• Главная
  • Lowering tungsten resistivity by replacing titanium nitride with titanium silicon nitride

Lowering tungsten resistivity by replacing titanium nitride with titanium silicon nitride

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Method of forming a semiconductor device comprising titanium silicon oxynitride

Номер патента: US10032625B2. Автор: Xiong-Fei Yu,Cheng-Hao Hou. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-07-24.

Silicon nitride process for reduction of threshold shift

Номер патента: US09741557B1. Автор: Naveen Tipirneni,Dong Seup Lee,Nicholas Stephen DELLAS. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2017-08-22.

Solution based etching of titanium carbide and titanium nitride structures

Номер патента: US09831100B2. Автор: Muthumanickam Sankarapandian,John Foster,Sean Lin,Ruilong Xie. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2017-11-28.

Silicon nitride process for reduction of threshold shift

Номер патента: WO2017223541A1. Автор: Naveen Tipirneni,Dong Seup Lee,Nicholas Stephen DELLAS. Владелец: Texas Instruments Japan Limited. Дата публикации: 2017-12-28.

Conformal titanium silicon nitride-based thin films and methods of forming same

Номер патента: US20220301928A1. Автор: Hae Young Kim,Bunsen B. Nie,Hyunchol Cho,Ajit Dhamdhere. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2022-09-22.

Method of treating CVD titanium nitride with silicon ions

Номер патента: US6080667A. Автор: Koji Urabe. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2000-06-27.

PEALD titanium nitride with direct microwave plasma

Номер патента: US11823870B2. Автор: Hanhong Chen,Philip A. Kraus,Arkaprava Dan,Joseph AuBuchon,Kyoung Ha Kim. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-21.

Titanium nitride film forming method and titanium nitride film forming apparatus

Номер патента: US20220356565A1. Автор: Tsuyoshi Takahashi,Kensuke Higuchi,Seokhyoung Hong. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-11-10.

Conformal and smooth titanium nitride layers and methods of forming the same

Номер патента: EP4259845A1. Автор: Sung-hoon Jung,Hae Young Kim,Bunsen B. Nie,Hyunchol Cho,Ajit Dhamdhere. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2023-10-18.

Structures containing titanium silicon oxide

Номер патента: US20100176442A1. Автор: Leonard Forbes,Kie Y. Ahn. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-07-15.

Process for silicon nitride removal selective to SiGex

Номер патента: US09691628B2. Автор: Jeffery W. Butterbaugh,Anthony S. Ratkovich. Владелец: TEL FSI Inc. Дата публикации: 2017-06-27.

Composition and process for selectively etching p-doped polysilicon relative to silicon nitride

Номер патента: WO2017091572A1. Автор: Emanuel I. Cooper,Steven Bilodeau. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2017-06-01.

Two stage etching of silicon nitride to form a nitride spacer

Номер патента: US20040175955A1. Автор: John Lee,Barbara Haselden. Владелец: Promos Technologies Inc. Дата публикации: 2004-09-09.

Low-stress low-hydrogen lpcvd silicon nitride

Номер патента: US20160325987A1. Автор: Nicholas Stephen DELLAS. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2016-11-10.

Low-stress low-hydrogen lpcvd silicon nitride

Номер патента: US20170133472A1. Автор: Nicholas Stephen DELLAS. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2017-05-11.

Varied silicon richness silicon nitride formation

Номер патента: US20180006132A1. Автор: Yi Ma,Shenqing Fang,Robert Ogle. Владелец: Cypress Semiconductor Corp. Дата публикации: 2018-01-04.

Semiconductor HEMT device with stoichiometric silicon nitride layer

Номер патента: US9224668B2. Автор: Kozo Makiyama. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2015-12-29.

Method to Improve Etch Selectivity During Silicon Nitride Spacer Etch

Номер патента: US20150364338A1. Автор: Alok Ranjan,Blake Parkinson. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-12-17.

PROCESS OF DEPOSITING SILICON NITRIDE (SiN) FILM ON NITRIDE SEMICONDUCTOR

Номер патента: US20180286661A1. Автор: Kazuhide Sumiyoshi. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2018-10-04.

Method for manufacturing semiconductor hemt device with stoichimetric silicon nitride layer

Номер патента: US20160049290A1. Автор: Kozo Makiyama. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2016-02-18.

Semiconductor device having gate insulating film of silicon oxide and silicon nitride films

Номер патента: US20010019158A1. Автор: Masahiro Ushiyama,Toshiyuki Mine,Shimpei Tsujikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-09-06.

High pressure treatment of silicon nitride film

Номер патента: EP3635769A1. Автор: Srinivas D. Nemani,Sean S. Kang,Ellie Y. Yieh,Keith Tatseun WONG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-04-15.

Method for manufacturing semiconductor HEMT device with stoichiometric silicon nitride layer

Номер патента: US9514930B2. Автор: Kozo Makiyama. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2016-12-06.

Low-stress low-hydrogen LPCVD silicon nitride

Номер патента: US09580304B2. Автор: Nicholas Stephen DELLAS. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Solution Based Etching of Titanium Carbide and Titanium Nitride Structures

Номер патента: US20150371872A1. Автор: Muthumanickam Sankarapandian,John Foster,Sean Lin,Ruilong Xie. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2015-12-24.

PEALD TITANIUM NITRIDE WITH DIRECT MICROWAVE PLASMA

Номер патента: US20210050186A1. Автор: Chen Hanhong,Kraus Philip A.,AuBuchon Joseph,KIM Kyoung Ha,Dan Arkaprava. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-02-18.

Conformal and smooth titanium nitride layers and methods of forming the same

Номер патента: EP4259845A4. Автор: Sung-hoon Jung,Hae Young Kim,Hyunchol Cho,Ajit Dhamdhere,Bunsen B Nie. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2024-07-24.

Method of performing titanium/titanium nitride integration

Номер патента: TW451292B. Автор: YIN LIN,Ming Xi,Frederick Wu,Fufa Chen,Jianhua Hu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-08-21.

CONFORMAL AND SMOOTH TITANIUM NITRIDE LAYERS AND METHODS OF FORMING THE SAME

Номер патента: US20220172988A1. Автор: Jung Sung-Hoon,KIM HAE YOUNG,Nie Bunsen B.,Cho Hyunchol,Dhamdhere Ajit. Владелец: . Дата публикации: 2022-06-02.

Method of forming titanium nitride films with (200) crystallographic texture

Номер патента: US20200035481A1. Автор: Kandabara Tapily. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-30.

Titanium nitride electrode

Номер патента: US09384990B2. Автор: Silke Musa. Владелец: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC. Дата публикации: 2016-07-05.

Controlling via critical dimension with a titanium nitride hard mask

Номер патента: US10886197B2. Автор: Muthumanickam Sankarapandian,Yongan Xu,Yann Mignot. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2021-01-05.

Method for forming a titanium nitride layer

Номер патента: US20050053722A1. Автор: Ching-Hua Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-03-10.

In-situ silicon nitride and silicon based oxide deposition with graded interface for damascene application

Номер патента: US6507081B2. Автор: Preston Smith,Chi-hing Choi. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2003-01-14.

Selective etch process for silicon nitride

Номер патента: US20120077347A1. Автор: Hongyun Cottle,Andrew W. METZ. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-03-29.

Method for depositing a silicon nitride film and film deposition apparatus

Номер патента: US20190051513A1. Автор: Hitoshi Kato,Yutaka Takahashi,Kazumi Kubo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-02-14.

Etching method for selectively etching silicon oxide with respect to silicon nitride

Номер патента: US09754797B2. Автор: Akihiro Tsuji,Hikaru Watanabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-05.

Selective titanium nitride removal

Номер патента: US09607856B2. Автор: Xikun Wang,Dmitry Lubomirsky,Nitin K. Ingle,Anchuan Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-03-28.

Silicon nitride-free isolation methods for integrated circuits

Номер патента: US5966614A. Автор: Tai-su Park,Ho-kyu Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 1999-10-12.

Methods of forming silicon nitride

Номер патента: US20210217611A1. Автор: Stefan Uhlenbrock,Timothy A. Quick,John A. Smythe,Sumeet C. Pandey,Brenda D. Kraus. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2021-07-15.

Method of filling an isolation trench including two silicon nitride etching steps

Номер патента: WO2003060991A3. Автор: Ehrenwall Andreas Von. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2004-11-25.

Method of filling an isolation trench including two silicon nitride etching steps

Номер патента: WO2003060991A2. Автор: Andreas Von Ehrenwall. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2003-07-24.

Method for forming pecvd silicon nitride film

Номер патента: US20080029021A1. Автор: Gwang Su Kim. Владелец: Dongbu HitekCo Ltd. Дата публикации: 2008-02-07.

Methods of forming deuterated silicon nitride-containing materials

Номер патента: WO2005008763B1. Автор: Ronald A Weimer,Lyle D Breiner. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2005-07-14.

Silicon nitride films having reduced interfacial strain

Номер патента: EP4189726A1. Автор: Yong Liang,Ann MELNICHUK. Владелец: Psiquantum Corp. Дата публикации: 2023-06-07.

Method of forming silicon nitride capacitors

Номер патента: GB2250378A. Автор: Neal F Gardner. Владелец: Silicon Systems Inc. Дата публикации: 1992-06-03.

Nitrogen-rich silicon nitride films for thin film transistors

Номер патента: US20230274997A1. Автор: Soo Young Choi,Yi Cui,Jung Bae Kim,Jiarui Wang,Dong Kil Yim,Rodney S. LIM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-08-31.

Memory stacks having silicon nitride gate-to-gate dielectric layers and methods for forming the same

Номер патента: US11849582B2. Автор: Li Hong XIAO. Владелец: Yangtze Memory Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-19.

Method for forming self-aligned, dual silicon nitride liner for cmos devices

Номер патента: WO2006093730A1. Автор: Haining Yang,Thomas W. Dyer. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2006-09-08.

Method for forming self-aligned, dual silicon nitride liner for cmos devices

Номер патента: EP1856726A1. Автор: Haining Yang,Thomas W. Dyer. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2007-11-21.

Nitrogen-rich silicon nitride films for thin film transistors

Номер патента: US12094796B2. Автор: Soo Young Choi,Yi Cui,Jung Bae Kim,Jiarui Wang,Dong Kil Yim,Rodney S. LIM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Semiconductor device with silicon nitride film on nitride semiconductor layer and manufacturing method thereof

Номер патента: US09761682B2. Автор: Yasuhiro Okamoto. Владелец: Renesas Electronics Corp. Дата публикации: 2017-09-12.

Method of forming a structure comprising silicon nitride on titanium nitride and structure formed

Номер патента: CN111276400A. Автор: 汤福,D.朗利. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2020-06-12.

Technique for forming a silicon nitride layer having high intrinsic compressive stress

Номер патента: US20070254492A1. Автор: Volker Kahlert,Joerg Hohage,Steffen Baer. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-11-01.

Varied silicon richness silicon nitride formation

Номер патента: US20200365709A1. Автор: Yi Ma,Shenqing Fang,Robert Ogle. Владелец: Monterey Research LLC. Дата публикации: 2020-11-19.

Memory device comprising a silicon nitride charge storage layer doped with boron

Номер патента: WO2009086157A1. Автор: Mark Randolph,Gwyn R. Jones. Владелец: SPANSION LLC. Дата публикации: 2009-07-09.

Varied silicon richness silicon nitride formation

Номер патента: US20150194499A1. Автор: Yi Ma,Shenqing Fang,Robert Ogle. Владелец: Cypress Semiconductor Corp. Дата публикации: 2015-07-09.

Semiconductor Component Including Aluminum Silicon Nitride Layers

Номер патента: US20170256618A1. Автор: Srinivasan Kannan,Scott Nelson. Владелец: Infineon Technologies North America Corp. Дата публикации: 2017-09-07.

Display apparatus having a silicon nitride buffer layer and method of manufacturing the same

Номер патента: US11658190B2. Автор: Eunjin Kwak,Yeoungkeol Woo,Yungbin CHUNG. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-23.

Semiconductor component including aluminum silicon nitride layers

Номер патента: US09761672B1. Автор: Srinivasan Kannan,Scott Nelson. Владелец: Infineon Technologies North America Corp. Дата публикации: 2017-09-12.

REPLACEMENT METAL GATE WITH MULITIPLE TITANIUM NITRIDE LATERS

Номер патента: US20140246734A1. Автор: Kim Hoon,Choi Kisik. Владелец: GLOBALFOUNDRIES INC.. Дата публикации: 2014-09-04.

Deposition of silicon nitride with enhanced selectivity

Номер патента: EP4449478A1. Автор: Han Wang,Eric CONDO,Bryan Clark Hendrix. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-10-23.

Selective titanium nitride etching

Номер патента: US09449845B2. Автор: Jie Liu,Nitin K. Ingle,Seung Park,Anchuan Wang,Zhijun CHEN,Ching-Mei Hsu,Jingchun Zhang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Selective titanium nitride etching

Номер патента: US20140179111A1. Автор: Jie Liu,Nitin K. Ingle,Seung Park,Anchuan Wang,Zhijun CHEN,Ching-Mei Hsu,Jingchun Zhang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-06-26.

Deposition of silicon nitride with enhanced selectivity

Номер патента: WO2023114132A1. Автор: Han Wang,Eric CONDO,Bryan Clark Hendrix. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2023-06-22.

Etching Solution For Titanium Nitride And Molybdenum Conductive Metal Lines

Номер патента: US20240010915A1. Автор: Wen Dar Liu,Yi-Chia Lee,Chao-Hsiang Chen,Jhih Kuei GE. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2024-01-11.

Method for producing silicon nitride film

Номер патента: US20200335322A1. Автор: Akira Nishimura,Takashi Abe,Akinobu Teramoto,Yoshinobu Shiba. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2020-10-22.

Precision masking using silicon nitride and silicon oxide

Номер патента: US3592707A. Автор: Ralph J Jaccodine. Владелец: Bell Telephone Laboratories Inc. Дата публикации: 1971-07-13.

Selective silicon nitride plasma etching

Номер патента: US5188704A. Автор: Bang C. Nguyen,Kenneth L. Devries,Wayne T. Babie,Chau-Hwa J. Yang. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1993-02-23.

Silicon nitride capped poly resistor with SAC process

Номер патента: US6232194B1. Автор: Dun-Nian Yaung,Shou-Gwo Wuu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2001-05-15.

Deposition of silicon nitride by plasma-enchanced chemical vapor deposition

Номер патента: US5508067A. Автор: Atsushi Tabata,Tatsuya Sato,Naoaki Kobayashi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1996-04-16.

Etching solution for selectively removing silicon nitride during manufacture of a semiconductor device

Номер патента: US11186771B2. Автор: Wen Dar Liu,Yi-Chia Lee. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2021-11-30.

Single component monomer for silicon nitride deposition

Номер патента: US4200666A. Автор: Alan R. Reinberg. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 1980-04-29.

Deposition of silicon nitride films from azidosilane sources

Номер патента: US4992299A. Автор: David A. Roberts,Arthur K. Hochberg,David L. O'Meara. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 1991-02-12.

Method of manufacturing silicon nitride film

Номер патента: US5234869A. Автор: Takahiko Moriya,Yuuichi Mikata. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1993-08-10.

CVD syntheses of silicon nitride materials

Номер патента: US20020016084A1. Автор: Michael Todd. Владелец: ASM Japan KK. Дата публикации: 2002-02-07.

Methods of forming a silicon nitride film, a capacitor dielectric layer and a capacitor

Номер патента: US6077754A. Автор: Sujit Sharan,Gurtej S. Sandhu,Anand Srinivasan. Владелец: Individual. Дата публикации: 2000-06-20.

Compositions and methods for selective polishing of silicon nitride materials

Номер патента: EP2697330A2. Автор: William Ward. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2014-02-19.

Method of etching silicon nitride

Номер патента: US20020003126A1. Автор: AJAY Kumar,Padmapani Nallan,Jeffrey Chinn. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-01-10.

Gases for low damage selective silicon nitride etching

Номер патента: US10217681B1. Автор: Rahul Gupta,James Royer,Venkateswara R. Pallem. Владелец: American Air Liquide Inc. Дата публикации: 2019-02-26.

Method of fabricating solar cells with silicon nitride coating

Номер патента: US4751191A. Автор: Ronald C. Gonsiorawski,George Czernienko. Владелец: Mobil Solar Energy Corp. Дата публикации: 1988-06-14.

Germanium-containing silicon nitride film

Номер патента: US4126880A. Автор: Akira Shintani,Seiichi Isomae,Michiyoshi Maki,Masahiko Ogirima,Yoichi Tamaki. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1978-11-21.

Photo-chemical vapor deposition of silicon nitride film

Номер патента: US4588610A. Автор: Shunpei Yamazaki. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 1986-05-13.

Method of forming a silicon nitride layer

Номер патента: US5907792A. Автор: Jonathan K. Abrokwah,Matthias Passlack,Zhiyi Jimmy Yu,Ravi Droopad. Владелец: Motorola Inc. Дата публикации: 1999-05-25.

Compositions and methods for polishing silicon nitride materials

Номер патента: MY150866A. Автор: Chen Zhan,Dysard Jeffrey,JOHNS Timothy,Anjur Sriram. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2014-03-14.

Low wet etch rate silicon nitride film

Номер патента: WO2009085974A2. Автор: Jing Wu,Hemant P. Mungekar,Young S. Lee. Владелец: Wang, Anchuan. Дата публикации: 2009-07-09.

Method for stripping silicon nitride

Номер патента: US7323413B2. Автор: Teresa Yim. Владелец: Dongbu Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2008-01-29.

Method of forming silicon nitride film and film forming apparatus

Номер патента: US20240087885A1. Автор: Yusuke Suzuki,Yuji Otsuki,Munehito Kagaya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Silicon nitride etching compositions and method

Номер патента: US20230365863A1. Автор: Steven M. Bilodeau,Claudia Yevenes. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2023-11-16.

Method of depositing silicon nitride film, apparatus for depositing film, and silicon nitride film

Номер патента: US20240055239A1. Автор: Naoki Morimoto,Akira Igari,Yuta Ando. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2024-02-15.

Method of quasi-atomic layer etching of silicon nitride

Номер патента: US20180261462A1. Автор: Alok Ranjan,Sonam D. Sherpa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-09-13.

Method of quasi-atomic layer etching of silicon nitride

Номер патента: US20190252197A1. Автор: Alok Ranjan,Sonam D. Sherpa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-08-15.

Doped silicon nitride for 3d nand

Номер патента: WO2022150285A1. Автор: Deenesh Padhi,Hang Yu,Xinhai Han,Tianyang Li,Chuan Ying WANG. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-07-14.

Method of forming silicon nitride films using microwave plasma

Номер патента: US11955331B2. Автор: Kelvin Chan,Philip Allan Kraus,Hanhong Chen,Thai Cheng Chua. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Methods of forming silicon nitride encapsulation layers

Номер патента: WO2020242592A1. Автор: Bo QI,Abhijit B. MALLICK. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-12-03.

Etching composition for silicon nitride and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20220081615A1. Автор: Akira Endo,Yasushi Nakasaki,Masayasu Miyata. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2022-03-17.

Compositions and methods for selectively etching silicon nitride films

Номер патента: EP4347744A1. Автор: Steven M. Bilodeau,Claudia Yevenes,Juhee YEO. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-04-10.

Method for depositing silicon nitride layer of semiconductor device

Номер патента: US6949480B2. Автор: Sung Hoon Jung,Hyung Kyun Kim,Yong Seok Eun. Владелец: Hynix Semiconductor Inc. Дата публикации: 2005-09-27.

Method to selectively etch silicon nitride to silicon oxide using water crystallization

Номер патента: US20240128089A1. Автор: Mingmei Wang,Yu-Hao Tsai,Du Zhang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Selective deposition of silicon nitride

Номер патента: US20200266048A1. Автор: Han Wang,Thomas H. Baum,Bryan C. Hendrix,Eric CONDO. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2020-08-20.

Compositions and methods for selectively etching silicon nitride films

Номер патента: EP4189728A1. Автор: Daniela White,Emanuel I. Cooper,Steven M. Bilodeau. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2023-06-07.

Silicon nitride etching compositions and method

Номер патента: WO2023219943A1. Автор: Steven M. Bilodeau,Claudia Yevenes. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2023-11-16.

Compositions and methods for selectively etching silicon nitride films

Номер патента: US20220033710A1. Автор: Daniela White,Emanuel I. Cooper,Steven M. Bilodeau. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2022-02-03.

Method and apparatus for producing silicon nitride film

Номер патента: US8889568B2. Автор: Seiji Nishikawa,Tadashi Shimazu,Hidetaka Kafuku. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2014-11-18.

Ultra low loss silicon nitride based waveguide

Номер патента: WO2023163994A1. Автор: Vimal Kamineni,Ann MELNICHUK. Владелец: PsiQuantum Corp.. Дата публикации: 2023-08-31.

Dry etch rate reduction of silicon nitride films

Номер патента: WO2019103819A1. Автор: Deenesh Padhi,Hang Yu,Tza-Jing Gung,Michael Wenyoung Tsiang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-05-31.

A method of forming a silicon nitride layer on a substrate

Номер патента: EP1454343A2. Автор: Lee Luo,Shulin Wang,Xianzhi Tao,Steven A. Chen,Kegang Huang,Sang H. Ahn. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-09-08.

Method of forming silicon nitride on a substrate

Номер патента: US6534424B2. Автор: Hung-Chuan Chen,Tzy-Tzan Fu,Chao-Ming Hung. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-03-18.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: WO2019010279A3. Автор: Srinivas D. Nemani,Atashi Basu,Ellie Y. Yieh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-04-11.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: EP3649270A2. Автор: Srinivas D. Nemani,Atashi Basu,Ellie Y. Yieh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-05-13.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: EP4345189A2. Автор: Ellie Yieh,Srinivas D. Nemani,Atashi Basu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-03.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: US10811250B2. Автор: Srinivas D. Nemani,Atashi Basu,Ellie Y. Yieh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-10-20.

Silicon precursors for silicon nitride deposition

Номер патента: US11996286B2. Автор: Hideaki Fukuda,Viljami Pore,Charles DEZELAH. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-05-28.

Dry etch rate reduction of silicon nitride films

Номер патента: US20190157077A1. Автор: Deenesh Padhi,Hang Yu,Tza-Jing Gung,Michael Wenyoung Tsiang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-05-23.

Silicon nitride chemical mechanical polishing slurry with silicon nitride removal rate enhancers and methods of use thereof

Номер патента: US11999877B2. Автор: Jimmy Granstrom. Владелец: Fujimi Inc. Дата публикации: 2024-06-04.

Silicon oxide silicon nitride stack ion-assisted etch

Номер патента: US20180108532A1. Автор: Qing Xu,Qian Fu,Zhongkui Tan,Hua Xiang,Wenbing HU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-04-19.

Compositions and methods for selectively etching silicon nitride films

Номер патента: US12012540B2. Автор: Steven M. Bilodeau,Claudia Yevenes,Juhee YEO. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-06-18.

Ultra low loss silicon nitride based waveguide

Номер патента: WO2023163994A9. Автор: Vimal Kamineni,Ann MELNICHUK. Владелец: PsiQuantum Corp.. Дата публикации: 2023-12-21.

Etching method for silicon nitride and production method for semiconductor element

Номер патента: US12014929B2. Автор: Kazuma Matsui. Владелец: Resonac Corp. Дата публикации: 2024-06-18.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: EP4345189A3. Автор: Ellie Yieh,Srinivas D. Nemani,Atashi Basu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-26.

Silicon nitride substrate and method of manufacturing the same

Номер патента: US20230275002A1. Автор: Kei Shimada,Rei FUKUMOTO,Youichiro KAGA. Владелец: Proterial Ltd. Дата публикации: 2023-08-31.

Method and apparatus for producing silicon nitride film

Номер патента: US20130109154A1. Автор: Seiji Nishikawa,Tadashi Shimazu,Hidetaka Kafuku. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2013-05-02.

Process for preparing silicon-rich silicon nitride films

Номер патента: WO2023168082A1. Автор: Bryan C. Hendrix,Philip S. H. Chen,Shawn Duc NGUYEN. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2023-09-07.

Wet etching method for silicon nitride film

Номер патента: US8741168B2. Автор: Hiroshi Tomita,Hisashi Okuchi,Yasuhito Yoshimizu. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2014-06-03.

Silicon nitride etching composition and method

Номер патента: US20230295502A1. Автор: Emanuel I. Cooper,Hsing-chen Wu,Min-Chieh Yang,SeongJin Hong,Steven Michael BILODEAU. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2023-09-21.

Silicon precursors for silicon nitride deposition

Номер патента: US20240297039A1. Автор: Hideaki Fukuda,Charles DEZELAH,Viljami J. Pore. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-05.

Methods for depositing a conformal metal or metalloid silicon nitride film and resultant films

Номер патента: US11732351B2. Автор: XINJIAN LEI,Moo-Sung Kim,Jianheng LI. Владелец: Versum Materials US LLC. Дата публикации: 2023-08-22.

Silicon Nitride Films With High Nitrogen Content

Номер патента: US20190013197A1. Автор: Srinivas D. Nemani,Atashi Basu,Ellie Y. Yieh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-01-10.

Silicon nitride films with high nitrogen content

Номер патента: WO2019010279A2. Автор: Srinivas D. Nemani,Atashi Basu,Ellie Y. Yieh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-01-10.

Method for depositing silicon nitride layer of semiconductor device

Номер патента: US20050118814A1. Автор: Hyung Kim,Sung Jung,Yong Eun. Владелец: Hynix Semiconductor Inc. Дата публикации: 2005-06-02.

Even nucleation between silicon and oxide surfaces for thin silicon nitride film growth

Номер патента: US20030073285A1. Автор: Er-Xuan Ping. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-04-17.

Even nucleation between silicon and oxide surfaces for thin silicon nitride film growth

Номер патента: US20030073284A1. Автор: Er-Xuan Ping. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-04-17.

Method and system for forming patterned structures including silicon nitride

Номер патента: US12100597B2. Автор: Eiichiro Shiba. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-24.

Electro-optic silicon nitride via electric poling

Номер патента: US20200124884A1. Автор: Yi Zhang,Jaime Cardenas. Владелец: UNIVERSITY OF ROCHESTER. Дата публикации: 2020-04-23.

Silicon oxide silicon nitride stack ion-assisted etch

Номер патента: US09997366B2. Автор: Qing Xu,Qian Fu,Zhongkui Tan,Hua Xiang,Wenbing HU. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-06-12.

Method for forming III-V semiconductor structures including aluminum-silicon nitride passivation

Номер патента: US09991360B2. Автор: Richard Brown,James R. Shealy. Владелец: CORNELL UNIVERSITY. Дата публикации: 2018-06-05.

Method and apparatus of forming silicon nitride film

Номер патента: US09920422B2. Автор: Kazuhide Hasebe,Akinobu Kakimoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Selective growth of silicon nitride

Номер патента: US09911595B1. Автор: Dennis M. Hausmann,David Charles Smith. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-03-06.

Silicon nitride film, and semiconductor device

Номер патента: US09847355B2. Автор: Shunpei Yamazaki,Kengo Akimoto,Toru Takayama. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2017-12-19.

Method of depositing ammonia free and chlorine free conformal silicon nitride film

Номер патента: US09589790B2. Автор: Jon Henri,Dennis M. Hausmann,James S. Sims,Shane Tang. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-03-07.

Low temperature silicon nitride films using remote plasma CVD technology

Номер патента: US09583333B2. Автор: Abhijit Basu Mallick,Nitin K. Ingle,Amit Chatterjee. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Gas-phase silicon nitride selective etch

Номер патента: US09576815B2. Автор: Fei Wang,Robert Jan Visser,Nitin K. Ingle,Jingjing Xu,Anchuan Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-21.

Fabrication method for a silicon nitride read-only memory

Номер патента: US20020177275A1. Автор: Chien-Hung Liu,Shyi-Shuh Pan,Shou-Wei Huang. Владелец: Macronix International Co Ltd. Дата публикации: 2002-11-28.

LOWERING TUNGSTEN RESISTIVITY BY REPLACING TITANIUM NITRIDE WITH TITANIUM SILICON NITRIDE

Номер патента: US20150206756A1. Автор: Gandikota Srinivas,LEI JIANXIN,Liu Zhendong,JAKKARAJU Rajkumar. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-23.

Method for depositing titanium nitride films for semiconductor manufacturing

Номер патента: US20080274616A1. Автор: Toshio Hasegawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-11-06.

COPPER INTERCONNECTS HAVING A TITANIUM-TITANIUM NITRIDE ASSEMBLY BETWEEN COPPER AND COMPOUND SEMICONDUCTOR

Номер патента: US20130234333A1. Автор: Cheng Kezia. Владелец: SKYWORKS SOLUTIONS, INC.. Дата публикации: 2013-09-12.

AUTOMATED PROCESS CONTROL OF ATOMIC LAYER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE THROUGH TREATMENT GAS PULSE TIME

Номер патента: US20180073140A1. Автор: Williams David J.,GOULD William Kyle. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-15.

Titanium Nitride Electrode

Номер патента: US20150137275A1. Автор: Musa Silke. Владелец: IMEC VZW. Дата публикации: 2015-05-21.

TECHNOLOGY FOR SELECTIVELY ETCHING TITANIUM AND TITANIUM NITRIDE IN THE PRESENCE OF OTHER MATERIALS

Номер патента: US20150179510A1. Автор: GROVER Rohit,Mistkawi Nabil G.,THOMPSON Erica J.. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-25.

TRANSISTOR HAVING A GATE COMPRISING A TITANIUM NITRIDE LAYER AND METHOD FOR DEPOSITING THIS LAYER

Номер патента: US20150200099A1. Автор: Caubet Pierre,Baudot Sylvain. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-16.

CONTROLLING VIA CRITICAL DIMENSION WITH A TITANIUM NITRIDE HARD MASK

Номер патента: US20200194343A1. Автор: Sankarapandian Muthumanickam,Mignot Yann,Xu Yongan. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-18.

Chemical mechanical polishing slurry for ruthenium titanium nitride and polishing process using the same

Номер патента: US20040147123A1. Автор: Sang Lee,Jae Kim. Владелец: Hynix Semiconductor Inc. Дата публикации: 2004-07-29.

SELECTIVE TITANIUM NITRIDE REMOVAL

Номер патента: US20140256131A1. Автор: Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,LUBOMIRSKY DMITRY,Wang Xikun. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-11.

Silicon nitride circuit board

Номер патента: US5998000A. Автор: Kazuo Ikeda,Nobuyuki Mizunoya,Michiyasu Komatsu,Hiroshi Komorita,Yoshitoshi Sato. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1999-12-07.

Silicon nitride sintered body and method of producing the same

Номер патента: EP1063211A1. Автор: Kiyoshi Araki,Katsuhiro Inoue. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2000-12-27.

Semiconductor integrated circuit having silicon nitride provided as insulator of capacitor

Номер патента: US5296734A. Автор: Megumi Satoh. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 1994-03-22.

Silicon nitride sintered body, method for producing same, multilayer body and power module

Номер патента: EP3951857A1. Автор: Makoto Takeda,Shinichi Takada,Shoji Iwakiri. Владелец: Denka Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-09.

Silicon nitride hard mask for epitaxial germanium on silicon

Номер патента: US11830961B2. Автор: Edward J. Preisler,Difeng Zhu. Владелец: Newport Fab LLC. Дата публикации: 2023-11-28.

Silicon nitride metal layer covers

Номер патента: US11876056B2. Автор: Jonathan Andrew Montoya,Salvatore Franks PAVONE. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-01-16.

Silicon Nitride Substrate And Silicon Nitride Circuit Board

Номер патента: US20210130241A1. Автор: Katsuyuki Aoki,Takayuki Fukasawa,Jun Momma,Kentaro IWAI. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2021-05-06.

Silicon nitride substrate and silicon nitride circuit board

Номер патента: EP3846596A1. Автор: Katsuyuki Aoki,Takayuki Fukasawa,Jun Momma,Kentaro IWAI. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2021-07-07.

Silicon nitride substrate

Номер патента: US20240150249A1. Автор: Kei Shimada,Youichirou Kaga,Rei FUKUMOTO. Владелец: Proterial Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Silicon nitride sintered substrate

Номер патента: US20230357010A1. Автор: Hideaki Kawai,Norihira MITSUMURA,Dai Kusano. Владелец: Tokuyama Corp. Дата публикации: 2023-11-09.

Silicon nitride waveguide coupled photodiode

Номер патента: US20240105875A1. Автор: Mona Mostafa HELLA,Asif Jahangir CHOWDHURY. Владелец: RENSSELAER POLYTECHNIC INSTITUTE. Дата публикации: 2024-03-28.

Silicon nitride substrate

Номер патента: EP4293713A1. Автор: Kei Shimada,Youichirou Kaga,Rei FUKUMOTO. Владелец: Proterial Ltd. Дата публикации: 2023-12-20.

Silicon nitride metal layer covers

Номер патента: US20240153888A1. Автор: Jonathan Andrew Montoya,Salvatore Franks PAVONE. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2024-05-09.

Silicon nitride passivation for a solar cell

Номер патента: WO2008127920A2. Автор: Soo Young Choi,Lisong Zhou,Sangeeta Dixit. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2008-10-23.

Plasma etching indium tin oxide using a deposited silicon nitride mask

Номер патента: WO1992022930A1. Автор: Paul L. Roselle. Владелец: EASTMAN KODAK COMPANY. Дата публикации: 1992-12-23.

Silicon nitride sintered body, method for producing same, multilayer body and power module

Номер патента: US20220177376A1. Автор: Makoto Takeda,Shinichi Takada,Shoji Iwakiri. Владелец: Denka Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-09.

Silicon nitride passivation for a solar cell

Номер патента: WO2008127920A3. Автор: Soo Young Choi,Lisong Zhou,Sangeeta Dixit. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-09-23.

Silicon-nitride-containing interlayer of great hardness

Номер патента: US20140272748A1. Автор: Krishna Uibel,David W. Worthey. Владелец: ESK Ceramics GmbH and Co KG. Дата публикации: 2014-09-18.

Silicon nitride substrate, circuit substrate and electronic device using the same

Номер патента: US20120281362A1. Автор: Masayuki Moriyama,Kenji Komatsubara,Yuusaku Ishimine. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2012-11-08.

Integrated germanium photodetector with silicon nitride launch waveguide

Номер патента: US12078857B2. Автор: Dawei Zheng,Tongqing Wang,Xingyu Zhang. Владелец: Alpine Optoelectronics Inc. Дата публикации: 2024-09-03.

TFT device with silicon nitride film and manufacturing method thereof

Номер патента: US09864247B1. Автор: Dongzi Gao. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Silicon nitride substrate and silicon nitride circuit board using the same

Номер патента: US09630846B2. Автор: Katsuyuki Aoki,Takashi Sano,Noritaka Nakayama. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-25.

Silicon-nitride-containing separating layer having high hardness

Номер патента: US09625213B2. Автор: Krishna Uibel,David W. Worthey. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2017-04-18.

METHOD OF FORMING A STRUCTURE INCLUDING SILICON NITRIDE ON TITANIUM NITRIDE AND STRUCTURE FORMED USING THE METHOD

Номер патента: US20200181770A1. Автор: Tang Fu,Longrie Delphine. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-11.

Silicon nitride having low dielectric constant

Номер патента: US4708943A. Автор: Howard Mizuhara,Martin Y. Hsieh. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1987-11-24.

Sintering of silicon nitride using mg and be additives

Номер патента: CA1088960A. Автор: Svante Prochazka,Richard J. Charles,Charles D. Greskovich,Robert A. Giddings. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1980-11-04.

Silicon nitride x-ray window and method of manufacture for x-ray detector use

Номер патента: US11694867B2. Автор: XING Zhao,Joseph S. Fragala. Владелец: BRUKER NANO INC. Дата публикации: 2023-07-04.

Silicon nitride x-ray window and method of manufacture for x-ray detector use

Номер патента: EP4205158A1. Автор: XING Zhao,Joseph S. Fragala. Владелец: BRUKER NANO INC. Дата публикации: 2023-07-05.

Silicon nitride resonators for qubit generation and entanglement

Номер патента: US11847535B2. Автор: Gil Semo,Dan Charash,Barak Dayan,Oded Melamed,Ziv AQUA,Serge ROSENBLUM. Владелец: Quantum Source Labs Ltd. Дата публикации: 2023-12-19.

Silicon nitride resonators for qubit generation and entanglement

Номер патента: US20230297872A1. Автор: Gil Semo,Dan Charash,Barak Dayan,Oded Melamed,Ziv AQUA,Serge ROSENBLUM. Владелец: Quantum Source Labs Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Plate with titanium dioxide on its surface, manufacturing process and uses thereof

Номер патента: US20140377542A1. Автор: Chao-Jung Chen,Yu-Ching Liu. Владелец: CHINA MEDICAL UNIVERSITY. Дата публикации: 2014-12-25.

CMP METHOD FOR SUPPRESSION OF TITANIUM NITRIDE AND TITANIUM/TITANIUM NITRIDE REMOVAL

Номер патента: US20150221521A1. Автор: WARD William,HOU Hui-Fang,Yeh Ming-Chih,Tsai Chih-Pin. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-06.

Removal of titanium nitride with xenon difluoride

Номер патента: EP1788120A1. Автор: Eugene Joseph Karwacki, Jr.,Dingjun Wu. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2007-05-23.

Selective etching of titanium nitride with xenon difluoride

Номер патента: TW200721298A. Автор: Eugene Joseph Karwacki,Ding-Jun Wu. Владелец: Air Prod & Chem. Дата публикации: 2007-06-01.

A method for improving the quality of a titanium nitride layer including carbon and oxygen

Номер патента: TW363223B. Автор: Jeong-tae Kim,Sung-Bo Hwang. Владелец: Hyundai Electronics Ind. Дата публикации: 1999-07-01.

A method of making and a device including a titanium nitride layer

Номер патента: GB9605507D0. Автор: . Владелец: Hyundai Electronics Industries Co Ltd. Дата публикации: 1996-05-15.

METHOD OF FORMING TITANIUM NITRIDE FILMS WITH (200) CRYSTALLOGRAPHIC TEXTURE

Номер патента: US20200035481A1. Автор: Tapily Kandabara. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-30.

Oxide Removal From Titanium Nitride Surfaces

Номер патента: US20200075313A1. Автор: Chung Hua,Wang Jin J.. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-05.

Selective titanium nitride etching

Номер патента: US20140179111A1. Автор: Jie Liu,Nitin K. Ingle,Seung Park,Anchuan Wang,Zhijun CHEN,Ching-Mei Hsu,Jingchun Zhang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-06-26.

High Productivity Combinatorial Techniques for Titanium Nitride Etching

Номер патента: US20140179112A1. Автор: Foster John,Metzger Sven. Владелец: . Дата публикации: 2014-06-26.

Selective titanium nitride etching

Номер патента: US20150118857A1. Автор: Jie Liu,Nitin K. Ingle,Seung Park,Anchuan Wang,Zhijun CHEN,Ching-Mei Hsu,Jingchun Zhang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-04-30.

COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY ETCHING TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20170260449A1. Автор: Barnes Jeffrey A.,Lippy Steven,Rajaram Rekha,Cooper Emanuel I.,Tu Sheng-hung,Chen Li-Min. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-14.

Selective Etching of Titanium Nitride

Номер патента: US20140363981A1. Автор: Gregory Nowling. Владелец: Intermolecular Inc. Дата публикации: 2014-12-11.

SELECTIVE TITANIUM NITRIDE REMOVAL

Номер патента: US20150357205A1. Автор: Wang Anchuan,Ingle Nitin K.,LUBOMIRSKY DMITRY,Wang Xikun. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-10.

Titanium nitride hard mask and etch residue removal

Номер патента: US9222018B1. Автор: Tianniu Chen,Wen Dar Liu,Seiji Inaoka,William Jack Casteel, Jr.. Владелец: Air Products and Chemicals Inc. Дата публикации: 2015-12-29.

Composition and process for stripping photoresist from a surface including titanium nitride

Номер патента: US9678430B2. Автор: Emanuel I. Cooper,Marc Conner,Michael Owens. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

High Temperature Sputtered Stoichiometric Titanium Nitride Thin Films

Номер патента: US20190276925A1. Автор: Xiao Liu,Battogtokh Jugdersuren,Brian T. Kearney. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2019-09-12.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20060009136A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2006-01-12.

TITANIUM NITRIDE BASED METAMATERIAL

Номер патента: US20150285953A1. Автор: Shalaev Vladimir,Sands Timothy D.,Boltasseva Alexandra,Naik Gururaj Viveka,Saha Bivas. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2015-10-08.

Fixed abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US6419554B2. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-07-16.

Compositions and methods for selectively etching titanium nitride

Номер патента: US10920141B2. Автор: Steven Lippy,Li-min Chen,Lingyan SONG,Emanuel I Cooper. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2021-02-16.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20020106975A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-08-08.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20020115384A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-08-22.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US6997781B2. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2006-02-14.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20050199588A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2005-09-15.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20020109122A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-08-15.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US6881129B2. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2005-04-19.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US7402094B2. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2008-07-22.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20060003675A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2006-01-05.

Fixed-abrasive chemical-mechanical planarization of titanium nitride

Номер патента: US20020106977A1. Автор: Dinesh Chopra,Gundu Sabde. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2002-08-08.

Titanium nitride based metamaterial

Номер патента: WO2014099110A2. Автор: Gururaj NAIK,Bivas SAHA,Timothy D. Sands,Vladimir Shalaev,Alexandra BOLTASSEVA. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2014-06-26.

Titanium nitride based metamaterial

Номер патента: US9784888B2. Автор: Gururaj NAIK,Bivas SAHA,Vladimir Shalaev,Alexandra BOLTASSEVA,Timothy Sands. Владелец: PURDUE RESEARCH FOUNDATION. Дата публикации: 2017-10-10.

A kind of titanium nitride/silicon nitride/carbonitride/graphene composite nano material and preparation method thereof

Номер патента: CN106531986B. Автор: 向红先. Владелец: 苗强. Дата публикации: 2019-05-21.

Titanium nitride-coated particles and conductive compositions comprising such titanium nitride coated particles

Номер патента: EP0401141A1. Автор: Brian R. Swallow. Владелец: Mearl Corp. Дата публикации: 1990-12-05.

Post-titanium nitride mask ROM programming method

Номер патента: US5488009A. Автор: Chen-Chiu Hsue,Yi-Chung Shen,Shing-Ren Sheu,Chen-Hui Chung. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 1996-01-30.

Titanium silicon nitride barrier layer

Номер патента: US20240276896A1. Автор: Niloy Mukherjee,Jae Seok Heo,Somilkumar J. Rathi,Jerry Mack. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2024-08-15.

Data transformation by replacement of sensitive information in a log

Номер патента: GB201220817D0. Автор: . Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2013-01-02.

Titanium silicon nitride barrier layer

Номер патента: US11832537B2. Автор: Niloy Mukherjee,Jae Seok Heo,Somilkumar J. Rathi,Jerry Mack. Владелец: Eugenus Inc. Дата публикации: 2023-11-28.

Titanium silicon nitride barrier layer

Номер патента: WO2021071629A1. Автор: Niloy Mukherjee,Jae Seok Heo,Somilkumar J. Rathi,Jerry Mack. Владелец: Eugenus, Inc.. Дата публикации: 2021-04-15.

Ceramics fixing heater containing silicon nitride

Номер патента: CA2246919C. Автор: Masuhiro Natsuhara,Yasuhisa Yushio,Hirohiko Nakata. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2003-11-25.

Silicon nitride sintered body

Номер патента: US5399536A. Автор: Akira Yamakawa,Koichi Sogabe. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 1995-03-21.

Silicon nitride ceramic heater

Номер патента: US5998049A. Автор: SATOSHI Tanaka,Jun Fukuda. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 1999-12-07.

Silicon nitride core rib waveguides and methods of manufacturing the same

Номер патента: WO2024186512A1. Автор: Haitao Zhang,Bin Zhu,Barry J. Paddock,Sukru Ekin Kocabas. Владелец: CORNING INCORPORATED. Дата публикации: 2024-09-12.

Chemical vapor deposition process for depositing titanium nitride films from an organo-metallic compound

Номер патента: US20020051847A1. Автор: Salman Akram. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-05-02.

Dual titanium nitride layers for solar control

Номер патента: US6188512B1. Автор: Floyd Eugene Woodard,Yisheng Dai. Владелец: GMX Assoc Pte Ltd. Дата публикации: 2001-02-13.

Use of titanium nitride as a counter electrode

Номер патента: EP3405787A1. Автор: John Foster,Janusz B. Wojtowicz,Markus Wallgren,Robert A. Yuan,Jason Komadina. Владелец: F Hoffmann La Roche AG. Дата публикации: 2018-11-28.

Use of titanium nitride as a counter electrode

Номер патента: WO2017125566A1. Автор: John Foster,Janusz B. Wojtowicz,Markus Wallgren,Robert A. Yuan,Jason Komadina. Владелец: Roche Diagnostics GmbH. Дата публикации: 2017-07-27.

Separated functional layer stack and titanium nitride layer for achieving solar control

Номер патента: EP2074443A2. Автор: Yisheng Dai,Sicco W.T. Westra,Boon Khee Yeo. Владелец: Novomatrix Pte Ltd. Дата публикации: 2009-07-01.

Aluminum titanium nitride coating and method of making same

Номер патента: EP2483437A2. Автор: Yixiong Liu,Ronald M. Penich,Wangyang Ni,Michael F. Beblo. Владелец: Kennametal Inc. Дата публикации: 2012-08-08.

Titanium nitride for MEMS bolometers

Номер патента: US09903763B2. Автор: Ando Feyh,Gary Yama,Ashwin K. SAMARAO,Gary O'brien,Fabian Purkl. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-02-27.

Process for forming low resistivity titanium nitride films

Номер патента: US5279857A. Автор: Eric C. Eichman,Bruce A. Sommer,Michael J. Churley. Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 1994-01-18.

Process for forming low resistivity titanium nitride films

Номер патента: CA2114716A1. Автор: Eric C. Eichman,Bruce A. Sommer,Michael J. Churley. Владелец: Individual. Дата публикации: 1993-03-04.

Titanium-nitride coated grinding wheel and method therefor

Номер патента: US5139537A. Автор: D. Lynn Julien. Владелец: Individual. Дата публикации: 1992-08-18.

Silicon nitride cutting tool and process for making

Номер патента: US4670024A. Автор: Deepak G. Bhat,Vinod Sarin,Paul F. Woerner. Владелец: Individual. Дата публикации: 1987-06-02.

Reducing the susceptibility of titanium nitride optical layers to crack

Номер патента: US6707610B1. Автор: Yisheng Dai,Floyd E. Woodard. Владелец: Huper Optik International Pte Ltd. Дата публикации: 2004-03-16.

Chemical vapor deposition process for depositing titanium nitride films from an organo-metallic compound

Номер патента: US20030165619A1. Автор: Salman Akram. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-09-04.

Ti/titanium nitride and ti/tungsten nitride thin film resistors for thermal ink jet technology

Номер патента: US5870121A. Автор: Lap Chan. Владелец: Chartered Semiconductor Manufacturing Pte Ltd. Дата публикации: 1999-02-09.

Plasma arc keyhole welding stability and quality through titanium nitride additions

Номер патента: US20020170888A1. Автор: John Sanders,John Lehmann,William McInteer. Владелец: McDermott Technology Inc. Дата публикации: 2002-11-21.

Non-stoichiometric titanium nitride films

Номер патента: EP2222887A1. Автор: Anantha Padmanabhan Kuppuswamy,Ghanashyam Krishna Mamidipudi,Sri Rama Narasimha Kiran Mangalampalli. Владелец: Anna University. Дата публикации: 2010-09-01.

Process for depositing titanium nitride film by CVD

Номер патента: US5300321A. Автор: Tadashi Nakano,Tomohiro Ohta. Владелец: Kawasaki Steel Corp. Дата публикации: 1994-04-05.

Heat treatable coated article having titanium nitride based ir reflecting layer(s)

Номер патента: AU2018205723A1. Автор: Yiwei Lu,Patricia TUCKER,Philip J. Lingle. Владелец: Guardian Glass LLC. Дата публикации: 2019-07-25.

Photolithography over reflective substrates comprising a titanium nitride layer

Номер патента: US4810619A. Автор: Thomas R. Pampalone,Edward C. Douglas,Brian C. Lee. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1989-03-07.

Separated functional layer stack and titanium nitride layer for achieving solar control

Номер патента: WO2008036363A2. Автор: Yisheng Dai,Sicco W.T. Westra,Boon Khee Yeo. Владелец: Novomatrix Pte Ltd. Дата публикации: 2008-03-27.

Use of titanium nitride as a counter electrode

Номер патента: US20170212079A1. Автор: John Foster,Janusz B. Wojtowicz,Markus Wallgren,Robert A. Yuan,Jason Komadina. Владелец: Roche Molecular Systems Inc. Дата публикации: 2017-07-27.

Separated functional layer stack and titanium nitride layer for achieving solar control

Номер патента: WO2008036363B1. Автор: Yisheng Dai,Sicco W T Westra,Boon Khee Yeo. Владелец: Boon Khee Yeo. Дата публикации: 2008-12-24.

Vehicle gasoline produced by replacing methyl tertiary butyl ether

Номер патента: AU2021103811A4. Автор: Kai HAN,Jianpeng HAN. Владелец: Qingdao Yongquanhua Energy Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-08-26.

Method for welding a titanium component with a titanium nitride coating

Номер патента: US11833605B2. Автор: Hailiang Zhao. Владелец: MEDTRONIC INC. Дата публикации: 2023-12-05.

Method for welding a titanium component with a titanium nitride coating

Номер патента: WO2022010641A1. Автор: Hailiang Zhao. Владелец: Medtronic, Inc.. Дата публикации: 2022-01-13.

Enhanced disease resistance by introduction of NH3

Номер патента: US09644214B2. Автор: Wei Bai,Pamela Ronald,Mawsheng Chern. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2017-05-09.

Radiation mask for producing structural configurations in photo-sensitive resists by X-ray exposure

Номер патента: US4268563A. Автор: Dietrich Widmann. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1981-05-19.

Enhanced disease resistance by introduction of nh3

Номер патента: US20130152227A1. Автор: Wei Bai,Pamela Ronald,Mawsheng Chern. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2013-06-13.

Sintered silicon nitride and method for producing the same

Номер патента: US20080220963A1. Автор: Naohito Yamada,Takahiro Takahashi,Kazuhiro Nobori,Hideyuki Baba. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2008-09-11.

Silicon nitride compositions

Номер патента: CA2540048C. Автор: Michael Cohen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-05-21.

Sintering of silicon nitride with Be additive

Номер патента: US4374792A. Автор: Svante Prochazka,Charles D. Greskovich. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1983-02-22.

Silicon nitride with improved high temperature strength

Номер патента: CA1268488A. Автор: Russell L. Yeckley. Владелец: Norton Co. Дата публикации: 1990-05-01.

Silicon nitride-ceramic and a manufacturing method therof

Номер патента: US4886767A. Автор: Yasuhiro Goto,Takeyuki Yonezawa,Yoshiyuki Ohnuma. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1989-12-12.

Dense silicon nitride ceramic having fine grained titanium carbide

Номер патента: US5908796A. Автор: William Collins,Vimal Pujari. Владелец: Saint Gobain Industrial Ceramics Inc. Дата публикации: 1999-06-01.

Process for producing silicon nitride

Номер патента: CA1308231C. Автор: Sadashiv Nadkarni,Mukesh Jain. Владелец: Alcan International Ltd Canada. Дата публикации: 1992-10-06.

Silicon nitride electrosurgical blade

Номер патента: US4850353A. Автор: Peter Stasz,Scott R. Grabinger,Jeffrey J. Solberg. Владелец: Everest Medical Corp. Дата публикации: 1989-07-25.

Silicon nitride components with protective coating

Номер патента: US6582779B2. Автор: Derek Raybould,Chien-Wei Li,Milton Ortiz,Thomas Edward Strangman. Владелец: AlliedSignal Inc. Дата публикации: 2003-06-24.

Silicon nitride sintered body and method of producing the same

Номер патента: CA2036010C. Автор: Manabu Isomura,Hiroaki Sakai. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1996-07-16.

Process for joining silicon nitride based ceramic bodies

Номер патента: CA1147538A. Автор: Howard D. Blair,Morton E. Milberg. Владелец: Ford Motor Company of Canada Ltd. Дата публикации: 1983-06-07.

Process for producing corrosion resistant silicon nitride bodies containing La2 O3

Номер патента: US4749539A. Автор: Martin Y. Hsieh. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1988-06-07.

Silicon nitride sintered body and method of producing the same

Номер патента: CA1239943A. Автор: Minoru Matsui. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1988-08-02.

Reaction sintered boride-oxide-silicon nitride for ceramic cutting tools

Номер патента: CA1260505A. Автор: Thomas P. Deangelis. Владелец: Corning Glass Works. Дата публикации: 1989-09-26.

Method of manufacturing a silicon nitride body

Номер патента: GB1335842A. Автор: . Владелец: Joseph Lucas Industries Ltd. Дата публикации: 1973-10-31.

Silicon nitride powders for ceramics by carbothermic reduction and the process for the manufacture thereof

Номер патента: AU7103787A. Автор: Roland Bachelard,Philippe Joubert. Владелец: Atochem SA. Дата публикации: 1987-10-08.

Silicon nitride sintered bodies and method for producing the same

Номер патента: CA1207804A. Автор: Keiji Matsuhiro,Minoru Matsui. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1986-07-15.

Silicon nitride based components

Номер патента: GB1528160A. Автор: . Владелец: National Research Development Corp UK. Дата публикации: 1978-10-11.

Formation of silicon nitride film for a phase shift mask at 193 nm

Номер патента: US6045954A. Автор: Chang-Ming Dai,Lon A. Wang,H.L. Chen. Владелец: Industrial Technology Research Institute ITRI. Дата публикации: 2000-04-04.

Silicon nitride sintered bodies and process for manufacturing the same

Номер патента: CA1257298A. Автор: Tomonori Takahashi,Takao Soma. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1989-07-11.

Silicon nitride life prediction method

Номер патента: CA1122438A. Автор: Peter H. Havstad. Владелец: Ford Motor Company of Canada Ltd. Дата публикации: 1982-04-27.

Method of manufacturing silicon nitride powder

Номер патента: GB1414143A. Автор: . Владелец: Lucas Industries Ltd. Дата публикации: 1975-11-19.

Process for preparing high-purity α-type silicon nitride

Номер патента: US4346068A. Автор: Kiyoshi Kasai,Yoshitaka Kubota,Takaaki Tsukidate. Владелец: Toyo Soda Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 1982-08-24.

Silicon nitride ceramic and cutting tool made thereof

Номер патента: US5382273A. Автор: Pankaj K. Mehrotra,Robert D. Nixon. Владелец: Kennametal Inc. Дата публикации: 1995-01-17.

High thermal conductive silicon nitride sintered body and method of producing the same

Номер патента: US5439856A. Автор: Michiyasu Komatsu. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1995-08-08.

Silicon nitride-based sintered material and method for manufacturing the same

Номер патента: GB1521693A. Автор: . Владелец: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd. Дата публикации: 1978-08-16.

Method of forming high density beta silicon nitride

Номер патента: CA1092325A. Автор: Gerald Q. Weaver. Владелец: Norton Co. Дата публикации: 1980-12-30.

Method of molding silicon nitride ceramics

Номер патента: US5385701A. Автор: Akira Yamakawa,Tomoyuki Awazu,Osamu Komura,Yasushi Tsuzuki. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 1995-01-31.

Method of manufacturing silicon nitride objects

Номер патента: GB2065714A. Автор: . Владелец: Ford Motor Co Ltd. Дата публикации: 1981-07-01.

Method of making silicon nitride based cutting tools - i

Номер патента: CA1142334A. Автор: Andre Ezis. Владелец: Ford Motor Company of Canada Ltd. Дата публикации: 1983-03-08.

Process for producing silicon nitride

Номер патента: US4990471A. Автор: Sadashiv Nadkarni,Mukesh K. Jain. Владелец: Alcan International Ltd Canada. Дата публикации: 1991-02-05.

Method for producing powder of α-silicon nitride

Номер патента: US4368180A. Автор: Hiroshi Inoue,Akihiko Tsuge,Katsutoshi Komeya. Владелец: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd. Дата публикации: 1983-01-11.

A1n coated silicon nitride-based cutting tools

Номер патента: CA1333242C. Автор: Charles D'angelo,Vinod K. Sarin. Владелец: Valenite LLC. Дата публикации: 1994-11-29.

Coated composite silicon nitride cutting tools

Номер патента: US4441894A. Автор: Sergej-Tomislav Buljan,Vinod K. Sarin. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1984-04-10.

Sintered silicon nitride base ceramic and said ceramic

Номер патента: US4025351A. Автор: Hideyuki Masaki. Владелец: Toyota Central R&D Labs Inc. Дата публикации: 1977-05-24.

Process for making a homogeneous doped silicon nitride article

Номер патента: CA1273185A. Автор: Sophia R. Su,Sheldon Lieberman,Elizabeth Trickett. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1990-08-28.

Silicon nitride reinforced with molybdenum disilicide

Номер патента: US5064789A. Автор: John J. Petrovic,Richard E. Honnell. Владелец: US Department of Energy. Дата публикации: 1991-11-12.

Silicon nitride-alumina composite ceramics and producing method thereof

Номер патента: US4845061A. Автор: Kazuhiro Inoguchi,Naochika Nunogaki,Novuei Ito,Tetsuo Toyama. Владелец: Nippon Soken Inc. Дата публикации: 1989-07-04.

Improvements in or relating to the manufacture of silicon nitride and oxynitride

Номер патента: GB1028977A. Автор: . Владелец: ERIC CAMPBELL SHEARS. Дата публикации: 1966-05-11.

Silicon nitride wear resistant member and method of manufacturing the member

Номер патента: US6784131B2. Автор: Michiyasu Komatsu,Hiroshi Komorita,Hiroki Tonai. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-08-31.

Self-reinforced silicon nitride ceramic body and a method of preparing the same

Номер патента: CA2049204A1. Автор: Aleksander J. Pyzik,Barbara M. Pyzik. Владелец: Barbara M. Pyzik. Дата публикации: 1992-02-16.

Process for making silicon nitride cutting tool material

Номер патента: US6066582A. Автор: Marianne Collin,Magnus Ekelund. Владелец: Sandvik Ab. Дата публикации: 2000-05-23.

Process for producing silicon nitride sintered material

Номер патента: US5178809A. Автор: Akira Takahashi,Keiichiro Watanabe. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1993-01-12.

Method of making a silicon nitride part

Номер патента: CA1094892A. Автор: Andre Ezis,James C. Uy. Владелец: Ford Motor Company of Canada Ltd. Дата публикации: 1981-02-03.

Production of silicon nitride whiskers

Номер патента: GB998167A. Автор: Christopher Charles Evans. Владелец: TI Group Services Ltd. Дата публикации: 1965-07-14.

Hot pressed, high strength silicon nitride

Номер патента: US3830652A. Автор: G Gazza. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 1974-08-20.

Method for manufacture of silicon nitride

Номер патента: US4396587A. Автор: Isamu Iwami,Masami Yamaguchi,Yoshiharu Kitahama,Yoshirou Tajitsu. Владелец: Asahi Dow Ltd. Дата публикации: 1983-08-02.

Method for making sintered silicon nitride articles

Номер патента: US4462816A. Автор: Robert W. Wolfe,Joseph J. Cleveland. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1984-07-31.

Non-densified silicon nitride beta-phase material

Номер патента: US5405592A. Автор: Bohdan Lisowsky,James P. Edler. Владелец: Eaton Corp. Дата публикации: 1995-04-11.

Silicon nitride-zirconium silicate ceramics

Номер патента: US4069059A. Автор: William J. McDonough,Roy W. Rice. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 1978-01-17.

Silicon nitride based ceramics and method

Номер патента: US4603116A. Автор: Carr Lane W. Quackenbush,J. Thomas Smith,Anthony P. Moschetti,Helmut Lingertat. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1986-07-29.

Continuous process for the preparation of silicon nitride by carbonitriding and silicon nitride obtained thereby

Номер патента: IL104435A. Автор: . Владелец: Atochem Elf Sa. Дата публикации: 1996-11-14.

Silicon nitride sintered members

Номер патента: US4940680A. Автор: Tomonori Takahashi. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1990-07-10.

Polycrystalline sintered articles based on silicon nitride and sintering additives

Номер патента: US4814301A. Автор: Alfred Lipp,Detlef Steinmann. Владелец: Elektroschmelzwerk Kempten GmbH. Дата публикации: 1989-03-21.

Tool comprised of a silicon nitride sintered body

Номер патента: US5171723A. Автор: Toshio Nomura,Hideki Moriguchi,Mitsunori Kobayashi. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 1992-12-15.

Silicon nitride sintered bodies and process for manufacturing the same

Номер патента: US4795724A. Автор: Tomonori Takahashi,Takao Soma. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1989-01-03.

Method for manufacturing an object of silicon nitride

Номер патента: US4256688A. Автор: Jan Nilsson,Hans Larker,Jan Adlerborn. Владелец: ASEA AB. Дата публикации: 1981-03-17.

Improvements in or relating to the Production of Silicon Nitride Articles

Номер патента: GB1168499A. Автор: Richard Alan Taylor. Владелец: Birmingham Small Arms Co Ltd. Дата публикации: 1969-10-29.

Method for manufacturing a sintered body of silicon nitride

Номер патента: US4971740A. Автор: Takeshi Kawashima,Hiroaki Nishio. Владелец: Nippon Kokan Ltd. Дата публикации: 1990-11-20.

Process for producing silicon nitride sliding member

Номер патента: US5961907A. Автор: Takashi Matsuura,Akira Yamakawa,Takao Nishioka,Masamichi Yamagiwa. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 1999-10-05.

Sintering of silicon nitride to high density

Номер патента: US4379110A. Автор: Svante Prochazka,Charles D. Greskovich,John A. Palm. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1983-04-05.

Method of making a densified silicon nitride/oxynitride composite

Номер патента: US4496503A. Автор: Elaine C. Beckwith,Andre Ezis,Howard D. Blair. Владелец: Ford Motor Co. Дата публикации: 1985-01-29.

Production of silicon nitride material components

Номер патента: US3819786A. Автор: E May. Владелец: National Research Development Corp UK. Дата публикации: 1974-06-25.

Abrasion resistant articles based on silicon nitride

Номер патента: CA1155874A. Автор: Sergej-Tomislav Buljan,Vinod K. Sarin. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1983-10-25.

Silicon nitride ceramics

Номер патента: GB2169594A. Автор: Isao Ikeda,Hiroyasu Ohta. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1986-07-16.

Method of joining a pair of silicon nitride parts

Номер патента: US3881904A. Автор: Roger Francis Stokes,Brian John Hunt. Владелец: Lucas Industries Ltd. Дата публикации: 1975-05-06.

Protection of silicon nitride artefacts

Номер патента: GB1510310A. Автор: . Владелец: UK Atomic Energy Authority. Дата публикации: 1978-05-10.

Silicon nitride sintered bodies and a method of producing the same

Номер патента: US4818733A. Автор: Tomonori Takahashi,Masahiro Shirai. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1989-04-04.

Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride

Номер патента: WO2013003830A3. Автор: Guan Wang,Vimal K. Pujari,Yves Boussant-Roux. Владелец: SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC.. Дата публикации: 2013-04-11.

Synthesis of silicon nitride

Номер патента: CA1192377A. Автор: Kunihiko Terase,Hitoshi Kijimuta,Kimihiko Sato. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 1985-08-27.

Silicon nitride whiskers

Номер патента: GB2178417A. Автор: Haruo Teranishi,Hiroshi Ichikawa,Toshikatsu Ishikawa,Shiro Mitsuno. Владелец: Nippon Carbon Co Ltd. Дата публикации: 1987-02-11.

Fiber-reinforced silicon nitride ceramics

Номер патента: CA1302059C. Автор: Normand D. Corbin,Stephen D. Hartline,George A. Rossetti, Jr.. Владелец: Norton Co. Дата публикации: 1992-06-02.

Method for manufacturing an object of silicon nitride

Номер патента: CA1133683A. Автор: Jan Nilsson,Hans Larker,Jan Adlerborn. Владелец: ASEA AB. Дата публикации: 1982-10-19.

Fiber-reinforced silicon nitride ceramic

Номер патента: US5187127A. Автор: Yasuhiro Goto,Takeyuki Yonezawa,Yoshiyuki Ohnuma,Jen Ando. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1993-02-16.

Method of densifying an article formed of reaction bonded silicon nitride

Номер патента: US4356136A. Автор: John A. Mangels. Владелец: Ford Motor Co. Дата публикации: 1982-10-26.

Sintered self-reinforced silicon nitride

Номер патента: US5312785A. Автор: Aleksander J. Pyzik,Harold E. Rossow. Владелец: Dow Chemical Co. Дата публикации: 1994-05-17.

Improvements relating to silicon nitride

Номер патента: GB1117788A. Автор: John Martin Herbert,Gerald George Deeley. Владелец: Plessey UK Ltd. Дата публикации: 1968-06-26.

Process for making a homogeneous doped silicon nitride article

Номер патента: US4814128A. Автор: Sophia R. Su,Sheldon Lieberman,Elizabeth Trickett. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1989-03-21.

Silicon nitride ceramic having devitrified intergranular glass phase and a process for its preparation

Номер патента: US5128287A. Автор: Marcellus Peuckert. Владелец: Hoechst AG. Дата публикации: 1992-07-07.

Method of producing silicon-nitride-based sintered body

Номер патента: US5122486A. Автор: Masakazu Watanabe,Katsuhisa Yabuta,Tomohisa Kito. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 1992-06-16.

Transparent article having protective silicon nitride film

Номер патента: CA2189430C. Автор: Robert Bond,Roger P. Stanek,Wayne Hoffman. Владелец: Cardinal CG Co. Дата публикации: 2007-07-10.

Silicon nitride sintered body and method for preparing the same

Номер патента: CA1223013A. Автор: Mikio Fukuhara,Yoshitaka Maekawa. Владелец: Toshiba Tungaloy Co Ltd. Дата публикации: 1987-06-16.

Self-reinforced silicon nitride ceramic body and a method of preparing the same

Номер патента: US5091347A. Автор: Aleksander J. Pyzik,Barbara M. Pyzik. Владелец: Dow Chemical Co. Дата публикации: 1992-02-25.

Process for production of silicon nitride

Номер патента: CA1247326A. Автор: Haruo Teranishi,Hiroshi Ichikawa,Toshikatsu Ishikawa,Shiro Mitsuno. Владелец: Nippon Carbon Co Ltd. Дата публикации: 1988-12-28.

Method of manufacturing an object of silicon nitride

Номер патента: CA1091907A. Автор: Hans Larker,Jan Adlerborn. Владелец: ASEA AB. Дата публикации: 1980-12-23.

High density silicon nitride bodies

Номер патента: US4879080A. Автор: Martin Y. Hsieh. Владелец: GTE Products Corp. Дата публикации: 1989-11-07.

Process for the growth of alpha silicon nitride whiskers

Номер патента: US4604273A. Автор: Robin W. Munn,Samuel Natansohn,Robert A. Long,Gary Czupryna. Владелец: GTE Laboratories Inc. Дата публикации: 1986-08-05.

Composite powder comprising silicon nitride and silicon carbide

Номер патента: US5767025A. Автор: Hitoshi Toyoda,Yoshikatsu Higuchi,Kazumi Miyake,Kagehisa Hamazaki. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 1998-06-16.

Sintered silicon nitride and production method thereof

Номер патента: US5126294A. Автор: Akira Okada,Naoto Hirosaki. Владелец: Nissan Motor Co Ltd. Дата публикации: 1992-06-30.

Silicon nitride ceramic and cutting tool made thereof

Номер патента: CA2149658C. Автор: Pankaj Kumar Mehrotra,Robert David Nixon. Владелец: Kennametal Inc. Дата публикации: 2000-09-05.

Method of forming silicon nitride films

Номер патента: US20090087586A1. Автор: Toshiya Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2009-04-02.

Silicon nitride life prediction method

Номер патента: US4151740A. Автор: Peter H. Havstad. Владелец: Ford Motor Co. Дата публикации: 1979-05-01.

High-packing silicon nitride powder and method for making

Номер патента: US5348919A. Автор: Akio Otsuka,Meguru Kashida,Haruyoshi Kuwabara,Yasuyuki Maki. Владелец: Shin Etsu Chemical Co Ltd. Дата публикации: 1994-09-20.

Silicon nitride sintered product

Номер патента: CA1314293C. Автор: Kenji Nakanishi,Kazuhiro Urashima,Masakazu Watanabe,Yo Tajima. Владелец: NGK Spark Plug Co Ltd. Дата публикации: 1993-03-09.

Silicon nitride sintered body, rolling body using same, and bearing

Номер патента: EP4209472A1. Автор: Yasutake Hayakawa,Fumiya Nakamura. Владелец: NTN Toyo Bearing Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-12.

Method for manufacturing silicon nitride substrate and silicon nitride substrate manufactured thereby

Номер патента: EP4335834A1. Автор: Kyu Hwan Park,Hun Cheong. Владелец: Amotech Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-13.

Method for preparing silicon nitride powder for manufacturing substrate and silicon nitride powder prepared thereby

Номер патента: EP4310051A1. Автор: Kyu Hwan Park,Hun Cheong. Владелец: Amotech Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-24.

Silicon nitride waveguide based integrated photonics front-end chip for optical gyroscope

Номер патента: US20240068813A1. Автор: Mike Horton,Mario Paniccia. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Nanoporous silicon nitride membranes, and methods for making and using such membranes

Номер патента: US20180147336A1. Автор: Christopher C. Striemer,Jon-Paul DesOrmeaux. Владелец: SIMPORE Inc. Дата публикации: 2018-05-31.

Nanofluidic device with silicon nitride membrane

Номер патента: US11819847B2. Автор: David Collins,Joseph R. Johnson,Raghav SREENIVASAN,Roger Quon,Ryan Scott Smith,George ODLUM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-21.

Nanostructured Silicon Nitride Synthesis from Agriculture Waste

Номер патента: US20170362087A1. Автор: Syed B. Qadri,Bhakta B. Rath,Edward P. Gorzkowski, III. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2017-12-21.

Nanostructured Silicon Nitride Synthesis from Agriculture Waste

Номер патента: US20190169028A1. Автор: Syed B. Qadri,Bhakta B. Rath,Edward P. Gorzkowski, III. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2019-06-06.

Nanostructured silicon nitride synthesis from agriculture waste

Номер патента: US10239757B2. Автор: Syed B. Qadri,Bhakta B. Rath,Edward P. Gorzkowski, III. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2019-03-26.

Nanostructured silicon nitride synthesis from agriculture waste

Номер патента: US10662062B2. Автор: Syed B. Qadri,Bhakta B. Rath,Edward P. Gorzkowski, III. Владелец: US Department of Navy. Дата публикации: 2020-05-26.

Process flow with pre-biased mask and wet etching for smooth sidewalls in silicon nitride waveguides

Номер патента: US11782211B2. Автор: Avi Feshali. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2023-10-10.

Silicon nitride implants and coatings

Номер патента: US20200197565A1. Автор: Sean Suh,Jon Suh. Владелец: CTL Medical Corp. Дата публикации: 2020-06-25.

Silicon nitride sintered body, wear-resistant member, and method for manufacturing silicon nitride sintered body

Номер патента: EP4317107A1. Автор: Kazuya Ookubo. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-07.

Method for producing silicon nitride sinterned body

Номер патента: EP4317057A1. Автор: Satoru Wakamatsu,Dai Kusano,Kunihiro GOTOU. Владелец: Tokuyama Corp. Дата публикации: 2024-02-07.

Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in mems manufacture

Номер патента: WO2007084317A2. Автор: Teruo Sasagawa,Wonsuk Chung,Steve Zee. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2007-07-26.

Silicon nitride waveguide based integrated photonics front-end chip for optical gyroscope

Номер патента: WO2024043955A1. Автор: Mike Horton,Mario Paniccia. Владелец: Anello Photonics, Inc.. Дата публикации: 2024-02-29.

Silicon nitride sintered body, rolling element using the same, and bearing

Номер патента: US20230303454A1. Автор: Yasutake Hayakawa,Fumiya Nakamura. Владелец: NTN Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Method for manufacturing silicon nitride substrate

Номер патента: EP4032700A1. Автор: Seung Yeon Lee,Eun Ok Chi,Seunggwan LEE. Владелец: OCI Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-27.

Synthesis method of silicon nitride powder and sintered body

Номер патента: US20230339755A1. Автор: In Chul CHO. Владелец: ZONE INFINITY CO Ltd. Дата публикации: 2023-10-26.

Silicon nitride based crucible

Номер патента: SG181418A1. Автор: Haavard Soerheim,Arve Solheim,De Schootbrugge Egbert Van. Владелец: Saint Gobain Ind Keramik Roedental Gmbh. Дата публикации: 2012-07-30.

Silicon nitride based crucible

Номер патента: US20120275983A1. Автор: Arve Solheim,Havard Sorheim,Egbert Van De Schootbrugge. Владелец: Saint Gobain IndustrieKeramik Roedental GmbH. Дата публикации: 2012-11-01.

Method for continuously producing silicon nitride sintered compact

Номер патента: US20230357087A1. Автор: Dai Kusano. Владелец: Tokuyama Corp. Дата публикации: 2023-11-09.

Chemical vapor deposition of silicon nitride using a remote plasma

Номер патента: WO2024102586A1. Автор: Andrew J. McKerrow,Shane Tang,Gopinath Bhimarasetti. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-05-16.

Nanofluidic device with silicon nitride membrane

Номер патента: EP4182087A1. Автор: David Collins,Joseph R. Johnson,Raghav SREENIVASAN,Roger Quon,Ryan Scott Smith,George ODLUM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-05-24.

Polarization splitter-rotator having silicon based waveguide with silicon nitride segment

Номер патента: US11940572B2. Автор: Bing Shen,Pradeep Srinivasan,Brett E. Huff,Kevin MASUDA. Владелец: Aeva Inc. Дата публикации: 2024-03-26.

Polarization splitter-rotator having silicon based waveguide with silicon nitride segment

Номер патента: US20220196813A1. Автор: Bing Shen,Pradeep Srinivasan,Brett E. Huff,Kevin MASUDA. Владелец: Aeva Inc. Дата публикации: 2022-06-23.

Dense silicon nitride body having high strength, high weibull modulus and high fracture toughness

Номер патента: WO2011142789A2. Автор: Biljana Mikijelj. Владелец: CERADYNE, INC.. Дата публикации: 2011-11-17.

Silicon nitride cutting tool

Номер патента: US8496718B2. Автор: Takashi Watanabe,Shuichi Tateno,Tatsuyuki Nakaoka,Hiroshi Yoshimitsu,Takero Fukudome. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2013-07-30.

Silicon nitride wear resistant member and method for producing silicon nitride sintered compact

Номер патента: US20160137556A1. Автор: Haruhiko Yamaguti. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-19.

Process flow with wet etching for smooth sidewalls in silicon nitride waveguides

Номер патента: EP4214796A1. Автор: Avi Feshali. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2023-07-26.

Method for preparing bactericidal film having silicon nitride binding layer on plastic

Номер патента: US20210180177A1. Автор: Fook Chi Mak. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-06-17.

Method of manufacturing silicon nitride whiskers

Номер патента: US5334565A. Автор: Masao Noguchi,Yusaku Takita,Tatsumi Ishihara,Yukako Mizuhara. Владелец: Ohita Gas Co Ltd. Дата публикации: 1994-08-02.

Process flow with pre-biased mask and wet etching for smooth sidewalls in silicon nitride waveguides

Номер патента: WO2024129761A1. Автор: Avi Feshali. Владелец: Anello Photonics, Inc.. Дата публикации: 2024-06-20.

Silicon nitride ceramic heating and ignition device for granular fuel barbecue oven

Номер патента: US20230165403A1. Автор: Shirong Zhu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-06-01.

Silicon nitride sintered body, machine part, and bearing

Номер патента: EP4397643A1. Автор: Yuta Ito,Yasutake Hayakawa. Владелец: NTN Toyo Bearing Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Silicon nitride porous body and its production process

Номер патента: EP1167321A3. Автор: Nobuhiro Shinohara,Kanji Arai,Naomichi Miyakawa. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2002-03-13.

Silicon-nitride-containing thermal chemical vapor deposition coating

Номер патента: US20170167015A1. Автор: David A. Smith,Min YUAN,James B. Mattzela. Владелец: Silcotek Corp. Дата публикации: 2017-06-15.

Dense silicon nitride body having high strength, high weibull modulus and high fracture toughness

Номер патента: EP2526076A2. Автор: Biljana Mikijelj. Владелец: Ceradyne Inc. Дата публикации: 2012-11-28.

Silicon nitride containers for sintering silicon nitride

Номер патента: WO1992001898A1. Автор: James P. Edler. Владелец: EATON CORPORATION. Дата публикации: 1992-02-06.

Low Temperature Fabrication of Silicon Nitride Photonic Devices

Номер патента: US20240210625A1. Автор: Jiawei Wang,Daniel J. Blumenthal,Debapam Bose. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2024-06-27.

Method for preparing bactericidal film having silicon nitride binding layer on glass and ceramics

Номер патента: US20210180176A1. Автор: Fook Chi Mak. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-06-17.

Silicon nitride implants and coatings

Номер патента: US11957812B2. Автор: Sean Suh,Jon Suh. Владелец: CTL Medical Corp. Дата публикации: 2024-04-16.

Methods for laser coating of silicon nitride on a metal substrate

Номер патента: US20210331274A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2021-10-28.

Methods of silicon nitride laser cladding

Номер патента: AU2021259477A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2022-11-10.

Methods of silicon nitride laser cladding

Номер патента: EP4138942A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Methods of silicon nitride laser cladding

Номер патента: US20210330860A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2021-10-28.

Methods of silicon nitride laser cladding

Номер патента: WO2021216872A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies, Inc.. Дата публикации: 2021-10-28.

Process flow with wet etching for smooth sidewalls in silicon nitride waveguides

Номер патента: US20220082756A1. Автор: Avi Feshali. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2022-03-17.

Method for manufacturing silicon nitride substrate and silicon nitride substrate manufactured thereby

Номер патента: US20240116822A1. Автор: Kyu Hwan Park,Hun Cheong. Владелец: Amotech Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Drilled silicon nitride ball

Номер патента: US20030084584A1. Автор: Mark Osterstock. Владелец: Q-MARK MANUFACTURING Inc. Дата публикации: 2003-05-08.

New gel-coat additivated with titanium dioxide and alumina particles

Номер патента: US20200199399A1. Автор: Miguel Peragon Ortega,Francisco de Borja Dia Cabezas. Владелец: Liderkit SL. Дата публикации: 2020-06-25.

Method of forming silicon nitride film

Номер патента: US20240240307A1. Автор: Yoshiki Nakano,Takafumi Nogami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Zirconia-coated silicon nitride sintered member

Номер патента: US4816349A. Автор: Tomonori Takahashi,Minoru Matsui. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 1989-03-28.

Porous silicon nitride article and method for production thereof

Номер патента: EP1298111A4. Автор: Shinji Kawasaki,Hiroaki Sakai,Kenji Morimoto,Katsuhiro Inoue,Masaaki Masuda. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2007-02-14.

Ceramic phase in silicon nitride containing cerium

Номер патента: WO1992001647A1. Автор: Bohdan Lisowsky,James P. Edler. Владелец: EATON CORPORATION. Дата публикации: 1992-02-06.

Multi-layer silicon nitride waveguide based integrated photonics optical gyroscope chip

Номер патента: EP4058753A1. Автор: Mario Paniccia. Владелец: Anello Photonics Inc. Дата публикации: 2022-09-21.

Silicon nitride/silicon carbide nano-nano composites

Номер патента: US20040179969A1. Автор: Julin Wan,Amiya Mukherjee,Matthew Gasch. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2004-09-16.

Silicon nitride vacuum furnace process

Номер патента: AU622092B2. Автор: Stephen D. Hartline,Normand P. Arsenault,Craig A. Willkins. Владелец: Norton Co. Дата публикации: 1992-03-26.

Silicon nitride implants and coatings

Номер патента: US20240252717A1. Автор: Sean Suh,Jon Suh. Владелец: CTL Medical Corp. Дата публикации: 2024-08-01.

Methods for manufacturing silicon nitride materials

Номер патента: US20230093682A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal,Clayton Ashcroft. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2023-03-23.

Methods for laser coating of silicon nitride on a metal substrate

Номер патента: EP4138939A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2023-03-01.

Methods for laser coating of silicon nitride on a metal substrate

Номер патента: WO2021217089A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies, Inc.. Дата публикации: 2021-10-28.

Methods for laser coating of silicon nitride on a metal substrate

Номер патента: CA3175652A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-10-28.

Methods for laser coating of silicon nitride on a metal substrate

Номер патента: AU2021259641A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2022-11-10.

High strength silicon nitride

Номер патента: WO1989008625A1. Автор: Hun C. Yeh. Владелец: Allied-Signal Inc.. Дата публикации: 1989-09-21.

Conductive silicon nitride composite sintered body and a process for the production thereof

Номер патента: US20030155555A1. Автор: Masashi Yoshimura. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2003-08-21.

Process for the production of mouldings from materials based on silicon nitride

Номер патента: WO1982004245A1. Автор: Robert Pompe. Владелец: Robert Pompe. Дата публикации: 1982-12-09.

Insulating glass (ig) window unit including heat treatable coating with silicon-rich silicon nitride layer

Номер патента: WO2003078346A9. Автор: Philip J Lingle. Владелец: Guardian Industries. Дата публикации: 2004-04-22.

Method for the deposition of silicon nitride

Номер патента: US20050118336A1. Автор: Henry Bernhardt,Michael Stadtmueller,Dietmar Ottenwaelder,Anja Morgenschweis. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2005-06-02.

Substituted silicon nitride products and method of production thereof

Номер патента: WO1994017010A1. Автор: Derek Parr Thompson,Hassan Mandal,Yi Bing Cheng. Владелец: Cookson Group Public Limited Company. Дата публикации: 1994-08-04.

Silicon nitride body having high as-fired surface strength

Номер патента: WO1996032359A1. Автор: Chien-Wei Li,Jean Yamanis,Mohammad Behi. Владелец: Alliedsignal Inc.. Дата публикации: 1996-10-17.

Electroconductive silicon nitride based composite sintered body and method for preparation thereof

Номер патента: US20040046153A1. Автор: Masashi Yoshimura. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2004-03-11.

Polarization splitter-rotator having silicon based waveguide with silicon nitride segment

Номер патента: US20240241237A1. Автор: Bing Shen,Pradeep Srinivasan,Brett E. Huff,Kevin MASUDA. Владелец: Aeva Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Methods for manufacturing silicon nitride materials

Номер патента: WO2023049804A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal,Clayton Ashcroft. Владелец: Sintx Technologies, Inc.. Дата публикации: 2023-03-30.

Methods for manufacturing silicon nitride materials

Номер патента: EP4404875A1. Автор: Bryan J. McEntire,Ryan M. Bock,Bhajanjit Singh Bal,Clayton Ashcroft. Владелец: Sintx Technologies Inc. Дата публикации: 2024-07-31.

Electroconductive silicon nitride based composite sintered body and method for preparation thereof

Номер патента: EP1361202A4. Автор: Masashi Yoshimura. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2004-07-28.

Silicon nitride powder

Номер патента: EP4455078A1. Автор: Hideaki Kawai,Ryuji Ishimoto. Владелец: Tokuyama Corp. Дата публикации: 2024-10-30.

Composition and method for selectively etching silicon nitride

Номер патента: US20240309272A1. Автор: WonLae KIM,SeongJin Hong,Jinwook Jeong,Juhee YEO,Younghun Park,Yeonhui Kang. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2024-09-19.

Composition and method for selectively etching silicon nitride

Номер патента: WO2024192414A1. Автор: WonLae KIM,SeongJin Hong,Jinwook Jeong,Juhee YEO,Younghun Park,Yeonhui Kang. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2024-09-19.

Method of producing sintered silicon nitrides

Номер патента: US5394015A. Автор: Akira Yamakawa,Tomoyuki Awazu,Yasushi Tsuzuki. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 1995-02-28.

Silicon nitride-carbon nanotube-graphene nanocomposite microbolometer IR detector

Номер патента: US09851257B1. Автор: Ashok K. Sood,Elwood J. Egerton. Владелец: Magnolia Optical Technologies Inc. Дата публикации: 2017-12-26.

Nanoporous silicon nitride membranes, and methods for making and using such membranes

Номер патента: US09789239B2. Автор: Christopher C. Striemer,Jon-Paul DesOrmeaux. Владелец: SIMPORE Inc. Дата публикации: 2017-10-17.

Silicon nitride wear resistant member and method for producing silicon nitride sintered compact

Номер патента: US09663407B2. Автор: Haruhiko Yamaguti. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-30.

Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride

Номер патента: US09598620B2. Автор: Guan Wang,Vimal K. Pujari,Yves Boussant-Roux. Владелец: Saint Gobain Ceramics and Plastics Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Broadband silicon nitride polarization beam splitter

Номер патента: US09547127B1. Автор: Masaki Kato,Jie Lin. Владелец: Inphi Corp. Дата публикации: 2017-01-17.

Silicon nitride sintered body and wear resistant member using the same

Номер патента: US09440887B2. Автор: Katsuyuki Aoki,Michiyasu Komatsu,Kai Funaki,Haruhiko Yamaguti. Владелец: Toshiba Materials Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-13.

Verification by replaceable printer components

Номер патента: US20210064312A1. Автор: Bartley Mark Hirst,Paul L. Jeran,James Michael MAGDICH. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2021-03-04.

Verification by replaceable printer components

Номер патента: EP3652666A1. Автор: Bartley Mark Hirst,Paul L Jeran,James Michael MAGDICH. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2020-05-20.

Apparatus for correcting faulty pixel signals by replacing the faulty pixel signals with normal pixel signals

Номер патента: US5392070A. Автор: Yoshitaka Egawa,Yukio Endo. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1995-02-21.

Sports equipment comprising diffused titanium nitride

Номер патента: US20080213619A1. Автор: Philos Jongho Ko,Bongsub Samuel Ko. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-09-04.

Formation of titanium nitride or zirconium nitride coatings

Номер патента: AU6408486A. Автор: Jiinjen Albert Sue,Harden Henry Troue. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1987-04-24.

Sports equipment comprising diffused titanium nitride

Номер патента: US20140141272A1. Автор: Philos Jongho Ko,Bongsub Samuel Ko. Владелец: Individual. Дата публикации: 2014-05-22.

Method for generating a preferred image by replacing a region of a base image

Номер патента: US20160225127A1. Автор: JIN Wang,Yanqing Lu. Владелец: Multimedia Image Solution Ltd. Дата публикации: 2016-08-04.

Data reduction by replacement of repeating pattern with single instance

Номер патента: US20210132836A1. Автор: Amitai Alkalay,Uri Shabi. Владелец: EMC IP Holding Co LLC. Дата публикации: 2021-05-06.

Method for generating a preferred image by replacing a region of a base image

Номер патента: US09489727B2. Автор: JIN Wang,Yanqing Lu. Владелец: Multimedia Image Solution Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

METHOD FOR PREPARING TITANIUM NITRIDE-TITANIUM DIBORIDE-CUBIC BORON NITRIDE COMPOSITE MATERIAL

Номер патента: US20160297713A1. Автор: Wu Yuping,ZHANG Jianfeng,Guo Wenmin,Hong Sheng. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-13.

Method for preparing titanium nitride-titanium diboride-cubic boron nitride composite

Номер патента: KR101821220B1. Автор: 지엔펑 장,위핑 우,성 홍,원민 궈. Владелец: 허하이 대학교. Дата публикации: 2018-01-23.

Method for preparing titanium nitride-titanium diboride-cubic boron nitride composite

Номер патента: GB201609493D0. Автор: . Владелец: Hohai University HHU. Дата публикации: 2016-07-13.

Method for chemical vapor deposition of titanium nitride films at low temperatures

Номер патента: US5378501A. Автор: Robert F. Foster,Joseph T. Hillman. Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 1995-01-03.

Method of repairing an internal combustion engine by replacing the crank-shaft thereof

Номер патента: GB1520913A. Автор: . Владелец: Individual. Дата публикации: 1978-08-09.

Nickel-molybdenum bonded titanium nitride-titanium carbide compositions

Номер патента: IL35674A0. Автор: . Владелец: Du Pont. Дата публикации: 1971-01-28.

Nickel-molybdenum bonded titanium nitride-titanium carbide

Номер патента: ZA707873B. Автор: H Bergna. Владелец: Du Pont. Дата публикации: 1971-09-29.

Nickel-molybdenum bonded titanium nitride-titanium carbide compositions

Номер патента: IL35674A. Автор: . Владелец: Du Pont. Дата публикации: 1973-02-28.

Aluminum titanium nitride coating and method of making same

Номер патента: EP2483437A4. Автор: Yixiong Liu,Wangyang Ni,Ronald M Penich,Michael F Beblo. Владелец: Kennametal Inc. Дата публикации: 2014-04-09.

Titanium nitride dispersion strengthened alloys

Номер патента: GB2156863B. Автор: Eric George Wilson,Andrew Mark Wilson. Владелец: UK Atomic Energy Authority. Дата публикации: 1987-08-19.

Titanium nitride dispersion strengthened alloys

Номер патента: GB8506967D0. Автор: . Владелец: UK Atomic Energy Authority. Дата публикации: 1985-04-24.

Removing titanium nitride film

Номер патента: GB8323278D0. Автор: . Владелец: Citizen Watch Co Ltd. Дата публикации: 1983-10-05.

Method for removing a titanium nitride film

Номер патента: HK88190A. Автор: Tsutomu Noguchi,Kenji Hanai,Toshimitsu Shirota,Yoshiyuki Nohara. Владелец: Citizen Watch Co Ltd. Дата публикации: 1990-11-02.

Method for smelting titanium-silicon alloy by reducing titanium-containing blast furnace slag with silicon

Номер патента: CN115896494A. Автор: 丁满堂. Владелец: Panzhihua University. Дата публикации: 2023-04-04.

Reducing the susceptibility of titanium nitride optical layers to crack

Номер патента: EP1546771A4. Автор: Yisheng Dai,Floyd E Woodard. Владелец: Huper Optik International Pte Ltd. Дата публикации: 2009-11-11.

HEAT-TREATABLE COATED ARTICLE HAVING TITANIUM NITRIDE-BASED IR REFLECTIVE LAYER (S)

Номер патента: BR112019013879A2. Автор: Lu Yiwei,TUCKER Patricia,J. Lingle Philip. Владелец: GUARDIAN GLASS, LLC. Дата публикации: 2020-03-03.

Photocatalytic glazing comprising a layer based on titanium nitride

Номер патента: FR3105211A1. Автор: Vincent Reymond,Laura Jane Singh. Владелец: Compagnie de Saint Gobain SA. Дата публикации: 2021-06-25.

Cubic aluminum titanium nitride coating and method of making same

Номер патента: CN102653148A. Автор: 倪旺阳,刘一雄,班志刚,R·M·潘尼克. Владелец: Kennametal Inc. Дата публикации: 2012-09-05.

Dual titanium nitride layers for solar control

Номер патента: WO2000026704A1. Автор: Floyd Eugene Woodard,Yisheng Dai. Владелец: GMX ASSOCIATES Pte Ltd. Дата публикации: 2000-05-11.

COMPOSITION FOR AND METHOD OF SUPPRESSING TITANIUM NITRIDE CORROSION

Номер патента: US20130303420A1. Автор: Cooper Emanuel I.,Payne Makonnen,Totir George Gabriel. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-14.

METHOD FOR WELDING A TITANIUM COMPONENT WITH A TITANIUM NITRIDE COATING

Номер патента: US20220001481A1. Автор: Zhao Hailiang. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-06.

COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY ETCHING TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20160032186A1. Автор: Hsu Chia-Jung,Lippy Steven,WANG Chieh Ju,Cooper Emanuel I.,Tu Sheng-hung,Song Lingyan,Chen Li-Min. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

USE OF TITANIUM NITRIDE AS AN ELECTRODE IN NON-FARADAIC ELECTROCHEMICAL CELL

Номер патента: US20170037467A1. Автор: Foster John,Komadina Jason. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-09.

SPORTS EQUIPMENT COMPRISING DIFFUSED TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20140141272A1. Автор: Ko Philos Jongho,Ko Bongsub Samuel. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-22.

COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY ETCHING TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20160130500A1. Автор: Lippy Steven,Song Lingyan,Chen Li-Min,Cooper Emanuel I. Владелец: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.. Дата публикации: 2016-05-12.

COMPOSITION AND PROCESS FOR STRIPPING PHOTORESIST FROM A SURFACE INCLUDING TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20150168843A1. Автор: Owens Michael,Cooper Emanuel I.,Conner Marc. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2015-06-18.

USE OF TITANIUM NITRIDE AS AN ELECTRODE IN NON-FARADAIC ELECTROCHEMICAL CELL

Номер патента: US20190161795A1. Автор: Foster John,Komadina Jason. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-30.

HEAT TREATABLE COATED ARTICLE HAVING TITANIUM NITRIDE BASED IR REFLECTING LAYER(S)

Номер патента: US20180186691A1. Автор: Lu Yiwei,LINGLE Philip J.,TUCKER Patricia. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

HEAT TREATABLE COATED ARTICLE HAVING TITANIUM NITRIDE AND NICKEL CHROME BASED IR REFLECTING LAYERS

Номер патента: US20180187477A1. Автор: Lu Yiwei,LINGLE Philip J.,TUCKER Patricia. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

HEAT TREATABLE COATED ARTICLE HAVING TITANIUM NITRIDE AND NICKEL CHROME BASED IR REFLECTING LAYERS

Номер патента: US20190186194A1. Автор: Lu Yiwei,LINGLE Philip J.,TUCKER Patricia. Владелец: . Дата публикации: 2019-06-20.

COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVELY ETCHING TITANIUM NITRIDE

Номер патента: US20160200975A1. Автор: Hsu Chia-Jung,Lippy Steven,WANG Chieh Ju,Tu Sheng-hung,Chen Li-Min,COOPER Enamuel I.. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-14.

USE OF TITANIUM NITRIDE AS A COUNTER ELECTRODE

Номер патента: US20170212079A1. Автор: Foster John,Yuan Robert A.,Wójtowicz Janusz B.,Wallgren Markus,Komadina Jason. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-27.

Titanium Nitride for MEMS Bolometers

Номер патента: US20160223404A1. Автор: Feyh Ando,Yama Gary,"OBrien Gary",Purkl Fabian,Samarao Ashwin K.. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2016-08-04.

HEAT-TREATED TITANIUM NITRIDE FILM AND METHOD OF MANUFACTURE

Номер патента: US20160223713A1. Автор: Chan Kin Sheng Ken,Wang Peng Jun Albert. Владелец: CPFILMS INC.. Дата публикации: 2016-08-04.

TITANIUM NITRIDE-REINFORCED ZIRCONIA TOUGHENED ALUMINA CERAMIC POWDER AND PREPARATION METHOD THEREOF

Номер патента: US20200308057A1. Автор: Chen Chao,LIN Feng,Xie Zhigang,Chen Jiarong,MO Peicheng. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-01.

Method of forming titanium nitride powders

Номер патента: KR100959931B1. Автор: 이승철,김동익,김지우,정우상,심재혁,조영환. Владелец: 한국과학기술연구원. Дата публикации: 2010-05-26.

SILICON NITRIDE LIGHT PIPES FOR IMAGE SENSORS

Номер патента: US20120001284A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Lead acid battery with titanium core grids and cabon based grids

Номер патента: US20120003509A1. Автор: Gerber Eliot. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Hot pressing of silicon nitride using magnesium silicide

Номер патента: CA1096893A. Автор: Charles D. Greskovich,Chester R. O'Clair. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1981-03-03.

Coarse reaction bonded silicon nitride

Номер патента: WO1995008519B1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1995-06-08.

Inkjet printhead with titanium aluminium alloy heater

Номер патента: SG187485A1. Автор: Angus John North,Jennifer Mia Fishburn,C S Lakshmi. Владелец: Silverbrook Res Pty Ltd. Дата публикации: 2013-02-28.

Method for forming titanium nitride layer with low resistance by multiple plasma processing

Номер патента: TW419747B. Автор: Jen-Hua Yu,Shiau-Lin Suei. Владелец: Taiwan Semiconductor Mfg. Дата публикации: 2001-01-21.

METHOD OF FORMING TITANIUM NITRIDE FILM, APPARATUS FOR FORMING TITANIUM NITRIDE FILM, AND PROGRAM

Номер патента: US20120219710A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-08-30.

Titania nitriding process for preparing nanometer titanium nitride powder

Номер патента: CN1312218A. Автор: 孙静,张青红,高濂,李景国. Владелец: Shanghai Institute of Ceramics of CAS. Дата публикации: 2001-09-12.

Production of sintered body of cubic boron nitride combining alumina and titanium nitride

Номер патента: JPS59153851A. Автор: Tatsuro Kuratomi,倉富 龍郎. Владелец: Individual. Дата публикации: 1984-09-01.

Silicon nitride-titanium nitride composite ceramics and method for producing the same

Номер патента: JP2658944B2. Автор: 裕一 沢井,素之 宮田,義幸 安富,恒行 金井. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1997-09-30.

Titanium nitride deposition for reducing the aluminum-copper loss in via etching process

Номер патента: TW401462B. Автор: Chuen-Ming Liou,Jian-Jung Wang,Tzung-Jie Liou. Владелец: Taiwan Semiconductor Mfg. Дата публикации: 2000-08-11.

Method for forming a titanium nitride layer

Номер патента: TW200607880A. Автор: Ching-Hua Chen. Владелец: Powerchip Semiconductor Corp. Дата публикации: 2006-03-01.

Preparation of titanium nitride

Номер патента: CA543990A. Автор: E. Jacobsen Arthur. Владелец: NL Industries Inc. Дата публикации: 1957-07-23.

Titanium nitride refractory compositions

Номер патента: CA734027A. Автор: Colton Ervin. Владелец: Allis Chalmers Corp. Дата публикации: 1966-05-10.

Titanium nitride electrode for electrolytic reduction

Номер патента: JPS56136988A. Автор: Hiroshi Miura,Tadashi Iwai,Yoshiharu Matsuda,Hisayuki Mizuno. Владелец: UBE Industries Ltd. Дата публикации: 1981-10-26.

Method for reducing chlorine content in titanium nitride layer

Номер патента: TW441001B. Автор: Jiun-Rung Jang,Shr-Jung Jang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-06-16.

Titanium nitride electrolytic condenser

Номер патента: CA584476A. Автор: H. Cornish Eric. Владелец: International Standard Electric Corp. Дата публикации: 1959-10-06.

Titanium nitride and improved process for preparation of same

Номер патента: CA543991A. Автор: J. Cacciotti Joseph. Владелец: NL Industries Inc. Дата публикации: 1957-07-23.

Method of fabricating a titanium nitride layer

Номер патента: TWI222109B. Автор: Yu-Piao Wang. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2004-10-11.

Formation method of titanium nitride

Номер патента: TW471030B. Автор: Lung-Shan Lai,Kuen-Sz Shiu. Владелец: United Microelectronics Corp. Дата публикации: 2002-01-01.

Preparation method of barium titanate film on titanium nitride

Номер патента: TW200801245A. Автор: Fu-Hsing Lu,shu-jun Xu,You-Zhi Jie. Владелец: Nat Univ Chung Hsing. Дата публикации: 2008-01-01.

Formation of thin titanium nitride film

Номер патента: JPS61190064A. Автор: Yasuo Suzuki,Kiyoshi Ogata,Yasunori Ando,潔 緒方,靖典 安東,泰雄 鈴木. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 1986-08-23.

Boron nitride base evaporation vessel having a surface coating of titanium-silicon thereon

Номер патента: CA874350A. Автор: C. Montgomery Lionel. Владелец: Union Carbide Corp. Дата публикации: 1971-06-29.

TITANIUM NITRIDE FILMS

Номер патента: US20120056326A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-03-08.

Cubic Aluminum Titanium Nitride Coating and Method of Making Same

Номер патента: US20120201615A1. Автор: Ban Zhigang,Liu Yixiong,Ni Wangyang,Penich Ronald M.. Владелец: KENNAMETAL INC.. Дата публикации: 2012-08-09.

TRANSISTORS HAVING A GATE COMPRISING A TITANIUM NITRIDE LAYER AND METHOD FOR DEPOSITING THIS LAYER

Номер патента: US20130001708A1. Автор: Caubet Pierre,Baudot Sylvain. Владелец: . Дата публикации: 2013-01-03.

TITANIUM NITRIDE AS SENSING LAYER FOR MICROWELL STRUCTURE

Номер патента: US20130190211A1. Автор: REARICK Todd,Hinz Wolfgang,Bustillo James,Fife Keith. Владелец: LIFE TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2013-07-25.

Preparation of titanium nitride base hard sintered alloy for decorative parts

Номер патента: JPS569342A. Автор: Teruyoshi Tanase,Naohisa Ito. Владелец: Mitsubishi Metal Corp. Дата публикации: 1981-01-30.

Tough cermet containing titanium nitride

Номер патента: JPS5388609A. Автор: Hironori Yoshimura,Hidekazu Doi,Kenichi Nishigaki. Владелец: Mitsubishi Metal Corp. Дата публикации: 1978-08-04.

Preparation of titanium nitride base hard sintered alloy for decorative parts

Номер патента: JPS569343A. Автор: Teruyoshi Tanase,Naohisa Ito. Владелец: Mitsubishi Metal Corp. Дата публикации: 1981-01-30.