3d memory device, measurement method thereof, and film measurement device
Номер патента: US20230157014A1
Опубликовано: 18-05-2023
Автор(ы): Fengrui Li, Shuo Zhang, Wei Zhang, Yi Zhou, Yuanxiang Zou
Принадлежит: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-05-2023
Автор(ы): Fengrui Li, Shuo Zhang, Wei Zhang, Yi Zhou, Yuanxiang Zou
Принадлежит: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film thickness measurement method, film thickness measurement device, and film formation system
Номер патента: US12018928B2. Автор: Atsushi Gomi,Kanto Nakamura,Toru Kitada,Kazunaga Ono. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-25.