR101992074B1. Автор: 히로히사 다카하시,준스케 마츠자키. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2019-06-21.

Electrostatic chuck system, film forming apparatus, suction method, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP2020021925A. Автор: Hiroshi Ishii,石井　　博,石井　博,一史 柏倉,Kazufumi Kashiwakura. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-02-06.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220082739A. Автор: 타카히로 스나가와,노리야스 사토. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-06-17.

Film forming apparatus, film forming method, and display device manufacturing method

Номер патента: JP3833066B2. Автор: 舜平 山崎,健司 福永. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2006-10-11.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturinh method of electronic device

Номер патента: KR102481907B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라,다이고 심보,유키 사토. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-12-26.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20210080802A. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-07-01.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20220123578A. Автор: 토시히로 오가타,아라타 와타베. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-09-08.

Deposited film forming method and deposited film forming apparatus

Номер патента: JP4651072B2. Автор: 雅敏 田中,篤司 保野,博司 伊澤. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-03-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5794893B2. Автор: 邦彦 鈴木,裕輔 佐藤,佐藤　裕輔,鈴木　邦彦,義和 森山. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-10-14.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: EP2053642A1. Автор: Isao Kimura,Takeshi Masuda,Shin Kikuchi,Yutaka Nishioka,Koukou Suu,Masahiko Kajinuma,Takakazu Yamada. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2009-04-29.

Polycrystalline silicon thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: TW436896B. Автор: Eiji Takahashi,Naoto Kuratani,Akinori Ebe. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2001-05-28.

Film Forming Method and Vertical Thermal Processing Apparatus

Номер патента: US20180286665A1. Автор: Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-10-04.

Film forming method and vertical thermal processing apparatus

Номер патента: US10573518B2. Автор: Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-02-25.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20180073163A1. Автор: Kaori DEURA,Kunihiko Suzuki,Shinya Higashi,Masayoshi Yajima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-15.

Film forming apparatus, film forming method, method for optimizing rotational speed, and storage medium

Номер патента: US9200364B2. Автор: Shozo Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-01.

Film forming method, film forming apparatus and control unit for the film forming apparatus

Номер патента: US09428828B2. Автор: Shunsuke Yamamoto. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2016-08-30.

Film forming method and film forming device

Номер патента: TWI440092B. Автор: Osamu Yokoyama,Atsushi Gomi,Masamichi Hara,Tatsuo Hatano,Yasushi Mizusawa,Satoshi Taga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-06-01.

Film forming apparatus, film forming method, piezoelectric film, and liquid discharge apparatus

Номер патента: JP5052455B2. Автор: 隆満 藤井,崇幸 直野. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, and magnetic recording medium manfacturing method

Номер патента: US20150170698A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2015-06-18.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, and magnetic recording medium manufacturing method

Номер патента: US20150187381A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2015-07-02.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR20200025988A. Автор: 히로키 스가와라,아라타 와타베. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-03-10.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN110872693A. Автор: 菅原洋纪,渡部新. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-03-10.

Film forming apparatus and film forming method for forming optical thin film

Номер патента: JP5414772B2. Автор: 典明 谷,昌弘 松本,寿弘 鈴木,泰三 森中. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-02-12.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200165716A1. Автор: Nose Masaaki. Владелец: KONICA MINOLTA, INC.. Дата публикации: 2020-05-28.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4414428B2. Автор: 啓太郎 原田,正暢 楠,政好 横尾,祥暢 高野. Владелец: Tohoku Seiki Ind Ltd. Дата публикации: 2010-02-10.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: EP3660182A1. Автор: Masaaki Nose. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2020-06-03.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR101068549B1. Автор: 모토시 코바야시,요시쿠니 호리시타,히데노리 요다,시게미쯔 사토우,토시오 나카지마,큐조 나카무라,타카시 코마쯔. Владелец: 가부시키가이샤 알박. Дата публикации: 2011-09-30.

Film forming method and winding type film forming apparatus

Номер патента: CN110168130B. Автор: 本间裕章,高桥明久,长谷川正树. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2020-03-27.

Plasma generator, film forming method and film forming apparatus using the same

Номер патента: JPWO2008136130A1. Автор: 均 中河原. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2010-07-29.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: CN102428209A. Автор: 堀田和正,森本直树,武田直树,滨口纯一. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-04-25.

Protective film-forming method and protective film-forming apparatus

Номер патента: EP1925689A4. Автор: Akira Shiokawa,Hiroyuki Kado,Kaname Mizokami,Yoshinao Ooe,Kazuo Uetani. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2010-12-15.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160032446A1. Автор: GOMI Atsushi,Suzuki Yasunobu,FURUKAWA Shinji,KITADA Tooru,NAKAMURA Kanto. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220178014A1. Автор: Maeda Koji,Miyashita Tetsuya,SHIMADA Atsushi,OIKAWA Katsushi. Владелец: . Дата публикации: 2022-06-09.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US09598792B2. Автор: Masahiko Ito,Kunihiko Suzuki,Hideki Ito,Koichi Nishikawa,Masami Naito,Isaho Kamata,Hidekazu Tsuchida,Hiroaki FUJIBAYASHI,Naohisa Ikeya,Ayumu Adachi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Film Forming Method

Номер патента: US20130011943A1. Автор: Satoshi Inoue,Hisao Ikeda,Takuya Tsurume,Tohru Sonoda,Rena Tsuruoka. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-10.

Film Forming Method and Method for Manufacturing Film-Formation Substrate

Номер патента: US20130022757A1. Автор: Satoshi Inoue,Hisao Ikeda,Tomoya Aoyama,Tohru Sonoda. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2013-01-24.

Film forming method and processing system

Номер патента: US20130136859A1. Автор: Hitoshi Itoh,Kenji Matsumoto,Shigetoshi Hosaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US09963784B2. Автор: Hiroaki Ashizawa,Misuzu SATO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210380836A1. Автор: Takashi Namikawa,Takashi Fuse. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-09.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240327984A1. Автор: Yutaka Motoyama,Keita Kumagai,Hiroto Fujikawa,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20230245881A1. Автор: Taiki KATO,Zeyuan NI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Method for improving chemical resistance of polymerized film, polymerized film forming method, film forming apparatus, and electronic product manufacturing method

Номер патента: US09708507B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Makoto Fujikawa,Yoshinori Morisada,Kippei Sugita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Film forming method and apparatus

Номер патента: US20230295801A1. Автор: Masayuki Kitamura,Satoshi Wakatsuki,Hiroshi Toyoda,Shigeru Kinoshita,Naomi Fukumaki. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US09738969B2. Автор: Keisuke Shimizu,Toshiyuki Kobayashi,Yosuke Murakami,Koji Kadono,Yukiko Mizuguchi. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Film forming method

Номер патента: US12037683B2. Автор: Takenori Watabe,Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method, and film forming system and film forming method

Номер патента: US11939665B2. Автор: Naoyuki Suzuki,Einstein Noel Abarra,Masato Shinada,Tamaki Takeyama,Hiroaki Chihaya,Kazunaga Ono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-26.

Positive photosensitive resin composition and cured film forming method using the same

Номер патента: US09964848B2. Автор: Satoshi Takita. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2018-05-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US11879067B2. Автор: Takashi Namikawa,Takashi Fuse. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20210398863A1. Автор: Yusuke Suzuki,Yuji Otsuki,Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-12-23.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and storage medium

Номер патента: US20230219116A1. Автор: Yusaku Hashimoto,Yuki Matsutake,Kodai YAGI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-13.

Film-forming method

Номер патента: US20170335454A1. Автор: Noriyoshi Shimizu,Yuji Furumura,Masato Ishikawa,Shinji Nishihara,Eri Haikata. Владелец: Philtech Inc. Дата публикации: 2017-11-23.

Wafer edge protection film forming method, patterning process, and composition for forming wafer edge protection film

Номер патента: EP4325291A1. Автор: Naoki Kobayashi,Toshiharu Yano. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-21.

Wafer Edge Protection Film Forming Method, Patterning Process, And Composition For Forming Wafer Edge Protection Film

Номер патента: US20240087905A1. Автор: Naoki Kobayashi,Toshiharu Yano. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Film-forming apparatus

Номер патента: US09777376B2. Автор: Nobuhiro Hayashi,Masayuki Iijima,Hiroyuki Hirano,Kazuhiko Saito,Isao Tada,Yixin Yang,Sadatsugu Wakamatsu,Tsuyoshi Yoshimoto,Tomoharu Fujii,Takayoshi Hirono,Yoshiyuki MITSUHASHI,Togo HOSOYA,Nobuaki KAKUTANI,Naoki SUNAGAWA. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

A film forming method and a film forming apparatus, and a method of manufacturing the permanent magnet and the permanent magnet

Номер патента: TWI430294B. Автор: Hiroshi Nagata,Yoshinori Shingaki. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2014-03-11.

Film forming apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus

Номер патента: US20240327977A1. Автор: Ryuji Ishii. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-03.

Film forming apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus

Номер патента: EP4438768A1. Автор: Ryuji Ishii. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-02.

Vacuum film forming apparatus, vacuum film forming method, and battery electrode manufacturing method

Номер патента: JP4336869B2. Автор: 満博 森,裕 坂内,博規 山本,麻里子 宮地,伊紀子 山崎,功二 宇津木,環 三浦. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2009-09-30.

Film forming apparatus

Номер патента: US20230051822A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20180311700A1. Автор: Hideo Nakamura,Yasushi Fujii,Tsuyoshi Takahashi,Takashi Kamio,Kazuyoshi Yamazaki,Hiroaki Ashizawa,Seokhyoung Hong,Yu Nunoshige. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-11-01.

CARBON FILM FORMING METHOD, CARBON FILM FORMING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20170170065A1. Автор: Shimizu Akira,WATANABE Yosuke,KITAMURA Masayuki. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-15.

Alignment and film forming apparatus, alignment and film forming method, and method of manufacturing electronic device

Номер патента: CN111118445A. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-05-08.

Substrate mounting method and film forming method for film forming apparatus

Номер патента: CN101090996A. Автор: 片冈达哉,长尾兼次,齐藤谦一. Владелец: WETA TECHNOLOGY CORP. Дата публикации: 2007-12-19.

Film forming system, magnetization characteristic measuring device, and film forming method

Номер патента: US11715671B2. Автор: Einstein Noel Abarra,Hiroaki Chihaya,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-01.

Film forming system, magnetization characteristic measuring device, and film forming method

Номер патента: US20210082777A1. Автор: Einstein Noel Abarra,Hiroaki Chihaya,Shota ISHIBASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-03-18.

Film-forming method, method of manufacturing semiconductor device, semiconductor device, method of manufacturing display device, and display device

Номер патента: TW200427869A. Автор: Masashi Goto,Kazufumi Azuma,Yukihiko Nakata. Владелец: Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd. Дата публикации: 2004-12-16.

Conductive film forming method and sintering promoter

Номер патента: US09905339B2. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Kazushige Miyamoto,Yuichi Kawato. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-27.

Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

Номер патента: US20200208267A1. Автор: Takashi Kamio,Tetsuya Saitou,Kai Shiono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-07-02.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240124976A1. Автор: Kazumi Kubo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Film forming method of corrosion resistant film, corrosion resistant member on which corrosion resistant film is formed, heat exchanger, and fuel cell system

Номер патента: US11912879B2. Автор: Masao Watanabe,Yuya KUSANO,Tomoharu Kataoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-02-27.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US09499897B2. Автор: Tatsuya Hayashi,Takaaki Aoyama,Ichiro Shiono,Ekishu Nagae,Yousong Jiang,Mitsuhiro Miyauchi. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2016-11-22.

Film forming apparatus

Номер патента: US20190071773A1. Автор: Hirokatsu Kobayashi,Masayuki Harashima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-03-07.

Film forming apparatus

Номер патента: US20160222513A1. Автор: Yozo Ikedo,Yuya Nonaka. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2016-08-04.

Film forming apparatus

Номер патента: US09885114B2. Автор: Tomohiro Oota,Toshio Takagi,Tetsuya Saitou. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-06.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20110052832A1. Автор: Nobuhiro Hayashi,Masayuki Iijima,Isao Tada,Yousuke Kobayashi. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-03-03.

Film forming apparatus, wafer holder, and film forming method

Номер патента: US20120067274A1. Автор: Kazuhiro Shimura,Daisuke Hara,Yukitomo Hirochi,Masaki Murobayashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2012-03-22.

Film forming system and film forming method

Номер патента: US20230070274A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

Film forming apparatus

Номер патента: US20230049240A1. Автор: Hyunho Choi,Hyunsu SEOL,Yoodong YANG,Yujin HAN. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-02-16.

Film forming apparatus

Номер патента: US10544507B2. Автор: Koji Kobayashi,Nobuhiko Yoshimoto,Junya FUNATSU. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-28.

Shower head assembly and film forming apparatus

Номер патента: US20240191357A1. Автор: Takashi Kakegawa,Hiroo Kawasaki,Yuta Sorita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US5058527A. Автор: Masashi Nakazawa,Wasaburo Ohta. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 1991-10-22.

Film forming apparatus

Номер патента: US20180135203A1. Автор: Kunihiko Suzuki,Katsumi Suzuki,Hideki Matsuura,Kazukuni Hara,Hiroaki FUJIBAYASHI,Masayoshi Yajima,Naohisa Ikeya. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-05-17.

Film-forming apparatus

Номер патента: US20150299854A1. Автор: Takahiro Shirahata,Takahiro Hiramatsu,Hiroyuki Orita. Владелец: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp. Дата публикации: 2015-10-22.

Carbon film forming method, magnetic-recording-medium manufacturing method, and carbon film forming apparatus

Номер патента: US20120128895A1. Автор: Ichiro Ota. Владелец: SHOWA DENKO HD SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2012-05-24.

Polymerized film forming method

Номер патента: US09683128B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Makoto Fujikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-20.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: EP1681367A4. Автор: Yasuhiro Koizumi,Koichi Sasagawa,Koichi Nose,Shiro Takigawa,Takeshi Furutsuka. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2008-08-27.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240175122A1. Автор: Satoshi Onodera,Jun Ogawa,Yamato Tonegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Cleaning method and cleaning device for film-forming apparatus

Номер патента: TW468213B. Автор: Mitsuhiro Tachibana. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2001-12-11.

Film forming apparatus, film forming system, and film forming method

Номер патента: JP5203584B2. Автор: 俊久 野沢,和基 茂山. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-06-05.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20020071910A1. Автор: Kiyohisa Tateyama,Tsutae Omori. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-06-13.

Liquid film forming method

Номер патента: US20040091606A1. Автор: Shinichi Ito. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-05-13.

Silicon dioxide film forming method

Номер патента: US7211295B2. Автор: Hitoshi Kato,Yutaka Takahashi,Kazutoshi Miura,Katsutoshi Ishii. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-05-01.

Film crack detecting apparatus and film forming apparatus

Номер патента: US20140020626A1. Автор: Kazuhide Hasebe,Yudo Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-01-23.

Coating Film Forming Apparatus, Use Of Coating Film Forming Apparatus, And Recording Medium

Номер патента: US20120183693A1. Автор: Taro Yamamoto,Akihiro Fujimoto,Nobuhiro Ogata,Hiroichi Inada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-07-19.

Protective film forming apparatus

Номер патента: SG10201900645RA. Автор: YOSHIDA Hiroto. Владелец: Disco Corp. Дата публикации: 2019-09-27.

Sacrificial film forming method, substrate treatment method, and substrate treatment device

Номер патента: US20190258166A1. Автор: Masayuki Otsuji. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-22.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Formed Film

Номер патента: US20230234084A1. Автор: Tadayuki Sogi,Hiroaki Matsui,Mitsuaki Echigo,Hiroki Tsuda,Kentaro Shinoda,Jun Akedo,Hisao Ohnishi,Kyohei Manabe,Rintaro Aoyagi,Katsuki Higaki. Владелец: Osaka Gas Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-27.

Multilayered film forming method, apparatus for controlling vacuum film forming apparatus, and vacuum film forming apparatus

Номер патента: US20020132063A1. Автор: Kenji Yamakawa,Takahiko Kondo,Nao Watanabe. Владелец: Shinmaywa Industries Ltd. Дата публикации: 2002-09-19.

Polymerized film forming method and polymerized film forming apparatus

Номер патента: US20150232702A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-08-20.

Film forming method,multilayer film reflector manufacturing method, and film forming device

Номер патента: US20030129325A1. Автор: Noriaki Kandaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-07-10.

Polycrystal thin film forming method and forming system

Номер патента: US20010041391A1. Автор: Kuninori Kitahara,Akito Hara. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2001-11-15.

Thin film forming method and porous thin film

Номер патента: US12105252B2. Автор: Kunio Yoshida,Takayuki Okamoto. Владелец: Okamoto Optics Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US12065725B2. Автор: Akifumi Gawase,Atsuko Sakata,Toshihiko Nagase,Takeshi Iwasaki,Kohei Nagata,Ryohei Kitao,Yuta Konno. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Thin film forming method

Номер патента: US20110165775A1. Автор: Eisaku Watanabe,Hanako Hirayama. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2011-07-07.

Tungsten film forming method

Номер патента: US09472454B2. Автор: Yasushi Aiba,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-18.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150251196A1. Автор: Satoshi Hirano. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-10.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20240117486A1. Автор: Yasunobu Suzuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Film forming method, film forming apparatus, and article manufacturing method

Номер патента: US20230400762A1. Автор: Kenji Yoshida,Hiroyuki Koide,Yuma Onizawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20180154382A1. Автор: Satoshi Hirano,Koichi Kawasaki. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-07.

Solder connection structure and film forming method

Номер патента: US20180361708A1. Автор: Masaki Hirano. Владелец: Tatsuta Electric Wire and Cable Co Ltd. Дата публикации: 2018-12-20.

Film forming method

Номер патента: US20120064237A1. Автор: Tomokazu Ito,Yasutaka NITTA. Владелец: TOTO LTD. Дата публикации: 2012-03-15.

Insulating film forming method for semiconductor device interconnection

Номер патента: US5275977A. Автор: Toru Otsubo,Yasuhiro Yamaguchi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1994-01-04.

Thin film forming method, semiconductor substrate and electronic device produced by employing same

Номер патента: US20150349137A1. Автор: Yoshitaka Kobayashi,Shogo Nakamura,Seiichiro Higashi,Kohei SAKAIKE,Muneki AKAZAWA. Владелец: Hiroshima University NUC. Дата публикации: 2015-12-03.

Film forming method and article manufacturing method

Номер патента: US20230343591A1. Автор: Toshiki Ito,Isao Kawata,Yuto ITO. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-10-26.

Film forming method

Номер патента: US12024779B2. Автор: Haruhiko Suzuki,Eiji Shiotani,Hidenobu Matsuyama,Yoshito Utsumi,Hirohisa SHIBAYAMA,Koukichi Kamada,Naoya TAINAKA,Toshio OGIYA. Владелец: Nissan Motor Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Antireflection film forming method, antireflection film and film forming apparatus

Номер патента: JPWO2010044265A1. Автор: 暁 石橋,治彦 山本,高橋　明久,明久 高橋,石橋　暁,秀典 柳坪. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-03-15.

Insulation film-forming method for semiconductor device manufacturing wherein SiOx (O≦x≦1.8) is evaporated

Номер патента: US5804454A. Автор: Hiroshi Mori,Toshiyuki Sameshima. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1998-09-08.

Film forming mold, film forming method using mold, and film forming control system

Номер патента: EP1637308B1. Автор: Motosuke c/o Mitsuba Corporation ISHIZAWA,Takao c/o Oshima Electric Works Co. Ltd UMEZAWA. Владелец: Mitsuba Corp. Дата публикации: 2013-08-21.

Film forming apparatus and method of producing substrate using same

Номер патента: US20110266139A1. Автор: Yasuharu Matsumura. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2011-11-03.

Nozzle device, film forming apparatus and method using the same, inorganic electroluminescence device, inkjet head, and ultrasonic transducer array

Номер патента: US20090104350A1. Автор: Atsushi Osawa. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2009-04-23.

Dielectric film forming apparatus and method for forming dielectric film

Номер патента: US09593409B2. Автор: Isao Kimura,Hiroki Kobayashi,Takehito Jinbo,Youhei ENDOU,Youhei OONISHI. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2017-03-14.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240212711A1. Автор: Chihiro Tamura. Владелец: Resonac Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Thin-Film Forming Apparatus

Номер патента: US20070240637A1. Автор: Takeshi Sakurai,Tetsuji Arai,Koki Chiba,Yousong Jiang,Yizhou Song. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2007-10-18.

Plasma thin-film forming apparatus

Номер патента: US5855682A. Автор: Katsumi Yoneda. Владелец: Nippon Laser and Electronics Lab. Дата публикации: 1999-01-05.

In-line type film forming apparatus and method of manufacturing magnetic recording medium using the same

Номер патента: US20150125597A1. Автор: Satoru Ueno,Seiya NAGAI. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2015-05-07.

In-line type film forming apparatus and method of manufacturing magnetic recording medium using the same

Номер патента: US10381034B2. Автор: Satoru Ueno,Seiya NAGAI. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2019-08-13.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20160122872A1. Автор: KATO Hitoshi,Miura Shigehiro,AIKAWA Katsuyoshi,Kikuchi Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-05.

Film Forming Apparatus, Film Forming Method, and Recording Medium

Номер патента: US20180327906A1. Автор: KATO Hitoshi,Miura Shigehiro,AIKAWA Katsuyoshi,Kikuchi Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2018-11-15.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR20220116496A. Автор: 다카시 마츠모토,마코토 와다,노부타케 가부키,료타 이푸쿠,마사히토 스기우라,히로카즈 우에다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-08-23.

Film forming apparatus, film forming method, method for optimizing rotational speed, and storage medium

Номер патента: US20120315394A1. Автор: Shozo Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-13.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: US12036573B2. Автор: Shougo Inaba. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and recording medium

Номер патента: US09613836B2. Автор: Yuichi Terashita,Kousuke Yoshihara,Katsunori Ichino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20130344703A1. Автор: Hitoshi Itoh,Masahiro Shimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-26.

Film forming method for organic semiconductor film

Номер патента: US20210359212A1. Автор: Eijiro Iwase. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2021-11-18.

Method for manufacturing organic el device, film-forming method, and film-forming apparatus

Номер патента: US20200020892A1. Автор: Katsuhiko Kishimoto. Владелец: Sakai Display Products Corp. Дата публикации: 2020-01-16.

Metal-film forming apparatus and metal-film forming method

Номер патента: MY172597A. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi. Владелец: Toyota Motor Co Ltd. Дата публикации: 2019-12-04.

Pre-wet liquid, resist film forming method, pattern forming method, and kit

Номер патента: US20220197137A1. Автор: Satomi Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2022-06-23.

Film forming method

Номер патента: US6165552A. Автор: Masaaki Takizawa,Noriyuki Anai,Tsutae Omori,Mitsuhiro Sakai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2000-12-26.

Inkjet printing film-forming method, production method of organic light-emitting device, organic light-emitting device, and display apparatus

Номер патента: US20180294412A1. Автор: Ying Cui. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2018-10-11.

Film forming apparatus including a sprayer port and exhaust port on a supply pipe

Номер патента: US12096678B2. Автор: Yasutaka Nishi,Makoto NAKAZUMI. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-09-17.

Coating film forming apparatus having ring-shaped baffle member movable between processing position and retreated position

Номер патента: US09687873B2. Автор: Kouzou Tachibana. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

Film forming device, film forming method, and organic el element

Номер патента: TW201107502A. Автор: Tomohiko Edura,Kohei Tsugita,Tomiko Wanifuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-03-01.

Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic el electronic device, and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein

Номер патента: US20100207515A1. Автор: Kazuki Moyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-08-19.

Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic EL electronic device, and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein

Номер патента: US8328999B2. Автор: Kazuki Moyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-11.

Film forming apparatus control method, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: JP5255806B2. Автор: 和基 茂山. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-07.

Film forming apparatus and film forming method, information acquisition apparatus, alignment method, and electronic device manufacturing apparatus and manufacturing method

Номер патента: CN112626475A. Автор: 铃木健太郎,高津和正,樽茶友昭. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2021-04-09.

Method for determining lifetime of crystal oscillator, film thickness measuring apparatus, film forming method, film forming apparatus, and method for manufacturing electronic device

Номер патента: CN109596959B. Автор: 小林康信. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2021-03-30.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP2022173248A. Автор: Yukio Matsumoto,達哉 岩崎,行生 松本,Tatsuya Iwasaki. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-11-18.

Film forming apparatus, film forming method and method for manufacturing piezoelectric actuator

Номер патента: US7908993B2. Автор: Jun Akedo,Motohiro Yasui. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2011-03-22.

Film forming apparatus, film forming method, and electronic device manufacturing method

Номер патента: JP7199889B2. Автор: 一史 柏倉,博 石井. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-01-06.

Film forming apparatus, film forming method, and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR102501617B1. Автор: 히로시 이시이,카즈히토 카시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-02-17.

Film forming method, film forming apparatus, method for manufacturing element structure, and apparatus for manufacturing element structure

Номер патента: CN110268091B. Автор: 高桥明久,青代信,清健介,矢岛贵浩,加藤裕子. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2021-10-12.

Pattern film forming method and pattern film forming apparatus

Номер патента: JPWO2007091412A1. Автор: 彰 西脇,近藤　慶和,慶和 近藤,西脇　彰. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2009-07-02.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20090311417A1. Автор: Isao Kimura,Takeshi Masuda,Shin Kikuchi,Yutaka Nishioka,Koukou Suu,Masahiko Kajinuma,Takakazu Yamada. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2009-12-17.

Film forming apparatus, film forming method, and evaporation source unit

Номер патента: CN115700293A. Автор: 风间良秋,田村博之,松本行生,高桥龙也,原雄太郎. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-02-07.

Functional fine line pattern precursor forming method, functional fine line pattern forming method, transparent conductive film forming method, device manufacturing method and electronic device manufacturing method, functional thin line pattern, substrate with transparent conductive film, Devices and electronic equipment

Номер патента: JP6413978B2. Автор: 秀信 大屋,直人 新妻,大屋　秀信,正好 山内,小俣　猛憲,猛憲 小俣,圭一郎 鈴木. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2018-10-31.

Film forming apparatus, film forming method, method for manufacturing organic light emitting element, and organic light emitting element

Номер патента: WO2012127982A1. Автор: 小野　裕司,林　輝幸,拓岳 桑田,森田　治. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2012-09-27.

Light-emitting discharge tube, method of fabricating the same, and protective film forming apparatus

Номер патента: US20090128038A1. Автор: Manabu Ishimoto,Kenji Awamoto,Hitoshi Yamada,Hitoshi Hirakawa,Akira Tokai,Yosuke Yamazaki,Koji Shinohe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-05-21.

Light-emitting discharge tube, method of fabricating the same, and protective film forming apparatus

Номер патента: US20060175972A1. Автор: Manabu Ishimoto,Kenji Awamoto,Hitoshi Yamada,Hitoshi Hirakawa,Akira Tokai,Yosuke Yamazaki,Koji Shinohe. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2006-08-10.

Film-forming apparatus and method for manufacturing magnetic recording medium

Номер патента: US20180366150A1. Автор: Takashi Aizawa,Atsuhiro Abe. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2018-12-20.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: US09938620B2. Автор: Masayuki Moroi,Hajime Yamanaka,Yasushi Aiba,Takanobu Hotta. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-04-10.

Copper particulate dispersion, conductive film forming method and circuit board

Номер патента: US20140370310A1. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Yuichi Kawato. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-18.

CLEANING METHOD OF SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS, SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD, AND SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150267292A1. Автор: Shimizu Akira,IKEUCHI Toshiyuki,KIM Cheoljung. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-24.

Copper particulate dispersion, conductive film forming method and circuit board

Номер патента: US09615455B2. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Yuichi Kawato. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Dry electrode double steel belt apparatus for forming free-standing film and free-standing film-forming method thereof

Номер патента: EP4372836A2. Автор: MING Chen,Yan Zhou,Dong Zhang,Jiabing Liu,Xuegang Yu,Longri XU. Владелец: Dg Ssl Katop Automation Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-22.

Dry electrode double steel belt apparatus for forming free-standing film and free-standing film-forming method thereof

Номер патента: EP4372836A3. Автор: MING Chen,Yan Zhou,Dong Zhang,Jiabing Liu,Xuegang Yu,Longri XU. Владелец: Dg Ssl Katop Automation Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-12.

Method for Improving Chemical Resistance of Polymerized Film, Polymerized Film Forming Method, Film Forming Apparatus, and Electronic Product Manufacturing Method

Номер патента: US20150240121A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,SUGITA Kippei,FUJIKAWA Makoto,MORISADA Yoshinori. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

Method for improving chemical resistance of polymerized film, polymerized film forming method, film forming apparatus, and electronic product manufacturing method

Номер патента: KR101843616B1. Автор: 다츠야 야마구치,요시노리 모리사다,깃페이 스기타,마코토 후지카와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2018-03-29.

Metal oxide thin film pattern forming composition and its manufacturing method, metal oxide thin film pattern forming method, electronic component and optical part manufacturing method, and thin film forming method

Номер патента: KR100294581B1. Автор: 오기카쯔미,요네자와타다시,소야마노부유키,카게야마켄수케. Владелец: 후지무라 마사지카, 아키모토 유미. Дата публикации: 2001-09-17.

Film forming method and film forming apparatus and storage medium

Номер патента: KR101789863B1. Автор: 히로아키 아시자와,미스즈 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-10-25.

FILM FORMING APPARATUS SOURCE SUPPLY APPARATUS, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20200024740A1. Автор: TANAKA Masayuki,FURUYA Yuichi. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20150110959A1. Автор: Hiroaki Ashizawa,Misuzu SATO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-23.

POLYMERIZED FILM FORMING METHOD AND POLYMERIZED FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150232702A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,MORISADA Yoshinori. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

Polymerized Film Forming Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20150240120A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,FUJIKAWA Makoto. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-27.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150368802A1. Автор: MORISHIMA Masato,YAMADA Kazuki,Ouchi Kenji,KATOU Taiki. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200407850A1. Автор: Yamamoto Tetsuya,Kitami Hisashi. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7195239B2. Автор: 澤遠 倪,大輝 加藤. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-23.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: KR20220059965A. Автор: 다이키 가토,제유안 니. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-05-10.

Organic film forming compound, organic film forming composition, organic film forming method, and pattern forming method

Номер патента: JP6714492B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,義則 種田,渡辺　武,大佑 郡,里枝 菊地. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-06-24.

Organic film forming material, semiconductor device manufacturing substrate, organic film forming method, pattern forming method, and organic film forming compound

Номер патента: JP7308168B2. Автор: 武 渡辺,勤 荻原,誠一郎 橘,恵介 新井田,昂志 澤村,大佑 郡. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-13.

Lithographic lower layer film forming material, Lithographic lower layer film forming composition, Lithographic lower layer film forming method and pattern forming method

Номер патента: JPWO2016163456A1. Автор: 越後　雅敏,雅敏 越後,高史 牧野嶋,牧野嶋　高史,篤 大越,豪 東原,佳奈 岡田. Владелец: Mitsubishi Gas Chemical Co Inc. Дата публикации: 2018-02-08.

Gas Supply Mechanism, Gas Supplying Method, Film Forming Apparatus and Film Forming Method Using the Same

Номер патента: US20150275367A1. Автор: MOROI Masayuki,HOTTA Takanobu,AIBA Yasushi,Yamanaka Hajime. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

Gas supply mechanism, gas supplying method, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: CN104947082A. Автор: 诸井政幸,山中孟,饗场康,堀田隼史. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-09-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20220266294A1. Автор: Naohiro Toda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-08-25.

Film forming apparatus, electrode, electrochemical element, and film forming method

Номер патента: EP4245423A1. Автор: Yoshimi Nemoto. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-20.

Coating film forming method

Номер патента: EP4369428A1. Автор: Takayuki Sano,Satoshi Kuniyasu. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-05-15.

Film forming method

Номер патента: EP4353368A1. Автор: Satoshi Kuniyasu,Tamotsu Saikawa. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-04-17.

Sintered body and film forming method using the same

Номер патента: US20080124998A1. Автор: Toru Sato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2008-05-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP6485628B2. Автор: 英嗣 渕田,栄治 時崎,小澤　英一,英一 小澤. Владелец: 有限会社 渕田ナノ技研. Дата публикации: 2019-03-20.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: TWI535883B. Автор: Takahiro Sasaki,Masaya Oda,Toshimi Hitora. Владелец: Flosfia Inc. Дата публикации: 2016-06-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210047727A1. Автор: OTA Kazuki,Monden Taichi,ZENKO Tetsu. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220098726A1. Автор: Harashima Masayuki,Nakamura Michikazu,SANO Yukio,Kobayashi Hirokatsu. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190292662A1. Автор: Ogawa Jun,OSHIMO Kentaro,Otsuki Shimon,KOBAYASHI Yasuo,HANE Hideomi,OYAMA Takeshi,FUKIAGE Noriaki,IKEGAWA Hiroaki. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-26.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200340111A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,Kikuchi Yasuaki,Obara Kazuteru,Kusajima Ryuji. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5463168B2. Автор: 弘幸 西田. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2014-04-09.

FILM FORMING APPARATUS, SUSCEPTOR, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160024652A1. Автор: SUZUKI Katsumi,ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

Film-Forming Apparatus and Film-Forming Method

Номер патента: US20200208267A1. Автор: SAITOU Tetsuya,KAMIO Takashi,SHIONO Kai. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201009098A. Автор: Nobuhiro Hayashi,Masayuki Iijima,Isao Tada,Yousuke Kobayashi. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2010-03-01.

Device for controlling film formation, film forming device, and film forming method

Номер патента: EP4431632A1. Автор: Takeshi Yamaguchi,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-18.

Film forming apparatus, film forming tray, film forming method, and method for manufacturing film forming tray

Номер патента: CN109423626B. Автор: 中山孝,西山隆司. Владелец: Sumco Corp. Дата публикации: 2021-07-09.

CONTROL DEVICE, FILM FORMING APPARATUS, CONTROL METHOD, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20190390347A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,FUJIKAWA Makoto,NOZAWA Syuji. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-26.

FILM-FORMING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20180051374A1. Автор: KATO Hitoshi,MURATA Masahiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-22.

Silicon nitride film forming method and silicon nitride film forming apparatus

Номер патента: KR100984658B1. Автор: 모리사끼히또시,가미야야스시,노무라슈지,도쯔까마사히로,오꾸도모끼,하또리료. Владелец: 캐논 아네르바 가부시키가이샤. Дата публикации: 2010-10-01.

Film forming apparatus, film forming method, and recording medium

Номер патента: TW201250047A. Автор: Hitoshi Kato,Yasushi Takeuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-12-16.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20170058398A1. Автор: Shimizu Keisuke,Murakami Yosuke,Kobayashi Toshiyuki,Kadono Koji,Mizuguchi Yukiko. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-02.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US20190276932A1. Автор: Naoki Yoshioka,Satoru Ozaki,Takaharu Nishihara,Suguru TANAKA,Yuu TOKUTAKE. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2019-09-12.

Film forming method, film forming apparatus and storage medium

Номер патента: US09562285B2. Автор: Keisuke Suzuki,Shingo Hishiya,Hiroki Murakami,Minoru Obata,Kentaro Kadonaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-02-07.

Film forming method, film forming apparatus and multilayer body

Номер патента: EP4303338A1. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-10.

Film-Forming Method and Film-Forming Apparatus

Номер патента: US20200056287A1. Автор: Nakamura Hideo,TAKAHASHI Tsuyoshi,YAMAZAKI Kazuyoshi,IDENO Yoshikazu. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-20.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200063258A1. Автор: TAKAHASHI Tsuyoshi,Miyagawa Noboru,Arima Susumu,HONG Seokhyoung,ASHIZAWA Hiroaki. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

SELECTIVE FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190237326A1. Автор: Endo Atsushi,Ueda Hirokazu,KOMIYA Takayuki. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN104928647A. Автор: 铃木启介,菱屋晋吾,小幡穣,村上博纪,门永健太郎. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-09-23.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20180112312A1. Автор: Nakamura Hideo,TAKAHASHI Tsuyoshi,YAMAZAKI Kazuyoshi,IDENO Yoshikazu,KUWADA Hirotaka,ODAGIRI Masaya,EHARA Hiroki,TAMEGAI Yukihiro. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

Forming method of intermediate layer formed between base material and DLC film, DLC film forming method, and intermediate layer formed between base material and DLC film

Номер патента: US10006116B2. Автор: Hiroyuki Matsuoka,Motohiro Watanabe,Wataru Sakakibara,Soichiro Nogami. Владелец: Dowa Thermotech Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-26.

Method for cleaning film forming apparatus, film forming method, and film forming apparatus

Номер патента: EP2511946A1. Автор: KATSUSHI Kishimoto,Kazuhiko Isshiki. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Thin film forming method, optical film, polarizing film and image display method

Номер патента: TW581819B. Автор: Takashi Murakami,Kazuhiro Fukuda. Владелец: Konishiroku Photo Ind. Дата публикации: 2004-04-01.

BARRIER-FILM FORMING APPARATUS, BARRIER-FILM FORMING METHOD, AND BARRIER-FILM COATED CONTAINER

Номер патента: US20150108031A1. Автор: YAMAKOSHI Hideo,GOTO Seiji,Asahara Yuji,Danno Minoru,Nakaya Masaki,Shirakura Akira,HIROYA Kiyoshi. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-23.

A metal oxide film forming apparatus, a metal oxide film forming method and a metal oxide film

Номер патента: DE112010005624T5. Автор: Akio Yoshida,Shizuo Fujita,Takahiro Shirahata,Hiroyuki Orita,Toshiyuki Kawaharamura. Владелец: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837505B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-03-29.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of organic el display device using the same

Номер патента: KR101954539B1. Автор: 히로시 이시이,가즈히토 가시쿠라. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-03-05.

Film forming apparatus, film forming method, and method for manufacturing organic EL display device

Номер патента: CN109837519B. Автор: 石井博,柏仓一史. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2022-02-11.

The intermediate layer formed between the forming method in the intermediate layer formed between base material and DLC film, DLC film forming method and base material and DLC film

Номер патента: CN105705675B. Автор: 松冈宏之,渡边元浩,榊原渉,野上惣郎,野上惣一郎. Владелец: Dowa Thermotech Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-01.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130216710A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2013-08-22.

THIN-FILM FORMING METHOD AND THIN-FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130224381A1. Автор: Suu Koukou,Masuda Takeshi,Kajinuma Masahiko,Ideno Takuya,Odajima Nobuhiro,Uchida Yohei. Владелец: ULVAC, INC. Дата публикации: 2013-08-29.

COATING FILM FORMING APPARATUS, COATING FILM FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20150155197A1. Автор: TACHIBANA Kouzou. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-04.

Method for cleaning film forming apparatus and film forming method

Номер патента: JP4738528B2. Автор: 和彦 一色,克史 岸本. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2011-08-03.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20150072075A1. Автор: Wada Norio. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2015-03-12.

FILM FORMING APPARATUS, GAS SUPPLY DEVICE AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140295083A1. Автор: Sano Masaki,NUNOSHIGE Yu,NASU Masayuki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-10-02.

Film Forming Apparatus and Film Forming Method

Номер патента: US20200291514A1. Автор: TSUDA Einosuke. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-17.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20170306492A1. Автор: IIZUKA Kazutaka. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-10-26.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US12110604B2. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-08.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US12123103B2. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-22.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: US20240328033A1. Автор: Daisuke Suzuki,Yoshihiro Takezawa,Keita Kumagai,Hiroto Fujikawa,Tuhin Shuvra Basu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Film forming apparatus and film forming method

Номер патента: US09752249B2. Автор: Hiroshi Yanagimoto,Yuki Sato,Motoki Hiraoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-09-05.

Film forming composition and film forming method using the same

Номер патента: US20210115253A1. Автор: Masakazu Kobayashi,Go Noya,Yuki Ozaki. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2021-04-22.

Film forming composition and film forming method using the same

Номер патента: EP3607001A1. Автор: Masakazu Kobayashi,Go Noya,Yuki Ozaki. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2020-02-12.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: US20240294779A1. Автор: Kenji Sakai,Nobuhiko Narita. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-05.

Film forming method, image forming method, film, and ink composition

Номер патента: US20170313897A1. Автор: Toshihiko Sugimoto,Takeshi Honma,Motokazu Kobayashi,Yoshinori Kotani,Kenichi Iida,Satoshi YAMABI,Shinichirou Yoshikawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-11-02.

Film forming method for metal film

Номер патента: EP4414478A1. Автор: Koji Inagaki,Osamu Yamashita,Hiromichi Nakata,Masaaki Nishiyama,Yoji Sato,Jun Yoshitomi,Jyunya Murai. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-08-14.

Film forming method for metal film

Номер патента: US20240263336A1. Автор: Koji Inagaki,Osamu Yamashita,Hiromichi Nakata,Masaaki Nishiyama,Yoji Sato,Jun Yoshitomi,Jyunya Murai. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-08-08.

Multi-layer coating film-forming method

Номер патента: US20020056642A1. Автор: Akira Kasari,Syuichi Ikenoue. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2002-05-16.

Film forming apparatus for forming metal film and film forming method for forming metal film

Номер патента: US20230117855A1. Автор: Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2023-04-20.

Coating film-forming method

Номер патента: US20050194253A1. Автор: Hideki Iijima,Koji Kamikado,Akihiko Shimasaki,Minoru Hanatani. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2005-09-08.

Polymerized film forming method

Номер патента: US9422452B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-23.

Polymerized film forming method

Номер патента: US09422452B2. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Yoshinori Morisada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-23.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: US7422768B2. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2008-09-09.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: US20040076760A1. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-04-22.

Aqueous dispersion and film forming method

Номер патента: US20240279497A1. Автор: Shota Suzuki,Shinichiro SEKINE,Naoka HAMADA. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-08-22.

Film forming method for metal film and film forming apparatus for metal film

Номер патента: US20190093247A1. Автор: Hirofumi Iisaka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-03-28.

Ga2O3 BASED CRYSTAL FILM FORMING METHOD, AND CRYSTAL LAMINATED STRUCTURE

Номер патента: US20160312380A1. Автор: Kohei Sasaki. Владелец: Tamura Corp. Дата публикации: 2016-10-27.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: CA3207803A1. Автор: Kenji Sakai,Nobuhiko Narita. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Multi-layer coating film-forming method

Номер патента: GB2376905A. Автор: Akira Kasari,Syuichi Ikenoue. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2002-12-31.

Multi-layer electrodeposition coating film-forming method and coating product formed by the same

Номер патента: EP1342758A3. Автор: Naoko c/o Kansai Paint Co. Ltd. Kasahara,Takeo c/o Kansai Paint Co. Ltd. Ohtani,Tadayoshi c/o Kansai Paint Co. Ltd. Hiraki,Akira c/o Kansai Paint Co. Ltd. Tominaga. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2004-07-14.

Thermosetting water-based paint and coating film-forming methods

Номер патента: CA2531324C. Автор: Yoshiyuki Yukawa,Noritoshi Nakane. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-18.

Film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20200340134A1. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2020-10-29.

Film forming apparatus for metal film

Номер патента: US20240344224A1. Автор: Kazuaki Okamoto. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-10-17.

Film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20240229279A9. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

In-situ flash evaporation film forming apparatus for perovskitesolar cell

Номер патента: US20230371356A1. Автор: Xiaojun Qin,Yun Zhang,Weidong Li,Yuan XIA,Zhiguo ZHAO,Jiguang XIONG,Dongming Zhao,Xinlian LI. Владелец: HUANENG CLEAN ENERGY RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2023-11-16.

Film forming apparatus

Номер патента: US20240316592A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US7919341B2. Автор: Takeshi Fukunaga,Shunpei Yamazaki,Masaaki Hiroki,Kunitaka Yamamoto. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-05.

Thin film forming apparatus

Номер патента: US20060283384A1. Автор: Takeshi Fukunaga,Shunpei Yamazaki,Kunitaka Yamamoto,Massaaki Hiroki. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2006-12-21.

Film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US11459667B2. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2022-10-04.

Film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20240175163A1. Автор: Kazuaki Okamoto. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-05-30.

Organic film forming apparatus

Номер патента: US11906246B2. Автор: Takashi Takahashi,Akinori Iso,Yukinobu Nishibe,Keigo Oomori. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2024-02-20.

Film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20240133069A1. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

Thin film forming apparatus and transparent conductive film

Номер патента: US20200290082A1. Автор: Yasutaka Nishi,Makoto NAKAZUMI. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2020-09-17.

Phosphate and phosphate-free gel detergent for automatic dish washing, providing improved stain- and film-forming properties

Номер патента: RU2564033C2. Автор: Доуглас К. ФЕЕНСТРА,Роналд С. ДЖАКСОН. Владелец: Аксесс Бусинесс Гроуп Интернатионал Ллс. Дата публикации: 2015-09-27.

Improvements relating to the production of filament and film-forming polyethylene terephthalates

Номер патента: GB773778A. Автор: Harry Robert Billica. Владелец: EI Du Pont de Nemours and Co. Дата публикации: 1957-05-01.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: US6576288B2. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Casio Micronics Co Ltd. Дата публикации: 2003-06-10.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: US20010004916A1. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-06-28.

Resin film forming method and resin film forming apparatus employing said method

Номер патента: TW478120B. Автор: Katsuya Ogita. Владелец: Casio Micronics Co Ltd. Дата публикации: 2002-03-01.

Coating apparatus, thin film forming method, thin film forming apparatus, and semiconductor device manufacturing method, electro-optic device and electronic instrument

Номер патента: TWI239271B. Автор: Ichio Yudasaka. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2005-09-11.

Cobalt base film-forming method, cobalt base film-forming material, and novel compound

Номер патента: US09428835B2. Автор: Yumiko Kawano,Masato Ishikawa,Hideaki Machida,Kazutoshi Iwai,Hiroshi Sudoh. Владелец: GAS-PHASE GROWTH Ltd. Дата публикации: 2016-08-30.

Coating film forming apparatus and coating film forming method

Номер патента: TWI250566B. Автор: Tsuyoshi Mizuno,Kimihide Saito,Yuuichi Mikata. Владелец: Sanyo Electric Co. Дата публикации: 2006-03-01.

Film forming method, discharging droplet method and droplet discharging device

Номер патента: TW200829339A. Автор: Gen Fujii. Владелец: Semiconductor Energy Lab. Дата публикации: 2008-07-16.

Coating film drying method, coating film forming method, and coating film forming apparatus

Номер патента: JP3658355B2. Автор: 秀峰 元村. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2005-06-08.

Coating film drying method, coating film forming method, and coating film forming apparatus

Номер патента: US6960372B2. Автор: Shuho Motomura. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2005-11-01.

Film forming device, film forming method, and method for manufacturing electronic appliance

Номер патента: US20060192814A1. Автор: Kenji Sakamoto,Katsuyuki Morii. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2006-08-31.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of electronic device

Номер патента: KR101952521B1. Автор: 히로시 이시이. Владелец: 캐논 톡키 가부시키가이샤. Дата публикации: 2019-02-26.

Immersion exposure coat film forming apparatus and immersion exposure coat film forming method and storage medium

Номер патента: KR101184090B1. Автор: 준이치 기타노,다로 야마모토,히데하루 교우다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-09-18.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: US20120322273A1. Автор: Tomoya Oori. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-12-20.

COATING FILM FORMING METHOD AND COATING FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220055063A1. Автор: Inaba Shougo. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-24.

Coating Film Forming Apparatus, Coating Film Forming Method, and Storage Medium

Номер патента: US20150251211A1. Автор: TACHIBANA Kouzou. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-10.

Insulating film forming method and insulating film forming apparatus

Номер патента: KR100656003B1. Автор: 코미야타카유키,나가시마신지,코지마시케요시. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2006-12-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR20010098805A. Автор: 키타노타카히로,마츠야마유지,미나미토모히데. Владелец: 히가시 데쓰로. Дата публикации: 2001-11-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR100618261B1. Автор: 이나다히로이치,나가미네슈이치. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2006-09-04.

Film forming apparatus and film forming method for dlc film

Номер патента: WO2021090793A1. Автор: 坂本　仁志,英児 佐藤. Владелец: 株式会社クリエイティブコーティングス. Дата публикации: 2021-05-14.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20180286719A1. Автор: TAKAHASHI Hideshi,Hayano Takanori,IYECHIKA Yasushi. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-04.

Nitrogen concentration measuring method, silicon-oxynitride-film forming method, and semiconductor-device manufacturing method

Номер патента: TW200807492A. Автор: Tetsuro Takahashi,Jiro Katsuki,Shuuichi Ishizuka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-02-01.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130237053A1. Автор: GOMI Atsushi,Sakuma Takashi,ISHIZAKA Tadahiro,KATO Takara,YOKOYAMA Osamu,YASUMURO Chiaki,TOSHIMA Hiroyuki,HATANO Tatsuo,MIZUSAWA Yasushi,Kawamata Masaya,FUKUSHIMA Toshihiko. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-09-12.

Method and apparatus for forming an optical multilayer filter

Номер патента: EP1170396A3. Автор: Emiko Japan Aviation Elec. Ind. Ltd. Nishida,Noboru Japan Aviation Elec. Ind. Ltd. Uehara. Владелец: Japan Aviation Electronics Industry Ltd. Дата публикации: 2003-01-02.

Film forming method, non-transitory computer storage medium and film forming apparatus

Номер патента: US09329483B2. Автор: Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-03.

Article manufacturing method, film forming method, mold manufacturing method, exposure apparatus, information processing method, and non-transitory computer-readable medium storing a program

Номер патента: US20210035808A1. Автор: Hiroshi Kurosawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2021-02-04.

Multilayered film forming method, apparatus for controlling vacuum film forming apparatus, and vacuum film forming apparatus

Номер патента: TW593729B. Автор: Kenji Yamakawa,Takahiko Kondo,Nao Watabe. Владелец: Shin Meiwa Ind Co Ltd. Дата публикации: 2004-06-21.

Coating Film Forming Method, Coating Film Forming Apparatus, and Storage Medium

Номер патента: US20180350594A1. Автор: Takafumi Niwa,Kousuke Yoshihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-12-06.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: EP4047108A4. Автор: Hiroshi Murotani,Tomokazu Hasegawa,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-14.

Film forming method, computer storage medium, and film forming system

Номер патента: US09741559B2. Автор: Kousuke Yoshihara,Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-08-22.

Spray coating film, engine having the spray coating film and film-forming method of the spray coating film

Номер патента: US09840982B2. Автор: Kazuaki Nishio,Kenji Shimoda,Hiromichi Nakata,Toshiaki Hamaguri. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2017-12-12.

Vacuum film forming apparatus and vacuum film forming method

Номер патента: TWI431133B. Автор: Yasuhiro Koizumi,Junpei Maruyama. Владелец: Shinmaywa Ind Ltd. Дата публикации: 2014-03-21.

Film forming method for forming metal film and film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US11718923B2. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2023-08-08.

Film forming method for forming metal film and film forming apparatus for forming metal film

Номер патента: US20220380923A1. Автор: Yuki Sato. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2022-12-01.

Film-forming method and film-forming apparatus

Номер патента: EP4047108A1. Автор: Hiroshi Murotani,Tomokazu Hasegawa,Mitsuhiro Miyauchi,Takayuki Matsudaira,Yoshiyuki OHTAKI. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-24.

Atomizer for forming film, film-forming device, and film-forming method

Номер патента: EP4194103A4. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-28.

Film forming method, non-transitory computer storage medium and film forming apparatus

Номер патента: US20140170332A1. Автор: Satoru Shimura,Fumiko Iwao. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-06-19.

Film forming method, film forming apparatus, pattern forming method, and manufacturing method of semiconductor apparatus

Номер патента: US6800569B2. Автор: Katsuya Okumura,Shinichi Ito,Rempei Nakata,Tatsuhiko Ema,Kei Hayasaki,Nobuhide Yamada. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-10-05.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US11851768B2. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-26.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US20230100603A1. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US20200024745A1. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Film-forming powder, film forming method, and film-forming powder preparing method

Номер патента: US11549185B2. Автор: Shigeyuki Nakamura,Yuji Kimura,Yasushi Takai. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-01-10.

Film forming method and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: TW201003786A. Автор: Shintaro Aoyama,Kouji Shimomura,Genji Nakamura,Tetsuji Ueno. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

METHOD OF CLEANING THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, THIN FILM FORMING APPARATUS AND NON-TRANSITORY RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20140187053A1. Автор: Takao Rintaro,GOTO Ryota. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-03.

Organic electroluminescent light making apparatus and organic electroluminescent light manufacturing method and film forming apparatus and film forming method

Номер патента: TWI428968B. Автор: Fumio Kataoka,Kenji Yumiba,Kenji Katagiri,Ryo Izaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2014-03-01.

Film-forming atomizer, film-forming apparatus, and film-forming method

Номер патента: US20230302482A1. Автор: Hiroshi Hashigami. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND CONTROL UNIT FOR THE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150053547A1. Автор: YAMAMOTO Shunsuke. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-26.

Oxide film forming method

Номер патента: US20040087180A1. Автор: Koji Akiyama,Shingo Hishiya,Kimiya Aoki,Yoshikazu Furusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-05-06.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING SYSTEM, AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220081757A1. Автор: Watanabe Naoki,Abarra Einstein Noel,TOSHIMA Hiroyuki,ISHIBASHI Shota,SHINADA Masato,Miyashita Tetsuya. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-17.

Film forming apparatus, raw material introducing method, and film forming method

Номер патента: JP4370529B2. Автор: 裕之 大出. Владелец: Elpida Memory Inc. Дата публикации: 2009-11-25.

Multilayer film forming apparatus, optical characteristic measuring method and film forming method

Номер патента: JP3405562B2. Автор: 継博 是永,英雄 黒川,真司 内田,亮人 沢田. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2003-05-12.

Film forming apparatus, film forming method and manufacturing method of an article

Номер патента: KR20220143722A. Автор: 도시키 이토,히로시 구로사와. Владелец: 캐논 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2022-10-25.

Film forming apparatus, film forming method, and method of manufacturing article

Номер патента: EP3637456B1. Автор: Hiroshi Kurosawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-03-20.

FORMING METHOD OF INTERMEDIATE LAYER FORMED BETWEEN BASE MATERIAL AND DLC FILM, DLC FILM FORMING METHOD, AND INTERMEDIATE LAYER FORMED BETWEEN BASE MATERIAL AND DLC FILM

Номер патента: US20160265099A1. Автор: Matsuoka Hiroyuki,Watanabe Motohiro,Sakakibara Wataru,Nogami Soichiro. Владелец: DOWA THERMOTECH CO., LTD.. Дата публикации: 2016-09-15.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130344703A1. Автор: Itoh Hitoshi,SHIMIZU Masahiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-12-26.

LAMINATE, FILM FORMING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220059424A1. Автор: Hashigami Hiroshi,Watabe Takenori. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2022-02-24.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140213067A1. Автор: SASAKI Koji,Suzuki Keisuke,MOROZUMI Yuichiro,MURAKAMI Hiroki. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-07-31.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20180154382A1. Автор: Hirano Satoshi,KAWASAKI KOICHI. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-07.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20210202248A1. Автор: Suzuki Daisuke,Hayashi Hiroyuki,TAKEZAWA Yoshihiro,MOTOYAMA Yutaka. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-01.

SILICON OXIDE FILM FORMING METHOD AND SILICON OXIDE FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140295675A1. Автор: IKEUCHI Toshiyuki,OBU Tomoyuki,KIMURA Norifumi. Владелец: Tokyo Electronic Limited. Дата публикации: 2014-10-02.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140295677A1. Автор: Shimizu Akira,NAKAJIMA Shigeru,Tsunatori Tsuyoshi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-10-02.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4331791B2. Автор: 和義 本田,泰治 篠川,遊馬 神山,邦彦 別所,智文 柳,俊忠 佐藤. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2009-09-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN101821422A. Автор: 本田和义,佐藤俊忠,神山游马,柳智文,篠川泰治,别所邦彦. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-01.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPH07122132B2. Автор: 英雄 黒川,力 三谷,裕一 中上. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 1995-12-25.

Film-forming apparatus, film-forming method and semiconductor device

Номер патента: KR101242989B1. Автор: 나오아키 사쿠라이,츠요시 사토,히로야스 곤도,가츠유키 소에다,겐이치 오오시로,슈이치 기무라. Владелец: 가부시끼가이샤 도시바. Дата публикации: 2013-03-12.

Film forming apparatus, film forming method, and semiconductor device

Номер патента: JPWO2010053125A1. Автор: 直明 桜井,強 佐藤,修一 木村,健一 大城,佐藤　強,弘康 近藤,桜井　直明,勝之 添田,木村　修一. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-04-05.

Sputtering film forming apparatus, sputtering film forming method therefor, and compound thin film

Номер патента: TW202031918A. Автор: 長江亦周,稻瀨陽介,菅原卓哉. Владелец: 日商新柯隆股份有限公司. Дата публикации: 2020-09-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN107636192B. Автор: 高桥明久,青代信,清健介,矢岛贵浩,加藤裕子,斋藤一也,远山佳宏. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2020-12-18.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: KR970077123A. Автор: 마사토시 시라이시,유키오 기바,구니에 오가타. Владелец: 동경엘렉트론 가부시키가이샤. Дата публикации: 1997-12-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN103140598A. Автор: 姜友松,盐野一郎,宫内充祐. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2013-06-05.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: CN101821422B. Автор: 本田和义,佐藤俊忠,神山游马,柳智文,篠川泰治,别所邦彦. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2012-04-18.

Oxide film forming method and oxide film forming apparatus

Номер патента: JPWO2013038484A1. Автор: 孝浩 平松,容征 織田,白幡　孝洋,孝洋 白幡. Владелец: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp. Дата публикации: 2015-03-23.

Resin composition, resist underlayer film, resist underlayer film-forming method and pattern-forming method

Номер патента: US20130153535A1. Автор: Masayuki Motonari,Satoru Murakami,Yuushi Matsumura,Shin-Ya Nakafuji,Kazuhiko KOUMURA,Katsuhisa MIZOGUCHI. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2013-06-20.

Film formation method and article manufacturing method

Номер патента: EP4270448A1. Автор: Toshiki Ito,Isao Kawata,Yuto ITO. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2023-11-01.

Resin composition, resist underlayer film, resist underlayer film-forming method and pattern-forming method

Номер патента: US20140014620A9. Автор: Masayuki Motonari,Satoru Murakami,Yuushi Matsumura,Shin-Ya Nakafuji,Kazuhiko KOUMURA,Katsuhisa MIZOGUCHI. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2014-01-16.

FILM-FORMING POWDER, FILM FORMING METHOD, AND FILM-FORMING POWDER PREPARING METHOD

Номер патента: US20200024745A1. Автор: Takai Yasushi,KIMURA Yuji,Nakamura Shigeyuki. Владелец: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.. Дата публикации: 2020-01-23.

Optical element, optical thin film forming apparatus, and optical thin film forming method

Номер патента: US20150009556A1. Автор: Teruo Yamashita,Shuichiro KAWAGISHI. Владелец: Hoya Corp. Дата публикации: 2015-01-08.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20220098717A1. Автор: GOMI Atsushi,SATO Keisuke,Imakita Kenichi,ONO Kazunaga,KITADA Toru,YOKOHARA Hiroyuki,SONE Hiroshi. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20210087669A1. Автор: Sakata Atsuko,Nagase Toshihiko,GAWASE Akifumi,Iwasaki Takeshi,KONNO Yuta,KITAO Ryohei,Nagata Kohei. Владелец: Kioxia Corporation. Дата публикации: 2021-03-25.

Thin-film forming apparatus, protective film forming apparatus for use in an organic electronic device and thin-film forming method of using it

Номер патента: KR101737057B1. Автор: 이재승,정태훈,구찬회,서문선. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2017-05-18.

Pore array layer structure, chip device, nanopore sequencing device, and film forming method and use thereof

Номер патента: EP4310487A1. Автор: Lu Song,Zhe Zhang,Shilong REN. Владелец: Chengdu Qitan Technology Ltd. Дата публикации: 2024-01-24.

METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DEVICE, FILM-FORMING METHOD, AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200020892A1. Автор: KISHIMOTO Katsuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-16.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS OF ORGANIC LIGHT-EMITTING DIODE

Номер патента: US20140030834A1. Автор: Zhao Xiaohu. Владелец: Shenzhen China Star Optelectronics Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-01-30.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140094027A1. Автор: WAMURA Yu,HARADA Katsushige,MOROZUMI Yuichiro,AZUMO Shuji,Watanabe Heiji,Shimura Takayoshi,Hosoi Takuji,Takahashi Kosuke,KASHIWAGI Yusaku. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-03.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and recording medium

Номер патента: US20150004311A1. Автор: Yuichi Terashita,Kousuke Yoshihara,Katsunori Ichino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-01-01.

COATING FILM FORMING METHOD AND COATING FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20200234979A1. Автор: INABA Shogo. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-23.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and storage medium

Номер патента: KR102289735B1. Автор: 고우조우 다치바나. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2021-08-12.

Pattern film forming method and pattern film forming apparatus

Номер патента: US8039373B2. Автор: Junji Nakada,Norio Shibata,Takashi Kataoka,Jun Fujinawa. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2011-10-18.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and storage medium

Номер патента: JPWO2017195549A1. Автор: 直樹 柴田,柴田　直樹,真一 畠山. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-03-07.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and storage medium

Номер патента: US9070731B2. Автор: Kouzou Tachibana. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-06-30.

Pattern film forming method and pattern film forming apparatus

Номер патента: US7462927B2. Автор: Junji Nakada,Norio Shibata,Takashi Kataoka,Jun Fujinawa. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2008-12-09.

Ge-Sb-Te FILM FORMING METHOD, Ge-Te FILM FORMING METHOD, AND Sb-Te FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20140162401A1. Автор: Kawano Yumiko,Arima Susumu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-12.

Deposited film forming method, deposited film forming apparatus and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: KR19980080069A. Автор: 아끼라 사까이,마사히로 가나이,히로까즈 오또시,다까히로 야지마,야스시 후지오까,쇼따로 오까베,다다시 사와야마,유조 고다. Владелец: 미따라이 후지오. Дата публикации: 1998-11-25.

Organic EL element and manufacturing method thereof, and metal oxide film forming method

Номер патента: US09660213B2. Автор: Takahiro Komatsu,Satoru OHUCHI,Hirofumi Fujita,Shinya FUJIMURA,Thanh Kinh Luan Dao. Владелец: Joled Inc. Дата публикации: 2017-05-23.

Electrode for discharge surface treatment, discharge surface treatment method, film, and film forming method

Номер патента: US20090246463A1. Автор: Akihiro Goto,Masao Akiyoshi. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2009-10-01.

Method and apparatus of manufacturing negative electrode for non-aqueous electrolyte secondary battery, and non-aqueous electrolyte secondary battery using the negative electrode

Номер патента: US20080118842A1. Автор: Hideharu Takezawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-05-22.

Electronic component and film forming method

Номер патента: US20240221981A1. Автор: Yuuta Hoshino,Tomoya OOSHIMA. Владелец: Murata Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: KR20220115873A. Автор: 나오히로 도다. Владелец: 가부시키가이샤 리코. Дата публикации: 2022-08-19.

Resist film forming apparatus, resist film forming method, and mold original plate production method

Номер патента: US20130143166A1. Автор: Tomohide Jozaki. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2013-06-06.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: SG193164A1. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2013-09-30.

Multi-layer coating film forming method

Номер патента: US20230278071A1. Автор: Kenji Sakai. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-07.

Multi-layered blown film forming apparatus and multi-layered blown film forming method

Номер патента: CA2536367C. Автор: Yoshiyuki Kitauji,Takahiro Nishida,Akitaka Andou,Hideo Kometani,Hidetoshi Kitajima,Shinichiro Goma,Masayuki Nyuko,Shigeru Yoshihara,Takashi Futagawa,Noritaka Hasegawa. Владелец: Shikoku Kakoh Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-26.

Film forming apparatus, film forming method, manufacturing method of article, and storage medium

Номер патента: US20240069435A1. Автор: Shintaro Narioka. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Multi-layer coating film forming method

Номер патента: EP4230308A1. Автор: Kenji Sakai. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-23.

Powder film forming method and powder film forming device

Номер патента: US20200009607A1. Автор: Hideyuki Fukui,Takeshi Sugiyo,Sousuke NISHIURA. Владелец: Hitachi Zosen Corp. Дата публикации: 2020-01-09.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US20220258466A1. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-08-18.

Film forming method and film forming device

Номер патента: US11945222B2. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-02.

Film forming method and film forming device

Номер патента: EP4044775A2. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2022-08-17.

Film forming method and film forming device

Номер патента: EP4044775A3. Автор: Tetsuto Ueda. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2022-10-26.

Multilayer coating film-forming method

Номер патента: MY149319A. Автор: Yukawa Yoshiyuki. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-30.

FILM FORMING METHOD, STORAGE MEDIUM, AND FILM FORMING SYSTEM

Номер патента: US20180361428A1. Автор: Yoshida Yuichi,Yoshihara Kousuke,Shibata Naoki,Yoshihara Kentaro. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-20.

Coating film forming apparatus, electrophotographic fixing member formed by coating film apparatus, and image forming apparatus having electrophotographic fixing member

Номер патента: US20080156259A1. Автор: Takayuki Yoshii,Satoshi Tohkai,Michitaka Higaki. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2008-07-03.

Film forming apparatus

Номер патента: GB2617583A. Автор: SMITH Jonathan. Владелец: Printaply Ltd. Дата публикации: 2023-10-18.

Simulation method, simulation apparatus, computer readable medium, film forming apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US20220027533A1. Автор: Ken Katsuta,Yuichiro Oguchi,Sentaro Aihara,Shintaro Narioka. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-01-27.

Coating film forming apparatus

Номер патента: US20070215045A1. Автор: Takayuki Yoshii,Kentaroh Yajima,Yasuomi Mikami,Michitaka Higaki. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2007-09-20.

Film forming apparatus and article manufacturing method

Номер патента: US20240173740A1. Автор: Hirotoshi Torii. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-05-30.

Film forming apparatus

Номер патента: US11745406B2. Автор: Katsuyuki Nakano. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Modern Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Amorphous silicon crystallizing method, crystallized silicon film forming method, semiconductor device manufacturing method and film forming apparatus

Номер патента: US09540743B2. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuya Takahashi,Yoshikazu Furusawa,Hiromasa Yonekura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Thin film forming method and color filter manufacturing method

Номер патента: US8187665B2. Автор: Satoru Katagami,Hirotaka ISHIZUKA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2012-05-29.

Resin film forming method, resin film forming apparatus, and electronic circuit board manufacturing method

Номер патента: US20080241360A1. Автор: Junichi Yoshida,Seiichi Inoue,Jun Yamanobe,Manabu Katsumura. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2008-10-02.

Microchip and film forming method for metal thin film of microchip

Номер патента: US09696253B2. Автор: Toshikazu Kawaguchi,Kinichi Morita. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 2017-07-04.

Film forming method for forming metal film

Номер патента: US20240229278A9. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Optical element, optical apparatus, film forming method, film forming apparatus and device fabrication method

Номер патента: US7295367B2. Автор: Keisui Banno,Yoichi Yasaki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2007-11-13.

Optical element, optical apparatus, film forming method, film forming apparatus and device fabrication method

Номер патента: US20050270636A1. Автор: Keisui Banno,Yoichi Yasaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-12-08.

Thin film forming method and color filter manufacturing method

Номер патента: TW200950890A. Автор: Satoru Katagami,Hirotaka ISHIZUKA. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2009-12-16.

Film-forming composition and film-forming method using same

Номер патента: EP3048146B1. Автор: Masakazu Kobayashi,Shunji Kawato,Yuki Ozaki,Noboru SATAKE. Владелец: Merck Patent GmBH. Дата публикации: 2024-03-27.

Photoluminescent coating material composition and multilayer coating film forming method

Номер патента: EP4434639A1. Автор: Akinori Nagai,Keiji Sugamoto. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-25.

Film-forming method, film-forming apparatus, apparatus and a method for manufacturing color filter substrate, apparatus and method for manufacturing substrate for electroluminescent device, method for manufacturing display device, display device, and electronic apparatus

Номер патента: US20040228964A1. Автор: Tatsuya Ito,Takeshi Oyama. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-11-18.

Metal film and metal film-coated member, metal oxide film and metal oxide film-coated member, thin film forming apparatus and thin film forming method for producing metal film and metal oxide film

Номер патента: USRE41747E1. Автор: Kazuya Shimizu,Takahiro Okura,Masakazu Takei. Владелец: Kyocera Optec Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-21.

Masking material, and film forming apparatus and film forming method for forming metal film using same

Номер патента: US20240141533A1. Автор: Koji Inagaki,Keiji Kuroda,Haruki KONDOH,Soma Higashikozono. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-05-02.

Circuit board, conductive film forming method and adhesiveness improver

Номер патента: US20150021071A1. Автор: Yusuke Maeda,Tomio Kudo,Yuichi Kawato,Tomohiro Mita. Владелец: Ishihara Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-22.

Amorphous Silicon Crystallizing Method, Crystallized Silicon Film Forming Method, Semiconductor Device Manufacturing Method and Film Forming Apparatus

Номер патента: US20150159295A1. Автор: Okada Mitsuhiro,TAKAHASHI Kazuya,FURUSAWA Yoshikazu,YONEKURA Hiromasa. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-11.

Tapping screw film forming agent, film forming agent preparing method, film forming method using film forming agent to form film covering outer periphery of tapping screw, and tapping screw with film formed by film forming agent

Номер патента: JP2008095793A. Автор: Shigeto Mori,Mayumi Matsuno,茂人 森,洋輔 岡村,真弓 松野,Yosuke Okamura. Владелец: Topura Co Ltd. Дата публикации: 2008-04-24.

Amorphous silicon crystallizing method, crystallized silicon film forming method, semiconductor device manufacturing method and film forming apparatus

Номер патента: KR101791727B1. Автор: 가즈야 다카하시,미츠히로 오카다,요시카즈 후루사와,히로마사 요네쿠라. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-10-30.

An anodic oxide film forming method and an aluminum alloy member using the same

Номер патента: TWI402379B. Автор: Koji Wada,Jun Hisamoto. Владелец: Kobe Steel Ltd. Дата публикации: 2013-07-21.

Color display substrate, color filter substrate, color luminescent substrate, manufacturing method of color display substrate, electro-optical apparatus, electronic device, film-forming method, film-forming apparatus, and display motherboard

Номер патента: US20020167268A1. Автор: Hiroshi Kiguchi,Satoru Katagami,Yoshiaki Yamada,Hisashi Aruga. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2002-11-14.

Film forming method for metal film and film forming apparatus for metal film

Номер патента: EP3461934B1. Автор: Hirofumi Iisaka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2020-01-01.

Film forming method, film forming apparatus, method of manufacturing device, and apparatus for manufacturing device

Номер патента: TW200406310A. Автор: Minoru Koyama. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2004-05-01.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS FOR METAL FILM

Номер патента: US20190093247A1. Автор: Iisaka Hirofumi. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-03-28.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US6949618B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2005-09-27.

Coating material composition, kit, coating film, and coating film forming method

Номер патента: US20240010873A1. Автор: Kenji Horiguchi,Shuto NOGUCHI. Владелец: Tosoh Corp. Дата публикации: 2024-01-11.

Polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US7087311B2. Автор: Takashi Kato. Владелец: Chisso Corp. Дата публикации: 2006-08-08.

Novel polymer compound, precursor for the same and thin film-forming method using the same polymer precursor

Номер патента: US20060019109A1. Автор: Takashi Kato. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-01-26.

THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER ELEMENT, LIQUID EJECTING HEAD, AND INKJET RECORDING APPARATUS

Номер патента: US20130194350A1. Автор: Shimofuku Akira,Machida Osamu,Watanabe Yasuhiro,TAKEUCHI Atsushi,Tashiro Ryo. Владелец: RICOH COMPANY, LTD.. Дата публикации: 2013-08-01.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS THEREFOR

Номер патента: US20190249321A1. Автор: HIRAOKA Motoki,Iisaka Hirofumi,SATO Yuki. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2019-08-15.

FILM FORMING METHOD FOR METAL FILM AND FILM FORMING APPARATUS THEREFOR

Номер патента: US20170335479A1. Автор: HIRAOKA Motoki,Iisaka Hirofumi,SATO Yuki. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2017-11-23.

Metal film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP6447575B2. Автор: 基記 平岡,浩文 飯坂,祐規 佐藤,平岡　基記,飯坂　浩文. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2019-01-09.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPWO2013105534A1. Автор: 達也 廣瀬,一良 工藤,廣瀬　達也,蔵方　慎一,慎一 蔵方,工藤　一良,正昭 栗山. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2015-05-11.

Titanium Oxide Coating Agent and Titanium Oxide Film Forming Method

Номер патента: US20080280103A1. Автор: Akira Fujishima,Tetsuya Shichi,Katsuhiko Takagi,Hiroshi UETSUKA,Koji Oshika. Владелец: Central Japan Railway Co. Дата публикации: 2008-11-13.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: WO2015072481A1. Автор: 博 柳本,祐規 佐藤,平岡　基記. Владелец: トヨタ自動車株式会社. Дата публикации: 2015-05-21.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: KR101799710B1. Автор: 유키 사토,히로시 야나기모토,모토키 히라오카. Владелец: 도요타 지도샤（주）. Дата публикации: 2017-11-20.

Film forming apparatus for metal coating film and film forming method therefor

Номер патента: EP3070191A4. Автор: Hiroshi Yanagimoto,Yuki Sato,Motoki Hiraoka. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2016-11-09.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR101794803B1. Автор: 케이지 이소,유지 오카모토,에이지 이치카와. Владелец: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-11-07.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: KR20150072459A. Автор: 케이지 이소,유지 오카모토,에이지 이치카와. Владелец: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-06-29.

Film forming agent for tapping screws, film forming method for forming a film covering the outer periphery of the tapping screw using the film forming agent, and a tapping screw with a film formed with the film forming agent

Номер патента: JP4742007B2. Автор: 茂人 森,洋輔 岡村,真弓 松野. Владелец: Topura Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-10.

Anodizing device, continuous anodizing device, and film forming method

Номер патента: US20140097090A1. Автор: Keigo Sato,Shigenori Yuya,Ryozo Kaito. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2014-04-10.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130152853A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke,ITO Hideki,TSUCHIDA Hidekazu,KAMATA Isaho,ITO Masahiko,NAITO Masami,FUJIBAYASHI Hiroaki,ADACHI Ayumu,NISHIKAWA Koichi. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-20.

METAL-FILM FORMING APPARATUS AND METAL-FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20160186354A1. Автор: HIRAOKA Motoki,SATO Yuki,Yanagimoto Hiroshi. Владелец: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2016-06-30.

Foreign substance removing method, film forming method, article manufacturing method, and foreign substance removing apparatus

Номер патента: US20240316603A1. Автор: Ken Katsuta. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: MY166262A. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-22.

Film-forming method and film-formed article

Номер патента: SG183132A1. Автор: Kenji Harada,Kenichiro Aii. Владелец: SK Kaken Co Ltd. Дата публикации: 2012-09-27.

Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product

Номер патента: US12079551B2. Автор: Junichi Seki,Tosiya Asano,Yuichiro Oguchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

Simulation method, simulation apparatus, storage medium, film forming method, and method of producing cured product

Номер патента: US20240346209A1. Автор: Junichi Seki,Tosiya Asano,Yuichiro Oguchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2024-10-17.

Original plate for forming ink film, pattern forming method, pattern film forming method, and pattern film forming apparatus

Номер патента: US20190202194A1. Автор: Hirofumi Hayata,Kengo Ikeda,Mayuko MATSUSAKI. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2019-07-04.

Film-forming apparatus and film-forming method

Номер патента: US20060115581A1. Автор: Osamu Kasuga. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2006-06-01.

ORIGINAL PLATE FOR FORMING INK FILM, PATTERN FORMING METHOD, PATTERN FILM FORMING METHOD, AND PATTERN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20190202194A1. Автор: MATSUSAKI Mayuko,IKEDA Kengo,HAYATA Hirofumi. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

Thin film forming method, thin film forming apparatus, solar cell panel manufacturing method, and solar cell panel manufacturing apparatus

Номер патента: JP5221234B2. Автор: 正樹 荒木,良 井崎. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-06-26.

Resist film forming method and resist coating apparatus

Номер патента: US6410194B1. Автор: Kosuke Yoshihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-06-25.

Thin-film forming apparatus, thin-film forming method, piezoelectric-element forming method, droplet discharging head, and ink-jet recording apparatus

Номер патента: US8833921B2. Автор: Osamu Machida,Yoshikazu Akiyama,Masahiro Yagi,Takakazu KIHIRA,Ryoh Tashiro. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-16.

RESIST FILM FORMING APPARATUS, RESIST FILM FORMING METHOD, AND MOLD ORIGINAL PLATE PRODUCTION METHOD

Номер патента: US20130143166A1. Автор: Jozaki Tomohide. Владелец: SONY CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-06.

DEPOSITION FILM FORMING APPARATUS, DEPOSITION FILM FORMING METHOD AND ELECTROPHOTOGRAPHIC PHOTOSENSITIVE MEMBER MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20130302734A1. Автор: HOSOI Kazuto,AKIYAMA Kazuyoshi,ABE Yukihiro,YAMADA Motoya. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-14.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

Номер патента: US20200117096A1. Автор: KUROSAWA Hiroshi. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

Film forming method

Номер патента: CA2854434C. Автор: Jun Masubuchi. Владелец: Nippon Steel and Sumitomo Metal Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20140170320A1. Автор: Yamamoto Kazuya,ITO Yuichi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20220266294A1. Автор: TODA Naohiro. Владелец: . Дата публикации: 2022-08-25.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20150251196A1. Автор: Hirano Satoshi. Владелец: NHK SPRING CO., LTD.. Дата публикации: 2015-09-10.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20180264516A1. Автор: YAMAGUCHI Tatsuya,Hashimoto Hiroyuki,NIINO Reiji,FUJIKAWA Makoto,NOZAWA Syuji. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-20.

Deposited film forming method and deposited film forming apparatus

Номер патента: JP3483548B2. Автор: 正博 金井,正太郎 岡部,明 酒井,靖 藤岡,裕 越前,直 芳里,秀一郎 杉山. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2004-01-06.

Planar liquid film forming method and planar liquid film forming apparatus

Номер патента: US20230095269A1. Автор: Kazumasa Ikushima. Владелец: Musashi Engineering Inc. Дата публикации: 2023-03-30.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5354289B2. Автор: 聡 清家,栄 仁木,恵介 汐崎,弘典 小牧. Владелец: Meidensha Corp. Дата публикации: 2013-11-27.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: TW201829075A. Автор: 松元俊二. Владелец: 日商住友精密工業股份有限公司. Дата публикации: 2018-08-16.

Surface liquid film forming method and surface liquid film forming apparatus

Номер патента: KR20220148232A. Автор: 가즈마사 이쿠시마. Владелец: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-11-04.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5078813B2. Автор: 一郎 塩野,友松 姜,寿彦 佐藤,旭陽 佐井. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2012-11-21.

POWDER FILM FORMING METHOD AND POWDER FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: JP7186910B2. Автор: 剛 杉生,崇介 西浦,英之 福井. Владелец: Hitachi Zosen Corp. Дата публикации: 2022-12-09.

Planar liquid film forming method and planar liquid film forming apparatus

Номер патента: EP4119239A4. Автор: Kazumasa Ikushima. Владелец: Musashi Engineering Inc. Дата публикации: 2024-05-08.

Liquid-Repellent Film Forming Method, Inkjet Head and Inkjet Recording Appparatus

Номер патента: US20110074880A1. Автор: Hiroki Uchiyama. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2011-03-31.

COMPOSITION FOR FORMING RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM AND RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD, AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20140272722A1. Автор: Komura Kazuhiko,Murakami Satoru,TAKIMOTO Yoshio,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2014-09-18.

COMPOSITION FOR FORMING RESIST UNDERLAYER FILM, RESIST UNDERLAYER FILM AND RESIST UNDERLAYER FILM-FORMING METHOD, AND PATTERN-FORMING METHOD

Номер патента: US20150198882A9. Автор: Komura Kazuhiko,Murakami Satoru,TAKIMOTO Yoshio,NAKAFUJI Shin-ya,Motonari Masayuki,MIZOGUCHI Katsuhisa. Владелец: JSR Corporation. Дата публикации: 2015-07-16.

Carbon film forming apparatus, carbon film forming method, method for producing negative electrode material for lithium ion battery, and method for producing lithium ion battery

Номер патента: JP6280515B2. Автор: 秀哉 吉武,憲二 福田,敦雄 川田,福田　憲二,秀和 上原,上原　秀和. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-14.

METHOD OF PROTECTING COMPONENT OF FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD

Номер патента: US20130251896A1. Автор: TAKAHASHI Nobuhiro,SASAKI Koji,Suzuki Keisuke,TONEGAWA Yamato,SATO Hidenobu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-09-26.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and toning paint preparation method

Номер патента: JP4906513B2. Автор: 徹 竹内. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2012-03-28.

Coating film forming method, coating film forming apparatus, and toning paint preparation method

Номер патента: JPWO2006054726A1. Автор: 徹 竹内,竹内　徹. Владелец: Kansai Paint Co Ltd. Дата публикации: 2008-06-05.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130220539A1. Автор: Takenouchi Takashi,Serizawa Hideki. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2013-08-29.

Film forming method by sputtering and film forming device by sputtering

Номер патента: JPH1060640A. Автор: 圭志 多田,Yoshiyuki Tada. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1998-03-03.

Film forming device, film modification device, film forming method and film modification method

Номер патента: TW345687B. Автор: Masahito Sugiura,Hiroshi Kamiriki. Владелец: Tokyo Electron Co Ltd. Дата публикации: 1998-11-21.

Film forming method, multilayer film reflector manufacturing method, and film forming device

Номер патента: AU2002233737A1. Автор: Noriaki Kandaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-10-08.

Thin film forming method and thin film forming device

Номер патента: AU2002315775A1. Автор: Yasushi Ohbayashi. Владелец: Hamamatsu Photonics KK. Дата публикации: 2003-01-21.

Film forming apparatus, film forming method, program for causing film forming apparatus to execute film forming method, and computer-readable storage medium storing the same

Номер патента: JP5276386B2. Автор: 寿 加藤,学 本間,一輝 小原. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-08-28.

METHOD OF CLEANING A THIN FILM FORMING APPARATUS, THIN FILM FORMING METHOD, AND THIN FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120015525A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-19.

METHOD OF CLEANING FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120251723A1. Автор: Kishimoto Katsushi,Isshiki Kazuhiko. Владелец: . Дата публикации: 2012-10-04.

Thin film forming apparatus cleaning method, thin film forming method, and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5554469B2. Автор: 充弘 岡田,大和 戸根川,聡 高木,亮 孫,正彦 冨田. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-07-23.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM ON TUNGSTEN FILM OR TUNGSTEN OXIDE FILM

Номер патента: US20120164327A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-06-28.

Filament and film forming method and apparatus

Номер патента: CA416123A. Автор: Worthington Hood. Владелец: Canadian Industries Ltd. Дата публикации: 1943-11-02.

Film forming apparatus, film forming method, magnetic recording medium manufacturing method, and magnetic recording apparatus manufacturing method

Номер патента: JP4983595B2. Автор: 司 井谷. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2012-07-25.

THIN-FILM FORMING APPARATUS, THIN-FILM FORMING METHOD, PIEZOELECTRIC-ELEMENT FORMING METHOD, DROPLET DISCHARGING HEAD, AND INK-JET RECORDING APPARATUS

Номер патента: US20120026249A1. Автор: Machida Osamu,Tashiro Ryoh,Yagi Masahiro,Akiyama Yoshikazu,Kihira Takakazu. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-02.

Metal compound film, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5043464B2. Автор: 祐史 長谷川,佳史 大村,真人 奥村,真 瀧. Владелец: Onward Giken Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-10.

Coating film, film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4759258B2. Автор: 隆行 高萩,弘之 坂上,正三 新宮原,昌彦 内山,秀俊 本宮,由久 渡部. Владелец: Rorze Corp. Дата публикации: 2011-08-31.

Polishing apparatus, coating film forming apparatus, coating film forming method, and storage medium

Номер патента: JP6468147B2. Автор: 真二 小林,剛 山内,小林　真二. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-13.

Film forming apparatus, substrate processing apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP5195676B2. Автор: 学 本間,康一 織戸. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-08.

Inflation film forming apparatus, film forming method, and thermoplastic liquid crystal polymer film

Номер патента: JP4060983B2. Автор: 敏昭 佐藤,淳夫 吉川,善喜 田中. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2008-03-12.

CARBON FILM FORMING METHOD, MAGNETIC-RECORDING-MEDIUM MANUFACTURING METHOD, AND CARBON FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120128895A1. Автор: . Владелец: SHOWA DENKO HD SINGAPORE PTE. LTD.. Дата публикации: 2012-05-24.

FILM FORMING METHOD, RESPUTTERING METHOD, AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120247949A1. Автор: Hayashi Shiro,Sakuma Takashi,ISHIZAKA Tadahiro,TOSHIMA Hiroyuki,HATANO Tatsuo,FUJISATO Toshiaki,YOKOHARA Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-10-04.

ORGANIC EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, ITS MANUFACTURING METHOD, FILM-FORMING APPARATUS, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: JP4951712B2. Автор: 賢治 弓場,信広 韮沢,幹夫 浅田,雅 若林,行雄 落合. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-06-13.

Thin film forming apparatus cleaning method and thin film forming method

Номер патента: JP5197554B2. Автор: 一秀 長谷部,充弘 岡田,淳 小川,貴司 千葉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-15.

Superconducting thin film forming method, heater unit used in the method, and superconducting thin film forming apparatus

Номер патента: JP2937187B1. Автор: 伸義 榊原,昌廣 川村,博紀 星崎. Владелец: 株式会社移動体通信先端技術研究所. Дата публикации: 1999-08-23.

Film forming apparatus, film forming method, and cleaning method

Номер патента: JP7191558B2. Автор: 伸幸 加藤,和広 本田,正信 畠中,貴一 山田,建昌 李,和広 園田. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2022-12-19.

Thin film forming apparatus, thin film forming method, and display panel manufacturing method

Номер патента: JP4304954B2. Автор: 信一郎 金子,竜一 八浪,英樹 丸山,哲 宮西. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2009-07-29.

Deposited film forming apparatus, deposited film forming method, and electrophotographic photoreceptor manufacturing method

Номер патента: JP4827608B2. Автор: 寿康 白砂,誠 青木,康夫 小島. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-11-30.

Method for improving film uniformity in film forming apparatus and film forming method

Номер патента: JP4068783B2. Автор: 雄一 山本,博継 鎌本,昌 新城,秀一 米村. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-03-26.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20120064349A1. Автор: Sato Tsuyoshi,Ooshiro Kenichi. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-03-15.

CONDUCTIVE FILM FORMING METHOD, CONDUCTIVE FILM FORMING APPARATUS AND CONDUCTIVE FILM

Номер патента: US20120070621A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-03-22.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD, AND RECORDING MEDIUM

Номер патента: US20120088030A1. Автор: KATO Hitoshi,TAKEUCHI Yasushi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-04-12.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120115257A1. Автор: Wada Takehito,MATSUYAMA Hideaki. Владелец: FUJI ELECTRIC CO., LTD.. Дата публикации: 2012-05-10.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20120118725A1. Автор: . Владелец: ULVAC, INC.. Дата публикации: 2012-05-17.

FILM FORMING APPARATUS, FILM FORMING METHOD AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20120171365A1. Автор: Kojima Yasuhiko,AZUMO Shuji. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-07-05.

FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130017328A1. Автор: Itoh Hitoshi,Sato Hiroshi,Miyoshi Hidenori. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-01-17.

THIN FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130084693A1. Автор: Endo Atsushi,Takagi Satoshi,KAKIMOTO Akinobu,NAKAJIMA Shigeru,Igarashi Kazumasa,MIYAHARA Takahiro. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2013-04-04.

FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING APPARATUS

Номер патента: US20130104800A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke,Moriyama Yoshikazu. Владелец: NUFLARE TECHNOLOGY, INC. Дата публикации: 2013-05-02.

Vacuum processing apparatus, film forming apparatus and film forming method using the same

Номер патента: JP3334162B2. Автор: 明 岡本,英昭 島村,秀 小林,雄二 米岡,進 都竹,英輔 西谷,里志 岸本,登季男 加藤. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2002-10-15.

Multilayer film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4804830B2. Автор: 利展 伊藤,永寧 杜. Владелец: 株式会社昭和真空. Дата публикации: 2011-11-02.

Oxide thin film forming method and oxide thin film forming apparatus

Номер патента: JP6813824B2. Автор: 文彦 廣瀬. Владелец: Yamagata University NUC. Дата публикации: 2021-01-13.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5605264B2. Автор: 憲彦 高橋. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2014-10-15.

Film forming method and film forming apparatus using electron cyclotron resonance

Номер патента: JP3334159B2. Автор: 博文 角. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2002-10-15.

Coating film forming apparatus, coating film forming method, and storage medium

Номер патента: JP6432644B2. Автор: 正志 榎本,崇史 橋本,哲嗣 宮本. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-12-05.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP3425852B2. Автор: 克之 町田,億 久良木. Владелец: Nippon Telegraph and Telephone Corp. Дата публикации: 2003-07-14.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP2986799B2. Автор: 塚本　　晃,幸雄 本多,敏之 会田,一重 今川,徳海 深沢,克己 宮内. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1999-12-06.

Film forming apparatus, film forming method, and storage medium

Номер патента: JP5692337B2. Автор: 寿 加藤,武司 熊谷. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-04-01.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3372904B2. Автор: 伸之 中原. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2003-02-04.

Single-wafer thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JPH0693452B2. Автор: 晋平 飯島,静憲 大湯,恭雄 和田,信義 夏秋. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1994-11-16.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3126787B2. Автор: 克信 青柳,一成 尾笹,多加志 目黒. Владелец: RIKEN Institute of Physical and Chemical Research. Дата публикации: 2001-01-22.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP6274832B2. Автор: 裕司 岡本. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2018-02-07.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3968869B2. Автор: 博 神力,憶軍 劉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-08-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP5769857B2. Автор: 林　　達也,林　達也,充祐 宮内,友松 姜,亦周 長江,真悟 佐守. Владелец: Shincron Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-26.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: JP3754316B2. Автор: 高広 北野,淳 大倉,伸一 杉本,朋秀 南,啓聡 栗島. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2006-03-08.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4912542B2. Автор: 阿川　　義昭,整爾 関,沈　　国華. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-04-11.

Paste film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4179718B2. Автор: 真司 金山,健治 高橋,信弥 松村,浩之 清村,博 那須. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2008-11-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4257524B2. Автор: 達也 伊藤,悟 片上,浩史 木口,久 有賀. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2009-04-22.

Film forming apparatus, film forming method, and reflector unit

Номер патента: JP6208063B2. Автор: 藤 雅 彦 伊,木 邦 彦 鈴,木 邦 彦 鈴,藤 英 樹 伊,藤 英 樹 伊,谷 尚 久 池,谷 尚 久 池,田 秀 一 土,田 秀 一 土,田 功 穂 鎌,田 功 穂 鎌,藤 雅 彦 伊,林 裕 明 藤,林 裕 明 藤,木 克 己 鈴,木 克 己 鈴,川 恒 一 西,川 恒 一 西. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-04.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP3244809B2. Автор: 伸夫 早坂,晴雄 岡野,裕一 見方,哲朗 松田,弘幸 竹内,明道 米倉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-01-07.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3488165B2. Автор: 英民 八重樫,泰大 坂本. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-01-19.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3967631B2. Автор: 真二 小林,高広 北野,祐晃 森川. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-08-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3254294B2. Автор: 修一 石塚,剛平 川村,次郎 畑. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-02-04.

Thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP5667226B2. Автор: 伸昭 折田,久 小相澤,折田　伸昭,小相澤　久. Владелец: THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.. Дата публикации: 2015-02-12.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP2595024B2. Автор: 義実 川浪,亨 石谷,毅 大西. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1997-03-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: TW201907046A. Автор: 布重裕,山崎和良,中村秀雄,藤井康,神尾卓史,芦澤宏明,高橋毅,洪錫亨. Владелец: 日商東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2019-02-16.

Vacuum film forming method and vacuum film forming apparatus

Номер патента: JP4790548B2. Автор: 清 武内,孝市 笹川,毅士 古塚,志朗 瀧川,雅視 池谷. Владелец: Tokai Optical Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-12.

Transparent conductive thin film forming method and thin film forming apparatus

Номер патента: JP4945929B2. Автор: 幸弘 木村,明男 黒澤,賢治 坂尾,芳博 川原,達洋 小泉. Владелец: Toppan Inc. Дата публикации: 2012-06-06.

Film forming apparatus, film forming method, and evaporation source unit

Номер патента: JP7291197B2. Автор: 行生 松本,竜也 高橋,博之 田村,良秋 風間,雄太郎 原. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2023-06-14.

Resin film forming method and resin film forming apparatus

Номер патента: JP4554646B2. Автор: 隆之 鈴木,直人 小澤. Владелец: Origin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2010-09-29.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP3466387B2. Автор: 治朗 池田,栄次 此島. Владелец: Sony Disc Technology Inc. Дата публикации: 2003-11-10.

Coating film forming method and coating film forming apparatus

Номер патента: JP4402421B2. Автор: 林　　謙太,添田　　正彦,秦　　直己. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2010-01-20.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4627618B2. Автор: 大輔 松嶋,保次 鶴岡,端生 鈴木. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2011-02-09.

Optical thin film forming apparatus equipped with film thickness measuring device and optical thin film forming method

Номер патента: JP4547489B2. Автор: 清 細川,修 白井,和弘 高木,敏夫 笠原,義昭 野村. Владелец: 株式会社昭和真空. Дата публикации: 2010-09-22.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4984070B2. Автор: 正基 中野,博俊 福永. Владелец: 国立大学法人 長崎大学. Дата публикации: 2012-07-25.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4443689B2. Автор: 靖二 有馬. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-03-31.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP4801600B2. Автор: 舜平 山崎,哲史 瀬尾,康男 中村. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-26.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP7224241B2. Автор: 繁博 三浦,雅人 米澤. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-02-17.

Film forming method and film forming apparatus

Номер патента: JP2890695B2. Автор: 裕子 関. Владелец: Nippon Electric Co Ltd. Дата публикации: 1999-05-17.

Boron film forming method and boron film forming apparatus

Номер патента: JP3777436B2. Автор: 澤 修 一 小,垣 学 浜. Владелец: RIKEN Institute of Physical and Chemical Research. Дата публикации: 2006-05-24.

Method for producing film-forming composition, film-forming composition, film-forming method, and silica-based film

Номер патента: JP4483015B2. Автор: 公一 長谷川,英治 林,榮秀 徐. Владелец: JSR Corp. Дата публикации: 2010-06-16.

FILM FORMING METHOD, FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120094483A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-04-19.

Conductive barrier film forming material, conductive barrier film forming method, and wiring film forming method

Номер патента: JP3862900B2. Автор: 英明 町田,茂樹 日色,淑恵 鈴木,麻子 星野. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2006-12-27.

Magnetic film forming method, magnetic film forming apparatus, and magnetic recording disk manufacturing method

Номер патента: JP4502160B2. Автор: 直樹 渡辺,徹哉 遠藤,美保 坂井. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2010-07-14.

Conductive barrier film forming material, conductive barrier film forming method, and wiring film forming method

Номер патента: JP4666339B2. Автор: 英明 町田,茂樹 日色,淑恵 鈴木,麻子 星野. Владелец: TRI Chemical Laboratorories Inc. Дата публикации: 2011-04-06.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20120070577A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,ITO Hideki,DEURA Kaori,HIGASHI Shinya. Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

FILM-FORMING APPARATUS AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: US20130084390A1. Автор: SUZUKI Kunihiko,SATO Yuusuke. Владелец: . Дата публикации: 2013-04-04.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.