Method of Forming Self-Aligned Air-Gaps Using Self-Aligned Capping Layer over Interconnect Lines
Номер патента: US20070218677A1
Опубликовано: 20-09-2007
Автор(ы): Andreas Stich, Eugen Unger, Manfred Engelhardt
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG, Qimonda AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-09-2007
Автор(ы): Andreas Stich, Eugen Unger, Manfred Engelhardt
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG, Qimonda AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Microstructure device including a metallization structure with self-aligned air gaps between closely spaced metal lines
Номер патента: US20100133648A1. Автор: Markus Nopper,Axel Preusse,Robert Seidel. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2010-06-03.