Metal halide gas generator for chemical vapor deposition apparatus, has O-ring seal provided between flange region of housing and base of generator
Номер патента: FR2829508A1
Опубликовано: 14-03-2003
Автор(ы): Andrew L Purvis, Bruce M Warnes, Daniel L Near
Принадлежит: Howmet Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-03-2003
Автор(ы): Andrew L Purvis, Bruce M Warnes, Daniel L Near
Принадлежит: Howmet Research Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Halide gas generator; chemical vapour deposition
Номер патента: GB2380493A. Автор: Bruce M Warnes,Andrew L Purvis,Daniel L Near. Владелец: Howmet Research Corp. Дата публикации: 2003-04-09.