Lowering tungsten resistivity by replacing titanium nitride with titanium silicon nitride
Номер патента: US09583349B2
Опубликовано: 28-02-2017
Автор(ы): Jianxin Lei, Rajkumar Jakkaraju, Srinivas Gandikota, Zhendong Liu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-02-2017
Автор(ы): Jianxin Lei, Rajkumar Jakkaraju, Srinivas Gandikota, Zhendong Liu
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Lowering tungsten resistivity by replacing titanium nitride with titanium silicon nitride
Номер патента: KR102072355B1. Автор: 젠동 리우,스리니바스 간디코타,지안신 레이,라즈쿠마 자카라주. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2020-01-31.