Adjustable self-aligned air gap dielectric for low capacitance wiring
Номер патента: US7071532B2
Опубликовано: 04-07-2006
Автор(ы): Robert M. Geffken, William T. Motsiff
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-07-2006
Автор(ы): Robert M. Geffken, William T. Motsiff
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Adjustable self-aligned air gap dielectric for low capacitance wiring
Номер патента: US20050067673A1. Автор: Robert Geffken,William Motsiff. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2005-03-31.