Beam scanner and surface measurement apparatus
Номер патента: US20100201993A1
Опубликовано: 12-08-2010
Автор(ы): Bae Kyun Kim, Tak Gyum Kim
Принадлежит: Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-08-2010
Автор(ы): Bae Kyun Kim, Tak Gyum Kim
Принадлежит: Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor measurement apparatus
Номер патента: US20240230314A9. Автор: Jinyong Kim,Sungho Jang,Wookrae Kim,Garam CHOI,Jinseob KIM,Daehoon Han,Younguk JIN. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.