Rf 밸런싱을 사용하는 멀티스테이션 플라즈마 반응기
Номер патента: KR102460602B1
Опубликовано: 27-10-2022
Автор(ы): 썬닐 카푸어, 애드리언 라보이, 야스완쓰 란지네니, 칼 에프. 리저
Принадлежит: 램 리써치 코포레이션
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-10-2022
Автор(ы): 썬닐 카푸어, 애드리언 라보이, 야스완쓰 란지네니, 칼 에프. 리저
Принадлежит: 램 리써치 코포레이션
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-station plasma reactor with RF balancing
Номер патента: CN105321792A. Автор: 阿德里安·拉瓦伊,卡尔·F·利泽,苏尼尔·卡普尔,亚斯万斯·兰吉尼. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-02-10.