Structure comprising tunable anti-reflective coating and method of forming thereof
Номер патента: WO2005053011A1
Опубликовано: 09-06-2005
Автор(ы): David C. Wang, Dorel Ioan Toma, Eric M. Lee, Jeffrey T. Wetzel
Принадлежит: TOKYO ELECTRON LIMITED
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-06-2005
Автор(ы): David C. Wang, Dorel Ioan Toma, Eric M. Lee, Jeffrey T. Wetzel
Принадлежит: TOKYO ELECTRON LIMITED
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Structure comprising tunable anti-reflective coating and method of forming thereof
Номер патента: TW200527164A. Автор: Jeffrey T Wetzel,David C Wang,Eric M Lee,Dorel I Toma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2005-08-16.