Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method
Номер патента: US09880463B2
Опубликовано: 30-01-2018
Автор(ы): Fumio Sakai, Hideki Matsumoto, Kohei Wakabayashi, Makoto Mizuno
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-01-2018
Автор(ы): Fumio Sakai, Hideki Matsumoto, Kohei Wakabayashi, Makoto Mizuno
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Imprint method for an imprint apparatus which transfers a pattern onto a substrate by using a mold
Номер патента: US9921470B2. Автор: Yoshihiro Shiode. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2018-03-20.