Polishing silica and silicon nitride on semiconductor, comprises planarizing silica with first aqueous composition, detecting end point and releasing with second aqueous composition
Номер патента: FR2880188A1
Опубликовано: 30-06-2006
Автор(ы): Andrew Scott Lawing, Brian L Mueller, Charles Yu, Sarah J Lane
Принадлежит: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc, Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-06-2006
Автор(ы): Andrew Scott Lawing, Brian L Mueller, Charles Yu, Sarah J Lane
Принадлежит: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc, Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Compositions and methods for polishing silicon nitride materials
Номер патента: MY150866A. Автор: Chen Zhan,Dysard Jeffrey,JOHNS Timothy,Anjur Sriram. Владелец: Cabot Microelectronics Corp. Дата публикации: 2014-03-14.