Interconnects with Sidewall Barrier Layer Divot Fill
Номер патента: US20240194587A1
Опубликовано: 13-06-2024
Автор(ы): Chih-Chao Yang, Koichi Motoyama, Oscar van der Straten
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-06-2024
Автор(ы): Chih-Chao Yang, Koichi Motoyama, Oscar van der Straten
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Interconnects with liner that resonates during microwave anneal
Номер патента: US20230133484A1. Автор: Anand Murthy,Prashant Majhi. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2023-05-04.