Organic polymer for anti-reflective coating layer and preparation thereof
Номер патента: KR100533379B1
Опубликовано: 06-12-2005
Автор(ы): 공근규, 백기호, 이근수, 정민호, 정재창, 홍성은
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-12-2005
Автор(ы): 공근규, 백기호, 이근수, 정민호, 정재창, 홍성은
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Polymer for forming organic anti-reflective coating layer and composition including the same
Номер патента: WO2009048262A3. Автор: Jae-Hyun Kim,Hyun-Jin Kim,Sang-Jeoung Kim,Hyo-Jung Rho,Man-Ho Han. Владелец: Man-Ho Han. Дата публикации: 2009-05-28.