Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method
Номер патента: US20240210818A1
Опубликовано: 27-06-2024
Автор(ы): Soushi Yamaguchi
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-06-2024
Автор(ы): Soushi Yamaguchi
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Imprint apparatus and article manufacturing method
Номер патента: US20210339526A1. Автор: Yousuke Kondo. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2021-11-04.