Microelectromechanical device having a structure tiltable by piezoelectric actuation about two rotation axes
Номер патента: EP3974890B1
Опубликовано: 30-10-2024
Автор(ы): Massimiliano Merli, Nicolò BONI, Roberto Carminati
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-10-2024
Автор(ы): Massimiliano Merli, Nicolò BONI, Roberto Carminati
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Microelectromechanical mirror device with piezoelectric actuation and optimized size
Номер патента: US20230408808A1. Автор: Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-12-21.