Ion sources, systems and methods

14-06-2007 дата публикации

Номер:

WO2007067311A2

Автор: Billy W. Ward, Dirk Aderhold, John A. Notte, IV, Klaus Edinger, Lars Markwort, Louis S. Farkas Iii, Randall G. Percival, Raymond Hill, Ulrich Mantz

Принадлежит: ALIS CORPORATION

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/02 H01J2237/024 H01J2237/08 H01J2237/080 H01J2237/0807 H01J2237/2 H01J2237/20 H01J2237/202 H01J2237/2022 H01J2237/20228 H01J2237/2026 H01J2237/20264 H01J2237/25 H01J2237/256 H01J2237/2566 H01J2237/26 H01J2237/262 H01J2237/2623 H01J2237/28 H01J2237/281 H01J2237/2812 H01J2237/3 H01J2237/30 H01J2237/304 H01J2237/3043 H01J2237/30438 H01J2237/3047 H01J2237/30477 H01J2237/31 H01J2237/317 H01J2237/3173 H01J2237/31737 H01J2237/3174 H01J2237/3175 H01J2237/31755 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/0 H01J37/08 H01J37/2 H01J37/20 H01J37/25 H01J37/252 H01J37/28 H01J37/3 H01J37/30 H01J37/305 H01J37/3056 H01J37/31 H01J37/317 H01J37/3174 H01J9 H01J9/H01J9/0 H01J9/02 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/2 H01L21/26 H01L21/265 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/306 H01L21/3065

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J27 H01J27/H01J27/2 H01J27/22 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20 H01J37/28

Получить PDF