Siloxane resin-based anti-reflective coating compo
Номер патента: TWI359848B
Опубликовано: 11-03-2012
Автор(ы): Bianxiao Zhong, Eric S Moyer
Принадлежит: Dow Corning
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-03-2012
Автор(ы): Bianxiao Zhong, Eric S Moyer
Принадлежит: Dow Corning
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Siloxane resin-based anti-reflective coating composition having high wet etch rate
Номер патента: KR101156200B1. Автор: 비안시아오 종,에릭 에스. 모이어. Владелец: 다우 코닝 코포레이션. Дата публикации: 2012-06-18.