Self-aligned SOI with different crystal orientation using WAFER bonding and SIMOX processes
Номер патента: US20050070077A1
Опубликовано: 31-03-2005
Автор(ы): Kathryn Guarini, Leathen Shi, Meikei Ieong, MIN Yang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-03-2005
Автор(ы): Kathryn Guarini, Leathen Shi, Meikei Ieong, MIN Yang
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Self-aligned SOI with different crystal orientation using wafer bonding and SIMOX processes
Номер патента: US6830962B1. Автор: MIN Yang,Leathen Shi,Meikei Ieong,Kathryn W. Guarini. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2004-12-14.