形成自对准通孔的方法
Номер патента: CN109791913A
Опубликовано: 21-05-2019
Автор(ы): 戴维·汤普森, 本杰明·施密格, 杰弗里·W·安西斯, 段子晴, 苏米特·辛格·罗伊, 阿布海杰特·巴苏·马利克
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-05-2019
Автор(ы): 戴维·汤普森, 本杰明·施密格, 杰弗里·W·安西斯, 段子晴, 苏米特·辛格·罗伊, 阿布海杰特·巴苏·马利克
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods Of Forming Self-Aligned Vias
Номер патента: US20190385849A1. Автор: Chan Kelvin,Thompson David,Anthis Jeffrey W.,Gandikota Srinivas,Mallick Abhijit Basu,CHEN Yihong,Schmiege Benjamin,Duan Ziqing,Roy Susmit Singha. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-19.