Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method.
Номер патента: NL2012996A
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Richard Quintanilha
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-01-2015
Автор(ы): Richard Quintanilha
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inspection apparatus and method, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
Номер патента: US09904181B2. Автор: Richard Quintanilha. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2018-02-27.