Method for forming an interlayer insulating film, and semiconductor device
Номер патента: KR100430114B1
Опубликовано: 03-05-2004
Автор(ы): 마에다가즈오
Принадлежит: 가부시끼가이샤 한도따이 프로세스 켄큐쇼, 캐논 한바이 가부시끼가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-05-2004
Автор(ы): 마에다가즈오
Принадлежит: 가부시끼가이샤 한도따이 프로세스 켄큐쇼, 캐논 한바이 가부시끼가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for forming interlayer dielectric film, interlayer dielectric film, semiconductor device and semiconductor manufacturing apparatus
Номер патента: US20090127669A1. Автор: Yoshihiro Hayashi,Hironori Yamamoto,Fuminori Ito. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2009-05-21.